公开(公告)号：CN101273251A

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200680035806.8

申请日：2006-09-08

Applicant: 瑞沃瑞公司

Inventor： B·W·许勒尔 ,  D·A·雷德

IPC: G01J3/42 ,  G01N21/62 ,  H01J1/50 ,  H01J40/00

CPC classification number: G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  G01N2223/6116 ,  H01J2235/08

Abstract: 根据本发明的一个方面，提供一种衬底处理系统。该系统可以包括围绕室的室壁；被设置在所述室中的衬底支架，用于支撑衬底；电磁放射源，用于发射电磁放射线至衬底支架上的衬底上，所述电磁放射线使光电子从所述衬底上的材料被发射出来；分析器，用于捕获从衬底发射出来的光电子；以及磁场发生器，用于在所述室中创建磁场并将所述光电子从所述衬底引到所述分析器。

公开(公告)号：EP3059755A1

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：EP14853543.8

申请日：2014-09-03

Applicant: Hamamatsu Photonics K.K.

Inventor： ISHII, Atsushi ,  SUZUKI, Naonobu

IPC: H01J35/08 ,  H01J35/30

CPC classification number: H01J35/08 ,  A61B6/547 ,  H01J1/88 ,  H01J1/92 ,  H01J1/94 ,  H01J3/26 ,  H01J19/32 ,  H01J19/46 ,  H01J19/48 ,  H01J21/36 ,  H01J35/14 ,  H01J35/32 ,  H01J37/1472 ,  H01J2235/08 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/086 ,  H01J2235/087 ,  H01J2235/088 ,  H01J2235/186 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/036 ,  H01J2893/0003 ,  H01J2893/0051 ,  H01J2893/0052 ,  H05G1/52

Abstract: An X-ray generation device which can be efficiently used is provided. The X-ray generation device 1 has an electron gun 3, a target unit T, a tubular portion 5, a reflected electron detector 31, and a coil unit 9, and the target unit T includes a plurality of targets 23, and a plurality of mark portions 27 having a predetermined location relationship with the targets 23 and each having a surface area larger than a surface area of the target 23, when viewed from a normal direction to principal faces of the target unit T.

公开(公告)号：EP2319281A2

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：EP09806964.4

申请日：2009-08-12

Applicant: Varian Medical Systems, Inc.

Inventor： CHEN, Gongyin ,  TURNER, John ,  EATON, Douglas, W.

IPC: H05H7/02 ,  H05H7/04 ,  H05H7/22 ,  H05H9/00

CPC classification number: H05H7/02 ,  H01J2235/08 ,  H05H9/00 ,  H05H9/048 ,  H05H2007/022 ,  H05H2007/025

Abstract: Multi-energy radiation sources comprising charged particle accelerators driven by power generators providing different RF powers to the accelerator, capable of interlaced operation, are disclosed. Automatic frequency control techniques are provided to match the frequency of RF power provided to the accelerator with the accelerator resonance frequency. In one example where the power generator is a mechanically tunable magnetron, an automatic frequency controller is provided to match the frequency of RF power pulses at one power to the accelerator resonance frequency when those RF power pulses are provided, and the magnetron is operated such that frequency shift in the magnetron at the other power at least partially matches the resonance frequency shift in the accelerator when those RF power pulses are provided. In other examples, when the power generator is a klystron or electrically tunable magnetron, separate automatic frequency controllers are provided for each RF power pulse. Methods and systems are disclosed.

公开(公告)号：EP2102885A1

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：EP07857154.4

申请日：2007-12-28

Applicant: Yxlon International Feinfocus Gmbh

Inventor： REINHOLD, Alfred

IPC: H01J35/24 ,  H01J35/14 ,  H05G1/34

CPC classification number: H01J35/24 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/08 ,  H05G1/265 ,  H05G1/34 ,  H05G1/52

Abstract: The invention relates to an X-ray tube, especially a microfocus X-ray tube (2), comprising means (18) for orienting an electron beam (10) towards a target (4). A control device (20) is used to control the means for orienting the electron beam (10) towards the target (4) in such a way that the electron beam (10) scans the target (4), in addition to a measuring device (22) for measuring the intensity of the target current which flows to different scanning sites when the target (4) is scanned by the electron beam (10), or a measuring variable dependent on the target current, and an evaluation device (24) for associating each measured value of the target flow with the corresponding scanning site. Said X-ray tube enables the easy and economical implementation of a method for checking the operability of the target (4).

