公开(公告)号：WO2005089203A2

公开(公告)日：2005-09-29

申请号：PCT/US2005/008095

申请日：2005-03-11

Applicant: NORTHROP GRUMMAN CORPORATION ,  FREIDHOFF, Carl B.

Inventor： FREIDHOFF, Carl B.

IPC: H01J49/28

CPC classification number: H01J41/10 ,  H01J49/0013 ,  H01J49/288

Abstract: A solid state compact ion gauge includes an inlet, a gas ionizer, and a detector all formed within a cavity in a semiconductor substrate. The gas ionizer can be a solid state electron emitter with ion optics provided by electrodes formed in the cavity through which the cavity is evacuated by differential pumping. Preferably, the substrate is formed in two halves. The substrate halves are then bonded together after the components are provided therein.

Abstract translation: 固态紧凑型离子计包括入口，气体离子发生器和全部形成在半导体衬底中的空腔内的检测器。 气体离子发生器可以是固态电子发射器，其离子光学器件由形成在空腔中的电极提供，空腔通过差分泵浦而被抽空。 优选地，基板形成为两半。 然后在其中提供部件之后将基板半部结合在一起。

公开(公告)号：WO2008129929A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/JP2008/056591

申请日：2008-04-02

Applicant: 株式会社堀場エステック ,  青木 潤次 ,  北浦 宏和 ,  サイード ブームセレク

Inventor： 青木 潤次 ,  北浦 宏和 ,  サイード ブームセレク

IPC: G01N27/62

CPC classification number: H01J49/0009 ,  G01L21/30 ,  H01J41/02 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 　試料ガスをイオン化するイオン化部２１１と、前記イオン化部２１１からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部２１１を挟んで設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを検出する第１イオン検出部２１２及び第２イオン検出部２１３と、前記イオン化部２１１及び前記第１イオン検出部２１２の間に設けられ、前記イオン化部２１１からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部２１４と、前記第１イオン検出部２１２により得られる試料ガスの第１の全圧ＴＰ １ 、及び前記第２イオン検出部２１３により得られる試料ガスの第２の全圧ＴＰ ２ を用いて、前記第１イオン検出部２１２により得られる前記フィルタ極部２１４により選択された特定成分の分圧ＰＰ １ を補正する演算装置３と、を備え、四重極質量分析法等を用いたガス分析計において、分解能を維持しながら、測定値が雰囲気圧力の変化に追従しなくなった領域においても補正可能にする。

Abstract translation: 使用四极质谱法的气体分析装置设置有离子化部分（211），其离子化气体样品，第一离子检测部分（212）和第二离子检测部分（213），它们跨越电离部分 （211），用于将它们中的每一个与离子化部分（211）之间的距离彼此区分开，并且从电离部分（211）检测离子;滤波器部分（214），设置在电离部分（211）和第一 离子检测部（212），用于选择性地过滤来自离子化部分（211）的离子;以及运算单元（3），其校正由第一部分（211）获得的特定成分的分压（PP＆lt; 1＆gt; 离子检测部件（212），并且通过使用由第一离子检测部件（212）获得的气体样品的第一总压力（TP <1> 1）和由过滤器部件（214）选择的第一总压力 由第二离子检测部（213）获得的气体样品的第二总压（TP <2> 2 ）。 即使在保持分辨率的情况下测量值不再跟随大气压力的变化的区域，气体分析仪也可以校正分压。

公开(公告)号：WO2006126434A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：PCT/JP2006/309835

申请日：2006-05-17

Applicant: 株式会社アルバック ,  中島 豊昭 ,  吉澤 秀樹

Inventor： 中島 豊昭 ,  吉澤 秀樹

IPC: G01N27/62

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01M3/202 ,  H01J41/10 ,  H01J49/00

Abstract: 　チャンバの壁部に装着され、該チャンバ内に存在する分析対象ガスを分析する質量分析装置であって、前記チャンバへの装着時に前記チャンバ内に挿入され、前記分析対象ガス中のガス成分の質量電荷比ごとの分圧を測定する測定部と、　前記チャンバへの装着時に前記壁部の外側に位置し、前記測定部を操作する操作部と、前記チャンバへの装着時に前記壁部の外側に位置し、前記測定部の測定結果を表示する表示部と、を備え、前記測定部と前記操作部と前記表示部とが互いに近接して配設されていることを特徴とする質量分析装置。

