一种场发射阴极电子源及其应用

    公开(公告)号:CN108091529B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201711200705.8

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 温州大学

    Abstract: 本发明公开了一种场发射阴极电子源及其应用,包括有场发射阴极和场发射门极,场发射阴极和场发射门极之间设置有场发射电压,场发射门极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置设置有环形电极,环形电极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置为环形带栅孔电极,环形带栅孔电极的径向外侧套设有环形辅助外电极,其中辅助外电极可以是电子源的外壳。该场发射电子源的主要功能和优点是是为真空电子器件(包括X射线管、微波管等)提供电子束流或在真空电子器件中进行气体压强监控。

    e形多电子束蒸镀装置及电子枪电路

    公开(公告)号:CN111088479A

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201911379047.2

    申请日:2019-12-27

    Abstract: 本发明提供一种e形多电子束蒸镀装置,该蒸镀设备包括永久磁铁N极、S极、X/Y扫描线圈、坩埚、冷却水及电子束发射器;采用磁偏转式电子束,使得电子束路径呈现e字型,偏转角为270度,其中电子束发射器的由灯丝阴极、阳极、偏转线圈等其他部件构成。从多电子束与旋转坩埚两方面应对电子枪故障问题。e形多电子束蒸镀设计大幅度提高了蒸镀效率和熔点,此外,为了提高蒸镀过程薄膜沉积速率精度和稳定性,本发明专利从热电子发射模块、高压电子加速模块和电子束偏转模块三个方面设计了新的电子枪电路。

    一种电磁波辐射系统及电磁波辐射方法

    公开(公告)号:CN108550509B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201810489034.X

    申请日:2018-05-21

    Abstract: 本申请公开了一种电磁波辐射系统及电磁波辐射方法,其中,所述电磁波辐射系统通过电子注发射设备向矩形光栅周期性地发射电子团,以使电子团周期性地掠过所述矩形光栅的第一表面,激励起所述矩形光栅上的表面波,所述电子团将被所述表面波调制,使得每个电子团内部产生若干小电子团,最终形成的电子团将在光栅上半空间产生相干Smith‑Purcell辐射。在产生的这些相干Smith‑Purcell辐射中,其辐射频率均与所述电子团的发射频率相关,因此可以通过调节所述电子团的发射频率,实现对产生的相干Smith‑Purcell辐射的辐射频率的控制,可以实现辐射频率覆盖0.6THz‑1.5THz范围的目的。另外,利用所述电磁波辐射系统可以一次性产生多个频率的Smith‑Purcell辐射,可以同时满足多个应用的需求。

    一种新型纳米冷阴极电子枪

    公开(公告)号:CN109830412A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910115489.X

    申请日:2019-02-15

    Abstract: 本发明属于真空电子技术领域,具体提供一种新型纳米冷阴极电子枪,包括:阴极、第一阳极、第二阳极、底座、上绝缘套筒及下绝缘套筒,阴极通过下绝缘套筒固定支撑于底座上,第二阳极通过上绝缘套筒固定支撑于阴极上;阴极为中心位置开设有倒圆台形空心腔体的环状金属结构,且阴极内表面设置有环形纳米冷阴极发射带;第一阳极固定于底座上,设置于阴极的空心腔体内、且位于空心腔体中心位置。本发明采用场致发射冷阴极代替热阴极,阴极采用新结构,既能保证场致发射电子不被截获,又能够起到降低工作电压的目的,还保证有足够大的发射面积来发射电流,从而有效的解决纳米冷阴极材料在场致发射应用上场致发射电子注的有效形成这一关键科学问题。

    基于热电子放电的复合电子源

    公开(公告)号:CN109671602A

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201811360138.7

    申请日:2018-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于热电子放电的复合电子源,其包括:热丝电极组件、固定座、空心阴极放电组件、绝缘座、腔体连接组件、磁极,其主要是通过利用热丝电极组件导电受热后发生热丝放电,电子通过在空心阴极组件与热丝固定座形成阴极放电腔,空心阴极孔道及空心阴极组件中的放电筒形成多级级联碰撞放电,同时腔体连接组件外套装磁极可有效增加放电过程中的碰撞次数,使其形成大束流高能电子流;同时复合电子源内可形成三个冷却腔对热丝电极、阴极放电腔、空心阴极组件进行冷却,本发明具有以下优点和效果:本发明通过将空心阴极放电效应与热丝放电相结合,实现均匀稳定的放电且可达到更好的冷却效果,提高复合电子源的长时间高效稳定性。

    控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法

    公开(公告)号:CN106960773B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201710271213.1

    申请日:2017-04-24

    Abstract: 本发明涉及场致电子发射领域。为解决场发射阴极测试与老化过程中电流发射稳定性等问题,提供了利用场发射电子源装置控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法,使场发射电子源的阴极电子发射能力与在阴极和阳极之间所施加的电场强度相关联,并且使得由高压电源输出到阳极的电压越高,阴极电子发射能力越强;在场发射电子源上加载持续的高压,采用高压脉冲驱动单元把加载在场发射电子源上的持续的高压调节成脉冲式高压;设定脉冲式高压,以用于高压电源稳定读取测试中的电流,反馈给控制平台进行调节,并在下一个连续脉冲周期到来前完成调节过程。本发明通过对场发射电压进行反馈补偿,从而实现发射电流的稳定控制,具有较强的实用性。

    一种微波调制相位可控的多电子注冷阴极电子枪

    公开(公告)号:CN109559950A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201710883810.X

    申请日:2017-09-26

    Inventor: 刘梅

    Abstract: 该发明属于可集成电真空辐射源器件配套用冷阴极电子枪,包括:电子枪壳体及其底座,上、下电极板及设有与冷阴极的个数相同通孔的微波输入层,微波输入层中各通孔分别与上、下电极板一并组成相应个数的互作用腔,各冷阴极分别嵌于相应互作用腔底部的下电极板上,在正对每个互作用腔的上电极板区域内均开设了一组各孔尺寸都小于微波波长的阵列式电子注输出孔。该发明具有注波互作用空间小,可按要求馈入不同频率的微波来调制多个冷阴极发射电流、以产生不同调制频率及强度的多个电子注,而且每个电子注微波调制相位可控,可为集成微型电真空辐射源器件提供多个电子注源,且输出功率大,有效扩大了应用范围等特点。

    一种双栅控制式冷阴极电子枪及其制备方法

    公开(公告)号:CN109065428A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810935160.3

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明涉及真空电子器件技术领域,公开了一种双栅控制式冷阴极电子枪及其制备方法。通过本发明创造,提供了一种工艺简单、使用寿命长和性能优良的新型电子枪,即采用冷阴极作为真空电子器件的发射源,并利用阴极栅网阵列化冷阴极表面,可有效削弱大面积冷阴极材料发射电子的静电屏蔽效应,提高大面积冷阴极材料的发射电流,同时将阴极衬底表面设计为一整个平面,不但可规避加工毛刺等问题,改善边缘效应及打火等现象,还可以使阴极衬底表面的电场分布较为平坦,有利于提高发射电流密度的均匀性,实现大电流发射目的,进而可适用于真空电子辐射元器件或产生大电流及高密度电子注的器件中。

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