液处理装置和液处理方法
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108269751A

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201711481918.2

    申请日:2017-12-29

    Abstract: 本发明提供一种能够以简单的结构在基板的中心位置和外周位置实现与位置相应的液处理的液处理装置和液处理方法。液处理装置具备:保持机构,其保持基板;旋转机构,其使被保持机构保持的基板旋转;喷嘴,其配置为与基板的面相向;以及第一供给路和第二供给路,该第一供给路和第二供给路连接于喷嘴。喷嘴具有:共通流路,其沿从基板的中心部朝向周缘部的径向延伸;以及多个喷出口,该多个喷出口连接于共通流路,沿径向配置。第一供给路连接于共通流路中的基板周缘部侧,将第一液供给到共通流路。第二供给路连接于共通流路中的基板中心部侧,将第二液供给到共通流路。第一供给路与第二供给路经由共通流路相连通。

    涂敷方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108067401A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201711077442.6

    申请日:2017-11-06

    Inventor: 藤原直澄

    CPC classification number: B05D1/002 B08B3/08 H01L21/67023 H01L21/67051

    Abstract: 本发明提供一种涂敷方法,该涂敷方法在直径是300毫米且主面形成有直立的多个图案要素的基板上,用处理液对该主面进行处理。用该处理液进行处理后,在该主面上进行填充材料溶液的涂敷。在填充材料溶液的涂敷处理中,通过向水平状态的基板的朝向上方的该主面供给纯水并旋转所述基板,形成覆盖该主面且厚度是5微米以下的纯水的液膜。然后,以每分钟300转以上且每分钟500转以下的转速旋转所述基板,并且向该主面的中央部供给包含水溶性的填充材料的填充材料溶液。由此,能够对用处理液进行处理后的基板的主面适当地涂敷填充材料溶液。

    使用同时旋转与振动的涂覆材料分配

    公开(公告)号:CN105873686A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480071815.7

    申请日:2014-10-16

    Abstract: 本发明提供使用同时振动与旋转分配涂覆材料的方法及系统。在振动期间产生的惯性力及在旋转期间产生的离心力再分配先前沉积于表面上的所述涂覆材料,从而产生均匀及/或保形层。所述经涂覆表面可具有各种形状及粗糙度且可称为复杂表面。可使用浸渍、喷涂、旋涂或其它相似技术将所述涂覆材料的初始层沉积于部件的复杂表面上。通过使用特别选择的工艺条件使所述部件同时旋转及振动来再分配所述涂覆材料,所述特别选择的工艺条件是例如振动及旋转轴相对于所述部件的定向、旋转速度以及振动频率及振幅。可使用不同工艺条件重复所述再分配操作一或多次以确保所述复杂表面的不同部分上的均匀分配。

    蜂窝结构体的外周涂敷方法

    公开(公告)号:CN103657976B

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201310435853.3

    申请日:2013-09-23

    Abstract: 本发明提供一种蜂窝结构体的外周涂敷方法,其为在外周具有环状凸部的蜂窝结构体的侧面涂敷涂层材料的方法。一种蜂窝结构体的外周涂敷方法,具有涂敷工序,该涂敷工序为如下所述的工序:“隔着橡胶薄板将刮刀的侧边部按压在蜂窝结构体上”,使涂敷构件与蜂窝结构体的侧面接触,在蜂窝结构体的侧面供给浆料状的涂层材料,通过涂敷构件的橡胶薄板涂敷涂层材料;该涂敷构件具备板状刮刀和橡胶薄板,该板状刮刀使具备环状凸部的蜂窝结构体旋转,在一个侧边部形成特定的切口部并且形成有切口部的侧边部为向涂敷面侧倾斜的斜面,该橡胶薄板按照沿着刮刀的侧边部将端部弯曲时成为端部的端面与刮刀的背面平行的状态的方式在端部形成有切口。

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