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公开(公告)号：CN102007066A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980104635.3
申请日：2009-02-05
Applicant: 昆士兰大学
CPC classification number: A61M37/0015 , A61K9/0021 , A61K9/0097 , A61M2037/0023 , A61M2037/0046 , A61M2037/0053 , B81B2201/055 , B81C1/00111 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J2237/334
Abstract: 本发明涉及一种在贴片上制造凸起的方法，所述方法包括在基板上设置掩模以及使用蚀刻剂和钝化剂蚀刻所述基板，从而控制所述蚀刻过程且形成所述凸起，其中，所述钝化剂不包括氧气。
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公开(公告)号：CN101538031A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200810066128.2
申请日：2008-03-19
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: C01B32/168 , B81B2201/055 , B81C1/00111 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/02 , C01B2202/04 , C01B2202/06 , C01B2202/08 , C01B2202/34 , C01B2202/36 , Y10T428/2982
Abstract: 一种碳纳米管针尖，包括多个碳纳米管，其特征在于，该碳纳米管针尖包括一类圆锥形尖端，该类圆锥形尖端顶部为一突出的碳纳米管。一种碳纳米管针尖的制备方法，其具体包括以下步骤：提供一碳纳米管薄膜；提供一第一电极和一第二电极，将上述碳纳米管薄膜两端分别固定于第一电极和第二电极上，该碳纳米管薄膜中的碳纳米管从第一电极向第二电极延伸；通过使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜，形成多个碳纳米管线，该碳纳米管线的两端分别固定于第一电极和第二电极上；将该碳纳米管线通电流加热熔断，得到多个碳纳米管针尖。
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公开(公告)号：CN105217565B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410253151.8
申请日：2014-06-09
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
CPC classification number: B81C1/00111 , A61M2037/0053 , B81B2201/055
Abstract: 本发明公开了一种单晶硅异平面空心微针结构的制作方法，在一典型实施案例中，该方法可以包括：先在（100）型硅片正面用深硅干法刻蚀方法制作非贯通的孔状槽；用热氧化方法在硅片正反面以及孔内壁形成厚氧化层；在硅片正面和背面用涂胶光刻方法分别形成腐蚀窗口图形；用干法或湿法腐蚀方法将窗口内的氧化硅去除，露出衬底硅；去除光刻胶后用单晶硅各向异性腐蚀液对硅片进行腐蚀，在上表面形成微针结构，下表面形成槽形结构，并且先前刻蚀形成的深孔贯穿硅片正面微针结构，底部与硅片背面的槽形结构相连。本发明工艺简单，成本低廉，成品率高，适合大批量制造，且所获微针具有结构强度大、一致性好，载药剂量大等优点，在生物医学领域具有应用前景。
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公开(公告)号：CN105217565A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410253151.8
申请日：2014-06-09
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
CPC classification number: B81C1/00111 , A61M2037/0053 , B81B2201/055
Abstract: 本发明公开了一种单晶硅异平面空心微针结构的制作方法，在一典型实施案例中，该方法可以包括：先在（100）型硅片正面用深硅干法刻蚀方法制作非贯通的孔状槽；用热氧化方法在硅片正反面以及孔内壁形成厚氧化层；在硅片正面和背面用涂胶光刻方法分别形成腐蚀窗口图形；用干法或湿法腐蚀方法将窗口内的氧化硅去除，露出衬底硅；去除光刻胶后用单晶硅各向异性腐蚀液对硅片进行腐蚀，在上表面形成微针结构，下表面形成槽形结构，并且先前刻蚀形成的深孔贯穿硅片正面微针结构，底部与硅片背面的槽形结构相连。本发明工艺简单，成本低廉，成品率高，适合大批量制造，且所获微针具有结构强度大、一致性好，载药剂量大等优点，在生物医学领域具有应用前景。
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公开(公告)号：CN102858512A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180009435.7
申请日：2011-02-11
Applicant: 谭永杰
Inventor： 谭永杰
CPC classification number: B29C44/385 , B01D39/00 , B26F1/26 , B26F1/28 , B26F3/004 , B29C31/042 , B29C33/0033 , B29C39/24 , B29C39/26 , B29C39/42 , B29C41/12 , B29C41/36 , B29C41/38 , B29C2793/0045 , B29L2031/14 , B29L2031/737 , B29L2031/7544 , B29L2031/756 , B81B2201/055 , B81C1/00373 , B82Y30/00
Abstract: 本发明涉及用于制造孔、喷嘴和狭缝的方法及装置。在一些实施例中，通过控制穿过模制板的受控制的流动流的位置和方向来在模制基板上创建图案。所述模制板包括能够用来在模制板上创建所需图案的预定图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102026910A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117052.4
申请日：2009-03-11
Inventor： R·吕特格 , S·N·比斯特罗瓦 , J·G·范贝内康 , M·多曼斯基 , P·W·H·勒特斯 , R·G·H·拉默廷克 , A·J·A·维努巴斯特