公开(公告)号：WO2009051697A1

公开(公告)日：2009-04-23

申请号：PCT/US2008/011717

申请日：2008-10-14

Applicant: VARIAN MEDICAL SYSTEMS, INC. ,  WHITTUM, David ,  CLAYTON, James ,  MERDINIAN, George

Inventor： WHITTUM, David ,  CLAYTON, James ,  MERDINIAN, George

IPC: H05G1/10

CPC classification number: H05G1/04 ,  G01V5/0016 ,  H01J35/02 ,  H01J2235/08 ,  H05G1/025 ,  H05G1/10 ,  H05H9/04

Abstract: Man-portable radiation generation sources and systems that may be carried by hand to a site of interest by one or two people, are disclosed. Methods of use of such sources and systems are also disclosed. Battery operated radiation generation sources, air cooled radiation generation sources, and charged particle accelerators, are also disclosed. A radiation generation source with a target less than 0.20 mm is also disclosed.

Abstract translation: 公开了可以由一个或两个人手动携带到目的地的人造便携式辐射源和系统。 还公开了使用这种源和系统的方法。 还公开了电池操作的辐射源，空气冷却辐射源和带电粒子加速器。 还公开了具有小于0.20mm的靶的辐射源。

公开(公告)号：WO2008037731A2

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/EP2007/060198

申请日：2007-09-26

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT ,  MERTELMEIER, Thomas

Inventor： MERTELMEIER, Thomas

IPC: G01N23/04 ,  H01J35/08 ,  H05G1/04 ,  A61B6/03

CPC classification number: G01N23/046 ,  A61B6/025 ,  A61B6/032 ,  A61B6/4007 ,  A61B6/4028 ,  A61B6/4241 ,  A61B6/482 ,  G01N2223/1016 ,  G01N2223/206 ,  G01N2223/414 ,  G01N2223/419 ,  G01N2223/612 ,  H01J2235/08

Abstract: Röntgensystem (2) zur Tomosyntheseabtastung eines Objekts (6) enthält eine Röntgenstrahlung (20) zur Durchstrahlung des Objekts (6) aussendenden, während der Tomosyntheseabtastung relativ zum Objekt (6) verschenkbaren Röntgenquelle (8), und einen während der Tomosyntheseabtastung relativ zum Objekt (6) im Wesentlichen ortsfesten 2D-Röntgendetektor (10) zum Empfang der Röntgenstrahlung (20), wobei die Röntgenquelle (8) mindestens zwei, bezüglich ihrer Strahlrichtungen (22a,b) zum Objekt (6) hin nebeneinander angeordnete, unabhängig voneinander auslösbare Strahlquellen (18a,b) aufweist. Bei einem Verfahren zur Tomosyntheseabtastung eines Objekts (6) wird Röntgenstrahlung (20) zur Durchstrahlung des Objekts (6) von einer Röntgenquelle (8) ausgesandt, wobei die Röntgenquelle (8) während der Tomosyntheseabtastung relativ zum Objekt (6) verschwenkt, die Röntgenstrahlung (20) von einem während der Tomosyntheseabtastung bezüglich der Röntgenquelle (8) im wesentlichen ortsfesten 2D-Röntgendetektor (10) empfangen, wobei die Röntgenstrahlung (20) von mindestens zwei, bezüglich ihrer Strahlrichtungen (22a,b) zum Objekt (6) hin nebeneinander angeordneten, unabhängig voneinander auslösbaren Strahlquellen (18a,b) in der Röntgenquelle (8) ausgesandt wird.

