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公开(公告)号：CN111164725B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201880063509.7
申请日：2018-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 本文公开了一种设备，该设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；开孔；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于开孔处于上游。
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公开(公告)号：CN113228219A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980087174.7
申请日：2019-11-22
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种带电粒子系统(400)，可以包括设置在第一轴(470)上的第一带电粒子束源，以及设置在第二轴上的第二带电粒子束源(420)。还可以提供一种布置在第一轴上的偏转器(430)。偏转器可以被配置为将从第二带电粒子束源生成的射束朝向样品(403)偏转。一种操作带电粒子束系统的方法，包括：在操作偏转器(430)的第一状态和第二状态之间切换。在第一状态下，可以熄灭从第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束，并且朝向样品引导从第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束。在第二状态下，可以熄灭第二带电粒子束，并且朝向样品引导第一带电粒子束。
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公开(公告)号：CN119170471A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411313436.6
申请日：2019-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 本公开涉及用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法。一种多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
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公开(公告)号：CN116864359A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202311033092.9
申请日：2018-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/06
Abstract: 本文涉及一种用于带电粒子束检查的样本预充电方法、设备和计算机可读介质。设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；孔径；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于孔径处于上游。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119480594A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411563935.0
申请日：2019-11-22
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/147 , H01J37/10
Abstract: 一种带电粒子系统(400)，可以包括设置在第一轴(470)上的第一带电粒子束源，以及设置在第二轴上的第二带电粒子束源(420)。还可以提供一种布置在第一轴上的偏转器(430)。偏转器可以被配置为将从第二带电粒子束源生成的射束朝向样品(403)偏转。一种操作带电粒子束系统的方法，包括：在操作偏转器(430)的第一状态和第二状态之间切换。在第一状态下，可以熄灭从第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束，并且朝向样品引导从第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束。在第二状态下，可以熄灭第二带电粒子束，并且朝向样品引导第一带电粒子束。
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公开(公告)号：CN113228219B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN201980087174.7
申请日：2019-11-22
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种带电粒子系统(400)，可以包括设置在第一轴(470)上的第一带电粒子束源，以及设置在第二轴上的第二带电粒子束源(420)。还可以提供一种布置在第一轴上的偏转器(430)。偏转器可以被配置为将从第二带电粒子束源生成的射束朝向样品(403)偏转。一种操作带电粒子束系统的方法，包括：在操作偏转器(430)的第一状态和第二状态之间切换。在第一状态下，可以熄灭从第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束，并且朝向样品引导从第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束。在第二状态下，可以熄灭第二带电粒子束，并且朝向样品引导第一带电粒子束。
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公开(公告)号：CN112352301B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201980039657.X
申请日：2019-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种改进的用于使用粒子束检查装置检查样品的系统和方法，更具体地，一种利用多个带电粒子束扫描样品的系统和方法。一种使用N个带电粒子束扫描样品区域的改进的方法，其中N是大于或等于2的整数，并且其中样品区域包括N个连续扫描线的多个扫描区段，该方法包括使样品在第一方向上移动。该方法还包括利用N个带电粒子束中的第一带电粒子束扫描多个扫描区段中朝向第一带电粒子束的探测斑点移动的至少部分扫描区段的第一扫描线。该方法还包括利用N个带电粒子束中的第二带电粒子束扫描多个扫描区段中朝向第二带电粒子束的探测斑点移动的至少部分扫描区段的第二扫描线。此外，一种提供多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
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公开(公告)号：CN112352301A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980039657.X
申请日：2019-06-07
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 一种改进的用于使用粒子束检查装置检查样品的系统和方法，更具体地，一种利用多个带电粒子束扫描样品的系统和方法。一种使用N个带电粒子束扫描样品区域的改进的方法，其中N是大于或等于2的整数，并且其中样品区域包括N个连续扫描线的多个扫描区段，该方法包括使样品在第一方向上移动。该方法还包括利用N个带电粒子束中的第一带电粒子束扫描多个扫描区段中朝向第一带电粒子束的探测斑点移动的至少部分扫描区段的第一扫描线。该方法还包括利用N个带电粒子束中的第二带电粒子束扫描多个扫描区段中朝向第二带电粒子束的探测斑点移动的至少部分扫描区段的第二扫描线。此外，一种提供多束工具，包括：束配置系统，包括被配置为生成带电粒子的一次束的带电粒子源、被配置为保持样品的载物台、以及位于带电粒子源与载物台之间配置成将一次束分成束阵列的偏转器系统；其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。
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公开(公告)号：CN111164725A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880063509.7
申请日：2018-09-25
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 本文公开了一种设备，该设备包括：带电粒子源，被配置为沿设备的主束轴发射带电粒子束；聚束透镜，被配置为使得束围绕主束轴集中；开孔；第一多极透镜；第二多极透镜；其中第一多极透镜相对于聚束透镜处于下游、并且相对于第二多极透镜处于上游；其中第二多极透镜相对于第一多极透镜处于下游、并且相对于开孔处于上游。
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