Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Quarzglaskörper für ein optisches Bauteil für die Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer, insbesondere für eine Wellenlänge von 157 nm, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglaskörpers, wobei feine Quarzglasteilchen durch Flammenhydrolyse einer Siliziumverbindung gebildet, abgeschieden und verglast werden. Die Eignung eines Quarzglases im Sinne hoher Grundtransmission und Strahlenbeständigkeit hängt von seinen strukturellen Eigenschaften, die durch lokale Stöchiometrieabweichungen verursacht sind, und von seiner chemischen Zusammensetzung ab. Der erfindungsgemäße Quarzglaskörper zeichnet sich durch eine uniforme (relative Änderung der Grundtransmission ≤ 1%) Grundtransmission im Wellenlängenbereich zwischen 155 nm und 250 nm (Durchstrahlungslänge 10 mm) von mindestens 80 %, geringem OH-Gehalt (kleiner 10 Gew.-ppm) und eine im wesentlichen von Sauerstoffdefektstellen freie Glasstruktur aus. Ein derartiger Quarzglaskörper wird mit einem Verfahren hergestellt, das den volumenmäßigen Einbau von Sauerstoff oder Wasserstoff in das Glasnetzwerk ermöglicht, indem der noch vor dem Verglasen eine Heißbehandlung in mindestens 2 Teilschritten im Temperaturbereich von 850°C bis 1600°Cerfolgt, wobei der letzte Teilschritt eine Sinterung in einem Temperaturbereich zwischen 1300°C und 1600 °C unter einer Atmosphäre, die Wasserstoff oder Sauerstoff oder eine Kombination dieser Stoffe als nicht zündfähiges Gemisch enthält, umfasst.
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Quarzglaskörper für ein optisches Bauteil für die Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer, insbesondere für eine Wellenlänge von 157 nm, sowie ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglaskörpers, wobei feine Quarzglasteilchen durch Flammenhydrolyse einer Siliziumverbindung gebildet, abgeschieden und verglast werden. Die Eignung eines Quarzglases im Sinne hoher Grundtransmission und Strahlenbeständigkeit hängt von seinen strukturellen Eigenschaften, die durch lokale Stöchiometrieabweichungen verursacht sind, und von seiner chemischen Zusammensetzung ab. Der erfindungsgemäße Quarzglaskörper zeichnet sich durch eine uniforme (relative Änderung der Grundtransmission ≤ 1%) Grundtransmission im Wellenlängenbereich zwischen 155 nm und 250 nm (Durchstrahlungslänge 10 mm) von mindestens 80 %, geringem OH-Gehalt (kleiner 10 Gew.-ppm) und eine im wesentlichen von Sauerstoffdefektstellen freie Glasstruktur aus. Ein derartiger Quarzglaskörper wird mit einem Verfahren hergestellt, das den volumenmäßigen Einbau von Sauerstoff oder Wasserstoff in das Glasnetzwerk ermöglicht, indem der noch vor dem Verglasen eine Heißbehandlung in mindestens 2 Teilschritten im Temperaturbereich von 850°C bis 1600°Cerfolgt, wobei der letzte Teilschritt eine Sinterung in einem Temperaturbereich zwischen 1300°C und 1600 °C unter einer Atmosphäre, die Wasserstoff oder Sauerstoff oder eine Kombination dieser Stoffe als nicht zündfähiges Gemisch enthält, umfasst.
Abstract:
A silica glass forming method is a method of pressing a synthetic silica bulk having at least a set of opposed surfaces, on the surfaces under a high temperature condition by a presser, wherein an elastic member with permeability is placed between the presser and the surfaces of the synthetic silica bulk pressed by the presser and wherein the synthetic silica bulk is pressed through the elastic member by the presser. This method is able to reduce bubbles remaining inside the synthetic glass formed product after the forming to a sufficiently small amount. Therefore, it becomes feasible to provide the method that permits high-yield production of silica glasses with excellent optical characteristics.
Abstract:
A process is disclosed for removing non-alkali metals from an acidic silicate solution or suspension, the process comprising subjecting the solution or suspension to an electrochemical process in the presence of a strong acid and an oxidising agent such that non-alkali metals present form water-soluble salts, and ion-exchanging the solution. The acidic silicate solution or suspension may be generated by ion-exchanging an aqueous alkali silicate solution to remove alkali metals. The invention therefore enables a silicic acid aqueous solution having a low content of metal impurities, for example 1 ppm or less, to be prepared from an alkali metal silicate of low purity.
Abstract:
본 발명은 파장 250 ㎚ 이하의 심자외선용 광학 부재로서, 할로겐 원소를 실질적으로 함유하지 않고, 최대 OH 기 함유량이 10 중량ppm 미만이고, ODC (산소 결핍형 결함) 및 E 프라임 센터가 모두 1 × 10 14 ㎝ -3 미만이고, SiH 및 산소 과잉형 결함을 실질적으로 함유하지 않고, 가상 온도가 1050 ℃ 이하인 합성 석영 유리로 이루어지는 심자외선용 광학 부재에 관한 것이다.
Abstract:
실리콘 단결정의 인상에 사용되는 석영 그라스 도가니에 있어서, 적어도 그 만곡부가 합성 석영 그라스로 이루어지고 Al농도가 낮은 투명내층, 천연 또는 천연합성 혼합 석영 그라스로 이루어지고 Al농도가 높은 투명 또는 불투명 중간층, 및 천연석영그라스로 이루어지고 Al농도가 상기 중간층보다 높은 불투명외층의 3층구조로 함으로써, 투명내층의 변형이 적고, 또한, 단결정의 인상에 수반하는 석영그라스도가니의 용입량의 변화를 억제하고, 단결정의 길이방향의 산소농도를 균일하게할 수 있는 실리콘 단결정 인상용 석영 그라스 도가니이다. 단결정, 합성석영, 천연석영, 도가니, 알루미늄 농도, 투명층, 불투명층
Abstract:
정확한 최종 치수(Correct final demensions)와 구조에 근접한 균질 SiO 2 성형체를 제조하는 방법에 있어서, 비교적 크기가 큰 비정질 SiO 2 입자와 비교적 크기가 작은 비정질 SiO 2 입자로 이루어진 비정질 SiO 2 입자를 비도전성 격막 상에 전기영동에 의해 수용성 분산액으로부터 전착시켜, 그 비정질 SiO 2 입자의 형상 및 기하학적 형태(geometry)이 제조되는 SiO 2 성형체에 대응되도록 하며, 그 비도전성 격막은 크기가 더 작은 비정질 SiO 2 입자의 평균 입자 크기보다 더 큰 평균 세공 크기를 가짐을 특징으로 한다. 정확한 최종 치수, Si02 성형체, 비도전성 격막, 수용성 분산액, 평균 세공 크기, 평균 입자 크기