公开(公告)号：DE2965709D1

公开(公告)日：1983-07-28

申请号：DE2965709

申请日：1979-04-23

Applicant: IBM

Inventor： BASSOUS ERNEST ,  NING TAK HUNG ,  OSBURN CARLTON MORRIS

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/265 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8247 ,  H01L29/10 ,  H01L29/78 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792

公开(公告)号：DE2861363D1

公开(公告)日：1982-01-28

申请号：DE2861363

申请日：1978-10-04

Applicant: IBM

Inventor： NING TAK HUNG ,  OSBURN CARLTON MORRIS ,  YU HWA NIEN

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/26 ,  H01L21/265 ,  H01L21/268 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/336 ,  H01L21/326