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    극미량 유체의 자유로운 이용을 위한 상변화 구동 방식 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
    21.
    发明公开
    극미량 유체의 자유로운 이용을 위한 상변화 구동 방식 마이크로 펌프 및 그 제조 방법 失效
    相位移动式微型泵及其制造方法

    公开(公告)号：KR1020030095542A

    公开(公告)日：2003-12-24

    申请号：KR1020020032790

    申请日：2002-06-12

    Applicant: 양상식

    Inventor： 양상식

    IPC: B81B7/00

    CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00015

    Abstract: PURPOSE: A phase-shift driving type micro pump and a method for manufacturing the same are provided to fabricate the phase-shift driving type micro pump through a simple micro-machining technique. CONSTITUTION: A phase-shift driving type micro pump includes a pair of manual valves and a phase-shift driver. The manual valves are formed by overlapping two wafers having an aluminum flap valve. The aluminum valve has a cantilever shape having a thickness of few micrometers. The phase-shift driver includes a driving thin film(8) and a micro heater(7). An operating liquid chamber(3) is formed at a lower portion of the driving thin film(8). The micro heater(7) is formed at a lower substrate(10). A heater and a wire are covered with an insulation layer. Two injection ports(6) are provided to inject operating liquid into the lower substrate(10).

    Abstract translation: 目的：提供一种相移驱动型微型泵及其制造方法，以通过简单的微加工技术制造相移驱动型微型泵。 构成：相移驱动型微泵包括一对手动阀和相移驱动器。 手动阀通过重叠具有铝瓣阀的两个晶片形成。 铝阀具有几微米厚的悬臂形状。 相移驱动器包括驱动薄膜（8）和微加热器（7）。 在驱动薄膜（8）的下部形成有操作液室（3）。 微加热器（7）形成在下基板（10）处。 加热器和电线被绝缘层覆盖。 提供两个注入口（6）以将操作液体注入到下基底（10）中。

    Improved micro-valve devices
    22.
    发明专利
    Improved micro-valve devices 审中-公开

    公开(公告)号：JP2011530683A

    公开(公告)日：2011-12-22

    申请号：JP2011522088

    申请日：2009-07-09

    Applicant: マイクラスタック、インク

    Inventor： ハニカット，ハリー

    IPC: F16K31/70 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  F16K31/02

    CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/054 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008

    Abstract: マイクロバルブ・デバイスは、本体と、本体に対して移動するように支持されたバルブ要素と、バルブ要素を正常な移動範囲で移動させるようにバルブ要素に動作可能に接続されたアクチュエータとを含む。 移動制限構造は、バルブ要素およびアクチュエータのうちの少なくとも一方と動作可能に協働して、破壊応力の限界を超えることによって本体、バルブ要素、またはアクチュエータが破壊するのを防止するために、バルブ要素またはアクチュエータが正常な移動範囲の外に移動する距離を効果的に制限する。 こうした移動制限構造を有するマイクロバルブを形成する方法も開示する。

    Microelectromechanical system valve and its manufacturing method
    28.
    发明专利
    Microelectromechanical system valve and its manufacturing method 有权
    微电子系统阀及其制造方法

    公开(公告)号：JP2007321986A

    公开(公告)日：2007-12-13

    申请号：JP2007197284

    申请日：2007-07-30

    Applicant: Research Triangle Inst ,  リサーチ・トライアングル・インスティチュート

    Inventor： GOODWIN-JOHANSSON SCOTT H ,  MCGUIRE GARY E

    IPC: F16K31/02 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00 ,  F15C5/00 ,  F16K7/14 ,  F16K15/16 ,  F16K99/00

    CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/04 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0028 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  H01H2059/0081

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microelectromechanical system (MEMS) valve device having advantages of quick operation, large valve force and large displacement while consuming minimal power. SOLUTION: The MEMS valve device includes a substrate 20 having an aperture 70 formed therein, a substrate electrode 40, and a movable membrane 60 located on the aperture 70 and having an electrode element layer 62 and biasing element layers 64, 66. At least one resiliently compressible dielectric layer 50 is provided to ensure electrical isolation between the substrate electrode 40 and the electrode element layer 62 of the movable membrane 60. In operation, voltage difference is established between the substrate electrode 40 and the electrode element layer 62 of the movable membrane 60 to move the movable membrane 60 relative to the aperture 70 to thereby controllably adjust the portion of the aperture 70 covered with the movable membrane 60. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种微机电系统（MEMS）阀装置，其具有快速操作，大阀力和大排量的优点，同时消耗最小的功率。 解决方案：MEMS阀装置包括其中形成有孔70的基板20，基板电极40和位于孔70上并具有电极元件层62和偏压元件层64,66的可移动膜60。 提供至少一个可弹性压缩介电层50以确保基板电极40和可移动膜60的电极元件层62之间的电隔离。在操作中，在基板电极40和电极元件层62之间建立电压差 移动膜60相对于孔70移动可移动膜60，从而可控地调节被可移动膜60覆盖的孔70的部分。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

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