Abstract translation:

R＆ouml; ntgensystem（2），用于断层合成的对象（6）包含＆AUML LT;一个R＆ouml;对于断层合成相对于对象期间照射（6）发射的对象中，w BEAR ntgenstrahlung（20）（6 ）verschenkbaren R＆ouml; ntgenquelle（8），和断层合成期间瓦特BEAR（相对于物体6）基本上是静止的2D R＆ouml;用于接收所述R＆ouml ntgendetektor（10）; ntgenstrahlung（20），其中，所述R​​＆ouml; ntgenquelle（8 ）至少两个，刻导航用途类似于它们的波束方向（22A，b）（以对象物6）朝向并排布置，独立地具有BEAR释放束源（18A，b）;分别彼此外国＆oUML的。 在用于断层合成的对象（6）R＆ouml的方法;用于由R＆ouml照射物体（6）ntgenstrahlung（20）;发射ntgenquelle（8），其中，所述R​​＆ouml; ntgenquelle（8）瓦特BEAR的断层合成相对于所述对象期间 （6）枢转时，R＆ouml;从瓦特BEAR的断层合成刻导航使用期间ntgenstrahlung（20）接收到的ntgendetektor（10），其中，所述R​​＆ouml ;;类似了R＆ouml; ntgenquelle（8）是基本上静止的2D R＆oUML ntgenstrahlung（20） 的至少两个内切导航用途类似于它们的波束方向（22A，b）到物体（6）朝向并列，独立地分别承担彼此外国＆oUML;可释放的束源（18A，b），其中R＆ouml;发射ntgenquelle（8）

公开(公告)号：WO2006121126A1

公开(公告)日：2006-11-16

申请号：PCT/JP2006/309504

申请日：2006-05-11

Applicant: 石川島播磨重工業株式会社 ,  国立大学法人東京大学 ,  独立行政法人放射線医学総合研究所 ,  野瀬 裕之 ,  石田 大典 ,  金子 七三雄 ,  栄 久晴 ,  上坂 充 ,  土橋 克広

Inventor： 野瀬 裕之 ,  石田 大典 ,  金子 七三雄 ,  栄 久晴 ,  上坂 充 ,  土橋 克広

IPC: H05G2/00 ,  G21K1/00 ,  G21K5/02 ,  H01S3/00

CPC classification number: H05G2/00 ,  G21K5/00 ,  H01J35/14 ,  H01J35/28 ,  H01J2235/08

Abstract: 　電子ビームを加速してパルス電子ビーム１を発生し所定の直線軌道２を通過させる電子ビーム発生装置１０と、波長の異なる複数のパルスレーザー光３ａ，３ｂを順次発生する複合レーザー発生装置２０と、複数のパルスレーザー光を直線軌道２上にパルス電子ビーム１に対向して導入するレーザー光導入装置３０とを備え、複数のパルスレーザー光３ａ，３ｂを直線軌道２上でパルス電子ビーム１に順次正面衝突させ、２種以上の単色硬Ｘ線４（４ａ，４ｂ）を発生させる。

Abstract translation: 一种多色X射线发生器，包括用于加速电子束以产生脉冲电子束（1）并将其引入预定的直线轨道（2）的电子束发生器（10），用于 依次产生具有不同波长的多个脉冲激光（3a，3b），以及用于将脉冲激光引入直线轨道（2）中以与电子束（1）相对的激光导入装置（30），因此 脉冲激光器（3a，3b）在直线轨道（2）中碰撞脉冲电子束（1），以产生至少两种类型的单色硬X射线4（4a，4b）。

公开(公告)号：WO2010141734A1

公开(公告)日：2010-12-09

申请号：PCT/US2010/037276

申请日：2010-06-03

Applicant: NEXTRAY, INC. ,  CONNOR, Dean ,  HINSHAW, Waldo, S. ,  ZHONG, Zhong ,  WILFLEY, Brian, P. ,  PARHAM, Christopher ,  PISANO, Elta

Inventor： CONNOR, Dean ,  HINSHAW, Waldo, S. ,  ZHONG, Zhong ,  WILFLEY, Brian, P. ,  PARHAM, Christopher ,  PISANO, Elta

