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公开(公告)号：CN103728021B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310703202.8
申请日：2013-12-19
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明公开了一种基于电光效应的光谱测量装置，包括沿入射光方向依次设置的第一偏振片、电光效应晶体、第二偏振片、光探测器；其中，第一偏振片的偏振方向与所述电光效应晶体在外加电场下的感应主轴方向不平行。本发明还公开了使用上述装置的光谱测量方法：首先测量对电光效应晶体施加不同外加电压下光探测器所检测到的光功率，并以得到的光功率数据作为增广矩阵，结合光谱测量装置在不同外加电压下对不同频率入射光的探测率所组成的系数矩阵，建立线性方程组；对该线性方程组求解，得到待测入射光中各频率分量的光功率，然后对其进行线性拟合、辐射定标，得到待测入射光的光谱。本发明具有抗振动能力强、分辨率高、光谱测量范围宽等优点。
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公开(公告)号：CN102879097B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210361147.4
申请日：2012-09-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明涉及一种可同时获取目标左旋和右旋圆偏振组分的高光谱图像的探测系统；由沿入射光向依次设置的前置准直系统、双折射分束系统、成像透镜、及图像获取和处理系统组成。本发明由于采用了双通道圆偏振探测系统，能同时获取目标的左旋和右旋圆偏振分量的干涉图；相对于只能探测单一线偏振分量的单通道偏振成像光谱仪来说，增加了差分圆偏振光谱图像的获取能力；与采用旋转部件的序列获取技术相比，可避免抖动噪声；本发明可在紫外到红外的宽波段范围获取目标的圆偏振光谱图像；在空间探测、地球遥感、机器视觉及生物医学诊断等领域具有潜在的应用价值。
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公开(公告)号：CN104344891A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410594725.8
申请日：2014-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。
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公开(公告)号：CN102507006B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201110430533.X
申请日：2011-12-20
Applicant: 中国兵器工业第二0五研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于声光可调滤波器的红外差分超光谱成像装置。该装置是一种利用差分背景热噪声抑制原理对低辐射红外目标进行超光谱遥感探测的装置。本发明通过引入低温黑体的低温背景辐射，与原光路形成红外差分光信号，同时改变声光晶体材料和射频驱动器驱动频率范围，解决了对弱目标即低辐射目标的红外超光谱遥感成像问题。本发明能够有效抑制内部环境对红外探测器的背景热噪声，从而使光谱成像装置的探测性能得到改善。
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公开(公告)号：CN102338662B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110147474.5
申请日：2011-06-02
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
CPC classification number: G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
Abstract: 本发明提供了一种易于调节聚焦的、可实现无色差的、可保持偏振特性的、且结构简单的斜入射宽带光谱仪。该斜入射宽带光谱仪包含至少两个偏振器、至少一个相位补偿元件、至少两个曲面反射元件和至少两个平面反射元件的斜入射宽带光谱仪。斜入射宽带光谱仪利用平面反射元件改变光束传播方向，并且可补偿因反射聚光单元引起的偏振变化，使得光束经相位补偿元件后的偏振特性在斜入射并会聚于样品表面时保持不变。本发明的斜入射宽带光谱仪，能够高精确度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103134592A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310040729.7
申请日：2013-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法，方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面，检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收，通过对测量光谱进行谐波分析，计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息，并通过非线性回归，库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数，特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源，透镜组，起偏器和伺服电机驱动的补偿器)，待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器，检偏器，透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件，以及纳米制造中各种纳米结构的在线测量，具有非破坏性，快速和低成本的特点。
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公开(公告)号：CN103134591A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110396390.5
申请日：2011-12-02
Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司
Abstract: 本发明涉及一种易于调节聚焦的、无色差的、保持偏振特性的、信噪比优化的、且结构简单的近垂直入射宽带光谱仪。该宽带光谱仪通过一对曲面反射元件和平面反射元件实现聚焦和调焦，包含至少一个偏振器，能够高精度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌；特别地，该宽带光谱仪通过采用近垂直入射，避免了分束结构的使用，提高光通量一倍以上。
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公开(公告)号：CN102879097A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210361147.4
申请日：2012-09-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明涉及一种可同时获取目标左旋和右旋圆偏振组分的高光谱图像的探测系统；由沿入射光向依次设置的前置准直系统、双折射分束系统、成像透镜、及图像获取和处理系统组成。本发明由于采用了双通道圆偏振探测系统，能同时获取目标的左旋和右旋圆偏振分量的干涉图；相对于只能探测单一线偏振分量的单通道偏振成像光谱仪来说，增加了差分圆偏振光谱图像的获取能力；与采用旋转部件的序列获取技术相比，可避免抖动噪声；本发明可在紫外到红外的宽波段范围获取目标的圆偏振光谱图像；在空间探测、地球遥感、机器视觉及生物医学诊断等领域具有潜在的应用价值。
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公开(公告)号：CN102809431A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210249281.5
申请日：2012-07-18
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明涉及一种小型自动滤光片转轮多波段偏振成像系统，其特征在于包括双层滤光片转轮、三个CCD相机、电机系统、激光测距仪和计算机；三个CCD相机的前置设有偏振片，偏振片与被摄场景之间设有双层滤光片转轮，双层滤光片转轮受控于电机系统；三个CCD相机将摄取的图像输出至计算机进行处理，同时激光测距仪将测得的距离信号输出至计算机，计算机根据激光测距仪的信息，对图像几何校正和偏振图像计算得到的偏振多波段后，再发送信号给电机系统控制双层滤光片转轮的转动。通过控制电机转动快速获得图像，且系统还具有图像预处理、存储及通信功能，因此能达到稳定可靠工作、节省人力和财力的目的。
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公开(公告)号：CN101871815B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN200910022366.8
申请日：2009-04-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提供的一种基于孔径分割和声光可调谐滤光器的可编程偏振超光谱成像仪，主要解决时分偏振超光谱成像仪只适用于静态场景的技术难题，且具有小型紧凑、调谐方便等优点。由前置镜、视场光阑、前置准直镜、四孔径偏振片、子孔径成像镜、后置准直镜、AOTF、成像镜、探测器及光学陷阱等组成，以孔径分割方式同时获取目标场景的全部线偏振信息，以声光可调谐滤光器(AOTF)为检偏器和分光色散元件，最终在探测器上形成由四个偏振取向不同且拼接在一起线偏振窄带光谱图像，通过调谐AOTF的驱动频率即可得到整个谱段的全部线偏振光谱图像信息。
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