Abstract translation: 本发明提供了一种质量分析器，其安装在室的壁部分上，用于分析存在于室中的分析物气体。 质量分析器包括测量部件，当质量分析器安装在腔室中时，其被插入到腔室中，用于测量分析气体中的气体成分的每个质荷比的分压，操作部件， 当质量分析器安装在腔室中时，位于用于操作测量部件的壁部分的外侧上，以及显示部分，当质量分析器安装在腔室中时，显示部分位于 用于显示测量部件的测量结果的壁部分。 质量分析器的特征在于测量部分，操作部分和显示部分彼此紧密地定位。

公开(公告)号：US20240194465A1

公开(公告)日：2024-06-13

申请号：US18431091

申请日：2024-02-02

Applicant: INFICON AG

Inventor： Urs WÄLCHLI ,  Stefan KAISER ,  Bernhard ANDREAUS ,  Martin WÜEST ,  Astrid WALDNER ,  Michael TREFZER

IPC: H01J41/10 ,  G01L21/30

CPC classification number: H01J41/10 ,  G01L21/30

Abstract: Chamber (11, 12, 13) for bounding a plasma generation area (42) in a vacuum pressure sensor (40), wherein the chamber comprises an electrically conductive casing element (1, 1′, 1″) located radially on the outside relative to a central axis, wherein the chamber comprises electrically conductive wall elements (2, 2′, 2″) arranged substantially perpendicular to the central axis and connected to the casing element, wherein at least one of the wall elements has a first opening (3), through which the central axis extends, wherein the casing element comprises at least a first (B1) and a second region (B2), wherein the first region is located closer to the central axis than the second region. The invention further relates to a vacuum pressure sensor comprising the chamber.

公开(公告)号：US20090090854A1

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：US11915301

申请日：2006-05-17

Applicant: Toyoaki Nakajima ,  Hideki Yoshizawa

Inventor： Toyoaki Nakajima ,  Hideki Yoshizawa

IPC: B01D59/44

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01M3/202 ,  H01J41/10 ,  H01J49/00

Abstract: A mass spectrometer is provided which is mounted on a wall portion of a chamber and analyzes a gas to be analyzed existing in the chamber. The mass spectrometer includes: a measurement unit which is inserted into the chamber at the time of mounting the mass spectrometer to the chamber and measures each partial pressure of gaseous components in the gas to be analyzed with respect to mass-to-charge ratios; a control unit which is disposed outside of the wall portion at the time of mounting the mass spectrometer on the chamber and is used to manipulate the measurement unit; and a display unit which is disposed outside of the wall portion at the time of mounting the mass spectrometer on the chamber and displays the measurement result of the measurement unit. Here, the measurement unit, the control unit, and the display unit are disposed close to each other.

Abstract translation: 提供了一种质谱仪，其安装在室的壁部分上并分析存在于腔室中的待分析气体。 质谱仪包括：测量单元，其在将质谱仪安装到室时插入室中，并测量关于质荷比的待分析气体中的气体组分的每个分压; 控制单元，其在将所述质谱仪安装在所述室上时设置在所述壁部的外侧，并用于操纵所述测量单元; 以及显示单元，其在将质谱仪安装在室上时设置在壁部的外侧，并显示测量单元的测量结果。 这里，测量单元，控制单元和显示单元彼此靠近配置。

公开(公告)号：US20060226355A1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：US11375063

申请日：2006-03-15

Applicant: Fumio Watanabe ,  Reiki Watanabe

Inventor： Fumio Watanabe ,  Reiki Watanabe

IPC: H01J49/28

CPC classification number: H01J49/147 ,  H01J41/10 ,  H01J49/4215

Abstract: In a quadrupole mass spectrometer which measures partial pressure strength according to a gas type in a vacuum system from ion current intensity, a quadrupole mass spectrometer with a total pressure measurement electrode has a total pressure measurement electrode for examining an ion density disposed in a demarcation space which is comprised of a grid electrode and an ion focusing electrode. And, a vacuum system is provided with only the quadrupole mass spectrometer which measures partial pressure strength according to a gas type in the vacuum system from an ion current intensity and does not have an ionization vacuum gauge other than the quadrupole mass spectrometer.