IPC: A61B6/03 ,  G01N23/04 ,  G01N23/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: A61B6/4035 ,  A61B6/032 ,  A61B6/06 ,  A61B6/482 ,  A61B6/502 ,  A61B6/5282 ,  A61B6/542 ,  G21K2201/062 ,  G21K2207/005 ,  H01J2235/068 ,  H01J2235/08

Abstract: Systems and methods for detecting an image of an object by use of X-ray beams generated by multiple small area sources are disclosed. A plurality of monochromator crystals may be positioned to intercept the plurality of first X-ray beams such that a plurality of second X-ray beams each having predetermined energy levels is produced. Further, an object to be imaged may be positioned in paths of the second x-ray beams for transmission of the second X- ray beams through the object and emitting from the object a plurality of transmission X-ray beams. The X-ray beams may be directed at angles of incidence upon a plurality of analyzer crystals for detecting an image of the object.

Abstract translation: 公开了通过使用由多个小区域源产生的X射线束来检测物体的图像的系统和方法。 可以将多个单色器晶体定位成截取多个第一X射线束，使得产生多个具有预定能级的第二X射线束。 此外，要成像的物体可以位于第二X射线束的路径中，用于透射通过物体的第二X射线束并从物体发射多个透射X射线束。 X射线束可以以多个分析器晶体的入射角定向，以检测物体的图像。

公开(公告)号：WO2008052002A3

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：PCT/US2007082281

申请日：2007-10-23

Applicant: THERMO NITON ANALYZERS LLC ,  GRODZINS LEE ,  GRODZINS HAL

Inventor： GRODZINS LEE ,  GRODZINS HAL

IPC: G21K1/06 ,  G01N23/223

CPC classification number: G21K1/06 ,  G01N2223/316 ,  G21K2201/062 ,  H01J2235/08

Abstract: A method for obtaining a concentrated, monochromatic x-ray beam from a standard x-ray tube or other source of polychromatic emission. X-rays from the anode of the x-ray tube fluoresce an adjoining, independent target that produces a monochromatic spectrum, a portion of which is focused by the x-ray optical system. This two-stage method gives the system considerably versatility without undue loss in signal. The two-stage concentrator makes practical the use of focusing optics in hand-held and portable instruments.

Abstract translation: 用于从标准X射线管或其他多色发射源获得浓缩的单色X射线束的方法。 来自X射线管的阳极的X射线发出相邻的独立目标，产生单色光谱，其一部分由x射线光学系统聚焦。 这种两阶段的方法使得系统具有很大的通用性，而不会在信号中造成不必要的损失。 两级聚光器使手持和便携式仪器中的聚焦光学器件成为可能。

公开(公告)号：WO2007037931A2

公开(公告)日：2007-04-05

申请号：PCT/US2006/034781

申请日：2006-09-08

Applicant: REVERA INCORPORATED ,  SCHUELER, Bruno, W. ,  REED, David, A.

Inventor： SCHUELER, Bruno, W. ,  REED, David, A.

IPC: H01J40/00

CPC classification number: G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  G01N2223/6116 ,  H01J2235/08

Abstract: According to one aspect of the present invention, a substrate processing system is provided. The system may include a chamber wall enclosing a chamber, a substrate support positioned within the chamber to support a substrate, an electromagnetic radiation source to emit electromagnetic radiation onto the substrate on the substrate support, the electromagnetic radiation causing photoelectrons to be emitted from a material on the substrate, an analyzer to capture the photoelectrons emitted from the substrate, and a magnetic field generator to generate a magnetic field within the chamber and guide the photoelectrons from the substrate to the analyzer.

Abstract translation: 根据本发明的一个方面，提供了一种基板处理系统。 该系统可以包括封闭腔室的腔室壁，定位在腔室内以支撑基底的基底支撑件，用于将电磁辐射发射到基底支撑件上的基底上的电磁辐射源，电磁辐射导致光电子从材料 在衬底上，捕获从衬底发射的光电子的分析器，以及在室内产生磁场并将光电子从衬底引导到分析器的磁场发生器。