CPC classification number: A61M37/0015 , A61M2037/0023 , A61M2037/0046 , A61M2037/0053 , B81B2201/055 , B81B2203/0361 , B81C99/0085 , B81C2201/034
Abstract: 本发明涉及制造微针阵列的方法，其包括如下步骤：选择包括一组限定微针几何形状的细微切口的软生产模具，所述软生产模具能够提供结合到基板中的微针阵列；使用填充材料充分地填充软生产模具的细微切口，从而产生结合到基板中的具有预定几何形状的微针阵列；其中选择水基陶瓷或醇基陶瓷或聚合物-陶瓷浆料作为所述填充材料。本发明还涉及微针阵列16、包括微针阵列的复合物、用于使物质能够穿过材料阻挡物输送的系统以及使用电极测量电信号的系统。
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公开(公告)号：CN100540086C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200480043029.2
申请日：2004-03-12
Applicant: 新加坡科技研究局
CPC classification number: B29C33/0061 , A61M37/0015 , A61M2037/003 , A61M2037/0053 , B29C33/301 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C59/026 , B29C2791/001 , B29C2793/0009 , B29L2031/756 , B29L2031/759 , B81B2201/055 , B81C99/009 , C25D1/02 , Y10T29/49885 , Y10T29/4998 , Y10T29/49982 , Y10T29/49984 , Y10T29/49986 , Y10T29/49988
Abstract: 一种侧开口的微型针，其由一形状合适的微型针模具(40)制成。一微型针模具基底(32)中有多个微型针模具凹口(30)。微型针模具基底(32)的一面镀有子层(34)。该微型针模具基底(32)包含两个微型针模片(24，26)，其分开后能接触到其中一个微型针模片(24，26)的内表面。该侧开口形成通道(38)形成于其中一个内表面上，并与相对应微型针模片(24)中的凹口(30)相交。这两个微型针模片(24，26)背对背靠在一起并结合形成一个整体式微型针模具(40)。在凹口中以及表面上沉积上子层(34)就在凹口(30)中形成微型针。该微型针层(44)不能沉积到侧开口形成孔(42)的地方，即侧开口形成通道(38)与凹口(30)相交的地方，由此就在模制的微型针(52)中形成了侧开口(46)。
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公开(公告)号：CN100478040C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200380100375.5
申请日：2003-11-10
Applicant: 新加坡科技研究局
CPC classification number: B81C1/00111 , A61M37/0015 , A61M2037/003 , A61M2037/0046 , A61M2037/0053 , B29C33/3878 , B29C33/42 , B29C45/00 , B29C2045/0094 , B29L2031/7544 , B29L2031/756 , B81B2201/055 , B81C2201/034
Abstract: 通过沿两个或更多方向对一板进行线切割而制成一原模，以提供一带有从其上突出的原模针阵列的基底。该原模针的尺寸和大小可以通过改变在该两个或更多方向上的向上和向下切割角而很容易地改变。该原模用于通过将一副模板热模压在该原模上而制造一副模。这样便在该副模中形成通孔。该副模被镀以一形成微型针层的金属层。
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公开(公告)号：CN1993156A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200480043029.2
申请日：2004-03-12
Applicant: 新加坡科技研究局
CPC classification number: B29C33/0061 , A61M37/0015 , A61M2037/003 , A61M2037/0053 , B29C33/301 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C59/026 , B29C2791/001 , B29C2793/0009 , B29L2031/756 , B29L2031/759 , B81B2201/055 , B81C99/009 , C25D1/02 , Y10T29/49885 , Y10T29/4998 , Y10T29/49982 , Y10T29/49984 , Y10T29/49986 , Y10T29/49988
Abstract: 一种侧开口的微型针，其由一形状合适的微型针模具(40)制成。一微型针模具基底(32)中有多个微型针模具凹口(30)。微型针模具基底(32)的一面镀有子层(34)。该微型针模具基底(32)包含两个微型针模片(24，26)，其分开后能接触到其中一个微型针模片(24，26)的内表面。该侧开口形成通道(38)形成于其中一个内表面上，并与相对应微型针模片(24)中的凹口(30)相交。这两个微型针模片(24，26)背对背靠在一起并结合形成一个整体式微型针模具(40)。在凹口中以及表面上沉积上子层(34)就在凹口(30)中形成微型针。该微型针层(44)不能沉积到侧开口形成孔(42)的地方，即侧开口形成通道(38)与凹口(30)相交的地方，由此就在模制的微型针(52)中形成了侧开口(46)。
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公开(公告)号：CN1388267A
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：CN02114979.8
申请日：2002-03-20
Applicant: 中山大学
CPC classification number: B81C1/00111 , B81B2201/055 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种微尖锥定位镀膜的方法。所述的方法采用的工艺步骤如下:(1)锥尖暴露高度确定:在整个尖锥器件表面沉积覆盖层,采用薄膜削薄技术,减小表面覆盖层厚度,露出锥尖顶端,而锥体仍被覆盖;通过调节薄膜削薄参数,控制锥尖露出高度;(2)表面处理和钝化:根据实际需要,对露出锥尖进行表面净化处理和钝化保护。(3)薄膜沉积:根据实际需要,在锥尖顶端沉积上一层所需薄膜材料;(4)器件表面覆盖层剥离:采用选择性腐蚀方式,剥离器件表面覆盖层,形成锥尖定位镀膜器件。所述的微尖锥定位镀膜的方法,可对尖锥进行锥尖定位净化和镀膜。
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