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公开(公告)号：CN102164846B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN200980137328.5
申请日：2009-07-09
Applicant: 盾安美斯泰克公司(美国)
Inventor： H·亨尼卡特
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0051 , B81B2201/054 , F16K99/0044 , F16K2099/0074 , F16K2099/008
Abstract: 一种微型阀装置，包括：主体；由所述主体支撑而相对于所述主体活动的阀元件，和与所述阀元件操作联接以使阀元件在正常移动范围内移动的致动器。移动限制结构与阀元件和致动器中的至少一个操作配合以用于限制阀元件或致动器在正常移动范围之外的运动量，从而防止由于超过破坏应力极限导致主体、阀元件或致动器发生故障。本发明还公开了形成具有这种移动限制结构的微型阀的方法。
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公开(公告)号：CN100351995C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200380103500.8
申请日：2003-11-17
Applicant: SMC株式会社
CPC classification number: H01L22/20 , B81B7/0012 , B81B2201/054 , B81B2201/058 , B81C99/0045 , B81C2203/038 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0036 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , H01L21/02071 , H01L22/24 , H01L22/34
Abstract: 用来制造硅器件的润湿通道中的耐腐蚀槽的方法能使该器件与腐蚀性化合物，例如氟一同使用。MEMS器件的润湿通道用(1)耐原子氟侵蚀的有机化合物，或者(2)能被原子氟钝化的材料覆盖。然后，将该器件暴露在当通过等离子体放电活化时分解生成活性氟的气体中。该气体的一个例子是CF4，它是一种比操作挥发性的气体如ClF3要简单和安全的惰性气体。该气体将使所述材料(如果使用的话)钝化，并腐蚀任何露出的硅。以这样一种方式试验该器件：任何润湿通道的不可接受的腐蚀都将导致器件无法工作。如果该器件能正确地操作，则认为所述润湿通道耐氟或耐其它腐蚀性化合物(当它们使用时)的腐蚀。
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公开(公告)号：CN102164846A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137328.5
申请日：2009-07-09
Applicant: 麦克罗斯塔克公司
Inventor： H·亨尼卡特
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0051 , B81B2201/054 , F16K99/0044 , F16K2099/0074 , F16K2099/008
Abstract: 一种微型阀装置，包括：主体；由所述主体支撑而相对于所述主体活动的阀元件，和与所述阀元件操作联接以使阀元件在正常移动范围内移动的致动器。移动限制结构与阀元件和致动器中的至少一个操作配合以用于限制阀元件或致动器在正常移动范围之外的运动量，从而防止由于超过破坏应力极限导致主体、阀元件或致动器发生故障。本发明还公开了形成具有这种移动限制结构的微型阀的方法。
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公开(公告)号：CN1711623A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200380103500.8
申请日：2003-11-17
Applicant: 红杉微系统股份有限公司
CPC classification number: H01L22/20 , B81B7/0012 , B81B2201/054 , B81B2201/058 , B81C99/0045 , B81C2203/038 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0034 , F16K99/0036 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , H01L21/02071 , H01L22/24 , H01L22/34
Abstract: 用来制造硅器件的润湿通道中的耐腐蚀槽的方法能使该器件与腐蚀性化合物，例如氟一同使用。MEMS器件的润湿通道用(1)耐原子氟侵蚀的有机化合物，或者(2)能被原子氟钝化的材料覆盖。然后，将该器件暴露在当通过等离子体放电活化时分解生成活性氟的气体中。该气体的一个例子是CF4，它是一种比操作挥发性的气体如ClF3要简单和安全的惰性气体。该气体将使所述材料(如果使用的话)钝化，并腐蚀任何露出的硅。以这样一种方式试验该器件：任何润湿通道的不可接受的腐蚀都将导致器件无法工作。如果该器件能正确地操作，则认为所述润湿通道耐氟或耐其它腐蚀性化合物(当它们使用时)的腐蚀。
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公开(公告)号：CN109641737A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780050810.X
申请日：2017-07-21
Applicant: 索尼公司
CPC classification number: B01L3/502761 , B01L3/502738 , B01L2200/0668 , B01L2300/08 , B01L2400/06 , B81B1/00 , B81B1/006 , B81B2201/054 , B81B2203/0338 , C12M47/04 , G01N15/1056
Abstract: 提供的是一种单一粒子捕获装置，其能够将粒子逐个地捕获在凹部(16)中，同时防止其它粒子堆积在捕获的粒子上。单一粒子捕获装置包括设置在基材(11)上的流动通道(12)，其中在流动通道(12)中设置有具有山部(13)和谷部(14)的波形结构，在每个山部(13)的顶部(15)设置有凹部(16)，并且凹部(16)设置有引入通路(17)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1278326A
公开(公告)日：2000-12-27
申请号：CN98810725.2
申请日：1998-11-05
Applicant: 北卡罗来纳州微电子中心
CPC classification number: F03G7/06 , B81B3/0024 , B81B2201/032 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H2001/0042 , H01H2001/0068 , H01H2061/006
Abstract: 本发明可提供一种可以担负得起,可重复和可靠地制造并可在X,Y和Z每个方向上对对象进行精确微观定位的微型机电定位设备。微型机电定位设备包括一个参照面,配置于参照面上的固定位置处的支板以及靠近支板并且至少在参照面一部分的上方悬置的平台。该平台具有第一和第二主平面并确定XY平面。此平台通常是借助一个或多个在支板和平台之间延伸的弹簧悬置于参照面的上方,使第一主平面对着参照面。通常待定位或对准的对象,如光纤等等,是固定于平台的第二主平面的位置以便可通过相应的移动或定位此平台使对象得到精确的定位。
