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公开(公告)号：CN119338682A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202410971710.2
申请日：2024-07-19
Applicant: FEI 公司
IPC: G06T3/4076 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/305
Abstract: 伸长的或其他非圆形带电粒子束(CPB)用于产生衬底图像，该衬底图像可以例如通过去卷积来处理以产生最终图像。在一些情况下，与沿着平行轴线对准的不对称CPB束相关联的第一图像和第二图像被去卷积并且然后被组合以产生最终图像，或者被组合并且然后去卷积以产生最终图像。可通过相对于CPB扫描或处理方向对准不对称CPB来执行铣削或其他处理。
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公开(公告)号：CN119314849A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411696033.4
申请日：2019-09-20
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/32 , G01N23/225 , G01N21/95
Abstract: 公开了一种改进的带电粒子束检查装置，并且更具体地，公开了一种包括改进的对准机制的粒子束检查装置。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括第二电子检测器件，该第二电子检测器件用以在该对准模式期间生成多个次级电子束中的一个或多个束斑点的一个或多个图像。该束斑点图像可以被用来确定该多个次级电子束中的一个或多个次级电子束的对准特性，并且调节次级电子投影系统的配置。
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公开(公告)号：CN111699540B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN201980011846.6
申请日：2019-01-18
Applicant: 塔斯米特株式会社
Inventor： 久保田大辅
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。
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公开(公告)号：CN111223734B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201911165127.8
申请日：2019-11-25
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N23/046
Abstract: 本发明涉及一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件。所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品。所述方法包括以下步骤：通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，且在获取所述图像期间同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。
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公开(公告)号：CN114121580B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202110973468.9
申请日：2021-08-24
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： A.奥科夫斯基
IPC: H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/20 , B23K26/14 , B23K26/36 , B23K26/362 , B23K26/70 , B23K37/04 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20091 , G01N23/2209 , G01N23/2251 , B23K101/00
Abstract: 本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器能够布置在粒子辐射设备中。根据本发明的方法包括以下步骤：使用激光射束装置的激光射束和/或利用粒子辐射设备的粒子射束在物体固持器上产生标记，其中，粒子射束具有带电粒子；将物体布置在物体固持器上；使物体固持器运动；使用标记相对于物体相对定位粒子射束和/或激光射束；以及利用粒子射束和/或激光射束处理、成像和/或分析物体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119170471A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411313436.6
申请日：2019-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 本公开涉及用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法。一种多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
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公开(公告)号：CN119170470A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411571826.3
申请日：2024-11-06
Applicant: 芯年科技(苏州)有限公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , G01N23/2204 , G01N23/2251
Abstract: 本发明公开了一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台，包括工作台，所述工作台的上端放置有壳体，所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒，所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板，所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台，所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构，所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构，当驱动机构的上端转动时，带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动。本发明通过转动板带动对称的驱动杆同步靠近安置平台，通过驱动杆带动硅胶板移动杆同步靠近安置平台，从而使硅胶板对芯片样品进行居中定位，通过从动杆、移动板和驱动槽的配合，从而得到立体的芯片样品影像。
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公开(公告)号：CN114981383B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202080093102.6
申请日：2020-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L33/00 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体，包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此，实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。
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公开(公告)号：CN117981040B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202280064053.2
申请日：2022-08-29
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
Abstract: 提供一种确定通过聚焦透镜(120)朝向带电粒子束系统(100)中的样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的束汇聚度的方法。所述方法包括：(a)当样本布置在与带电粒子束的相应射束焦点相距一个或多个散焦距离处时，获取样本的一个或多个图像；(b)从一个或多个图像检取一个或多个射束横截面；(c)从一个或多个射束横截面确定一个或多个射束宽度；以及(d)基于一个或多个射束宽度和一个或多个散焦距离计算至少一个束汇聚度值。另外，提供一种用于对样本进行成像和/或检查的带电粒子束系统，所述带电粒子束系统经配置用于本文所述方法中的任一者。
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公开(公告)号：CN113383404B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN201980087119.8
申请日：2019-12-19
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/2251 , G01R31/28 , G01R31/307
Abstract: 提供了一种用带电粒子束工具扫描样品的方法。所述方法包括提供具有包括多个单元区域的扫描区域的样品，扫描所述多个单元区域中的单元区域，阻断所述多个单元区域中与被扫描的单元区域相邻的下一单元区域，以及对所述多个单元区域进行扫描和阻断直到扫描完所有单元区域。
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