Abstract translation: 在根据离子电流强度根据真空系统中的气体类型测量分压强度的四极杆质谱仪中，具有总压力测量电极的四极质谱仪具有用于检查设置在分界空间中的离子密度的总压力测量电极 其由栅电极和离子聚焦电极组成。 并且，仅具有四极质谱仪的真空系统，该四极质谱仪根据离子电流强度根据真空系统中的气体类型测量分压强度，并且除四极质谱仪之外不具有电离真空计。

公开(公告)号：US20050199805A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US10798376

申请日：2004-03-12

Applicant: Carl Freidhoff

Inventor： Carl Freidhoff

IPC: H01J49/28

CPC classification number: H01J41/10 ,  H01J49/0013 ,  H01J49/288

Abstract: A solid state compact ion gauge includes an inlet, a gas ionizer, and a detector all formed within a cavity in a semiconductor substrate. The gas ionizer can be a solid state electron emitter with ion optics provided by electrodes formed in the cavity through which the cavity is evacuated by differential pumping. Preferably, the substrate is formed in two halves. The substrate halves are then bonded together after the components are provided therein.

Abstract translation: 固态紧凑型离子计包括入口，气体离子发生器和全部形成在半导体衬底中的空腔内的检测器。 气体离子发生器可以是固态电子发射器，其离子光学器件由形成在空腔中的电极提供，空腔通过差分泵浦而被抽空。 优选地，衬底形成为两半。 然后在其中提供部件之后将基板半部结合在一起。

公开(公告)号：US5889281A

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：US891695

申请日：1997-07-11

Applicant: David H. Holkeboer ,  Robert E. Ellefson

Inventor： David H. Holkeboer ,  Robert E. Ellefson

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/02 ,  H01J49/26 ,  H01J49/42 ,  H01J49/40

CPC classification number: H01J49/0027 ,  G01L21/30 ,  H01J41/10 ,  H01J49/02 ,  H01J49/42

Abstract: A method for linearizing the sensitivity of a quadrupole mass spectrometric system to allow the sensor to more accurately report partial pressures of a gas in high pressure areas in which the reported data is effected by a number of loss mechanisms. According to the invention, correction factors can be applied empirically or software in a quadrupole mass analyzer system can be equipped with correcting software to expand the useful range of the mass spectrometer.

公开(公告)号：US5808308A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：US863818

申请日：1997-05-27

Applicant: David H. Holkeboer

Inventor： David H. Holkeboer

IPC: H01J41/10 ,  H01J49/10 ,  H01J49/12 ,  H01J39/34

CPC classification number: H01J49/10 ,  H01J41/10

Abstract: A dual beam ion source comprises an ion volume in an ion chamber, an ion collector, and two identical ion accelerators. One ion accelerator accelerates a first, "test" ion stream from the ion volume in a first direction and directs it to the ion collector where it can be directly measured. The second ion accelerator accelerates a second, "utilizable" ion stream from the ion volume in a second direction. By directly measuring the ion current (caused by the first, "test" ion stream) at the ion collector, either or both the total ion pressure of the gas within the ion volume, and the magnitude of the second, "utilizable" ion stream, can be calculated.

Abstract translation: 双束离子源包括离子室中的离子体积，离子收集器和两个相同的离子加速器。 一个离子加速器从第一方向从离子体积加速第一个“测试”离子流，并将其引导到离子收集器，直接测量离子收集器。 第二离子加速器在第二方向从离子体积加速第二个“可利用的”离子流。 通过直接测量离子收集器处的离子电流（由第一个“测试”离子流引起的离子流），离子体积内的气体的总离子压力和第二个“可利用的”离子流的大小 ，可以计算。

公开(公告)号：US4535236A

公开(公告)日：1985-08-13

申请号：US582789

申请日：1984-02-23

Applicant: Jonathan H. Batey

Inventor： Jonathan H. Batey

IPC: H01J49/42

CPC classification number: H01J41/10 ,  H01J49/4215

Abstract: This invention relates to a method of operating quadrupole mass spectrometers with only an RF potential applied to the filter rods so that the spectrometer operates to pass all ions above a particular value of m/e. In practice, spectrometers operated in this way usually show a marked loss in transmission efficiency for ions of high m/e when operated with an RF potential low enough to pass ions of m/e

Abstract translation: 本发明涉及一种操作四极质谱仪的方法，其中仅将RF电势施加到过滤棒上，使得光谱仪操作以使所有离子超过m / e的特定值。 在实践中，以这种方式操作的光谱仪通常显示出高的m / e的离子的传输效率的显着损失，当RF电势足够低以使m / e <10的离子流动时，本发明通过提供 在两个或更多个值之间切换RF电位的方法，在该值处，不同范围的m / e值的离子被有效地传输，并且在每个值处组合输出信号，以使得所得到的信号更准确地与形成在 光谱仪的来源，无论其m / e值如何。 本发明可用于提高使用常规残留气体分析质谱仪的总压力测量的精度，从而消除了对附加压力计的需要。