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公开(公告)号：CN1277731A
公开(公告)日：2000-12-20
申请号：CN98810552.7
申请日：1998-08-28
Applicant: 克罗诺斯集成微系统公司
Inventor： 威加亚库玛尔R·胡勒尔 , 罗伯特L·伍德 , 拉玛斯瓦敏·玛哈德曼
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0024 , B81B3/0054 , B81B2201/031 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , F03G7/06 , F15C5/00 , F16K99/0011 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K2099/0071 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H61/02 , H01H67/26 , H01H2001/0042 , H01H2001/0047 , H01H2001/0068 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁,金属拱形梁在上方延伸,并且轻微地与加热器隔开。像这样,MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置,如继电器、切换阵列及阀,以便具有其高效操作特性的优点。另外,进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。
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公开(公告)号：CN101432223B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200780015242.6
申请日：2007-04-26
Applicant: 电子微系统公司
Inventor： 若埃尔·科莱 , 斯特凡娜·尼古拉 , 克里斯蒂安·皮斯埃拉
CPC classification number: B81C1/0015 , B81B2201/054 , B81C1/00357 , B81C2201/019 , F04B43/046
Abstract: 本发明涉及用于在晶片中集体制造具有给定厚度d的腔和/或膜片(24)的方法，该晶片是绝缘体上半导体层，在绝缘层上包括至少一个具有厚度d的半导体表面层，该绝缘层本身被支撑在衬底上，该方法包括：对具有厚度d的半导体表面层进行蚀刻，绝缘层形成阻止层，以在表面层中形成腔和/或膜片。
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公开(公告)号：CN101282789A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200680037019.7
申请日：2006-10-03
Applicant: 奇奥尼公司
CPC classification number: F16K7/12 , B01F5/0683 , B01F5/0688 , B01F11/0071 , B01F13/0059 , B01F2215/0034 , B01L3/502707 , B01L3/50273 , B01L3/502738 , B01L2200/12 , B01L2300/0816 , B01L2300/0861 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2400/0481 , B01L2400/0487 , B01L2400/06 , B01L2400/0638 , B01L2400/0655 , B01L2400/084 , B29C65/4895 , B29C66/004 , B29C66/54 , B29C66/5412 , B29C66/71 , B29K2025/00 , B29K2025/04 , B29K2033/08 , B29K2069/00 , B29K2101/12 , B29L2031/7496 , B29L2031/7506 , B29L2031/756 , B81B3/0021 , B81B2201/036 , B81B2201/054 , B81B2203/0127 , B81C1/00103 , B81C1/00158 , F04B43/028 , F04B43/043 , F04B43/06 , F15C1/08 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0021 , F16K99/0034 , F16K99/0055 , F16K99/0057 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , F16K2099/0076 , F16K2099/0078 , F16K2099/008 , F16K2099/0084 , F16K2099/0094 , Y10T29/49405 , Y10T137/212 , Y10T137/2202 , Y10T137/2218 , Y10T137/8593 , Y10T137/85978 , Y10T156/1002 , Y10T156/1043 , B29K2033/12 , B29K2025/06
Abstract: 塑料微流体结构具有实质上刚性的隔膜，其可在隔膜支靠于基板的表面上的松弛状态和隔膜由基板移开的致动状态之间致动。如说明书中所描述，形成有这种隔膜的微流体结构提供了容易制造且耐用的系统，以及容易制作诸如阀和泵等部件。
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公开(公告)号：CN1126135C
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN98810552.7
申请日：1998-08-28
Applicant: JDS尤尼费斯公司
Inventor： 威加亚库玛尔R·胡勒尔 , 罗伯特L·伍德 , 拉玛斯瓦敏·玛哈德曼
CPC classification number: F16K99/0001 , B81B3/0024 , B81B3/0054 , B81B2201/031 , B81B2201/054 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , F03G7/06 , F15C5/00 , F16K99/0011 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K2099/0071 , F16K2099/0074 , F16K2099/008 , G02B6/3803 , G02B6/4226 , H01H1/0036 , H01H9/14 , H01H61/00 , H01H61/02 , H01H67/26 , H01H2001/0042 , H01H2001/0047 , H01H2001/0068 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 提供一种产生显著力和位移同时消耗适当量功率的MEMS致动器。该MEMS致动器包括一个微电子基片、在该基片上隔开的支撑及一根在隔开支撑之间延伸的拱形梁。MEMS致动器还包括一个用来加热拱形梁以使梁进一步拱起的加热器。为了高效地把热量从加热器传递到金属拱形梁，金属拱形梁在上方延伸，并且轻微地与加热器隔开。像这样，MEMS致动器把由加热器产生的热量高效地转换成金属拱形梁的机械运动。也提供一族包括一个或多个MEMS致动器的其他MEMS装置，如继电器、切换阵列及阀，以便具有其高效操作特性的优点。另外，进一步提供一种制造MEMS致动器的方法。
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