公开(公告)号：CN101819384A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN201010116824.7

申请日：2010-02-09

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·A·J·克瑞姆 ,  A·G·M·基尔斯 ,  H·P·M·派勒曼斯

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/9501 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7065 ,  G03F9/7088 ,  G03F9/7092

Abstract: 本发明提供一种检验设备、光刻设备、光刻处理单元以及检验方法。对于角度分解光谱测量，使用具有四个扇形的照射轮廓的辐射束。第一和第三扇形被照射，而第二和第四扇形没有被照射。因此，最终的光瞳面被分成四个扇形，并且仅零级衍射图案出现在第一和第三扇形中，而仅第一级衍射图案出现在第二和第三扇形中。

公开(公告)号：CN1817027B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200480018951.6

申请日：2004-03-09

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： 库尼·安德鲁·威克斯

IPC: H04N3/14 ,  H04N5/335 ,  H04N5/235 ,  H04N5/238 ,  H01L27/148 ,  H01L29/768 ,  H01L27/00

CPC classification number: H04N5/347 ,  G01J3/2803 ,  H04N3/1525 ,  H04N3/155 ,  H04N3/1562 ,  H04N5/355 ,  H04N5/35563 ,  H04N5/3728

Abstract: 本发明涉及一种用于提高CCD传感器的动态范围而基本不会增大噪声的装置、方法和软件产品。一开始，将N×M像素CCD传感器的区域细分成两个区域，在每一列内具有(M-a)个像素的用于输出具有低噪声的大幅度信号的大区域，和在每一列内具有a个像素的用于输出动态范围提高的小幅度信号的较小区域。在累积时间内，通过经过a或M-a次垂直移位来移动像素内的电荷，来将一个区域的行内的电荷同时移至水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位将水平移位寄存器内的电荷移出该水平移位寄存器。接下来，通过经过另外a或M-a次垂直移位来移动像素电荷，来将CCD的区域内的剩余电荷读出到水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位来将那些电荷读出水平移位寄存器。在光谱仪应用中，两个区域的数据被以来自较大区域的行的大幅度通道的形式，以及来自较小区域的行的小幅度通道的形式读出。

公开(公告)号：CN101014841B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200580026987.3

申请日：2005-06-02

Applicant: 应用光学电子光学及光谱学开发研究所 ,  分析科学促进学会

Inventor： H·贝克-罗斯 ,  S·弗洛雷克 ,  G·维塞曼 ,  M·奥克鲁斯

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/08 ,  G01J3/12 ,  G01J3/2803

Abstract: 一种光谱计装置(10)具有一个光谱计(14)，用于在一个探测器(42)上产生一种来自辐射源的辐射的第一波长范围的光谱，它包含一个阶梯光栅(36)用于对于进入光谱计装置(10)里的辐射在一个光分散方向(46)上进行光谱分解；包含一个用于分散的元件(34)用于借助于对所述辐射在一个横向分散方向(48)上的光谱分散来进行序列分离，此横向分散方向与阶梯光栅(36)的主分散方向形成一个角度，因此可以产生具有多数分开序列(52)的二维光谱(50)；包含一个成像的光学装置(24，38)用于使通过入射间隙(20)进入光谱计装置(10)的辐射在一个成像平面(40)里成象，并且包含一个面积探测器(42)，它具有许多探测元件在成象平面(40)里成象，并且包含一个面积探测器(42)，它在成象平面(40)里具有许多探测元件的一种二维布置。所述装置的特征在于，设有另外一个光谱计(12)，它具有至少另外一个进行分散的元件(64)和另外一个成像的光学装置(60，66)，用于在同一个探测器(42)上产生一种来自一个辐射源的辐射的与第一波长范围不同的第二波长范围的光谱(68)。所述光谱可以按面积或者随时间在探测器上进行分离。

公开(公告)号：CN101622517A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200880006695.7

申请日：2008-02-26

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： V·舒尔兹 ,  E·J·梅杰

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/12

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1234

Abstract: 本发明涉及响应于所接收的光束产生至少一个电输出信号的光检测器装置(1)，该装置包括：光带通滤波器(3a)，其适于接收光束并提供过滤光束，该滤波器(3a)具有在至少一个轴(4)的方向上增加的透射波长；以及检测器元件(2)阵列，其设置在轴(4)的方向上以接收过滤光束，从而产生电输出信号。

公开(公告)号：CN100569177C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200480015980.7

申请日：2004-05-07

Applicant: 博世创医疗公司 ,  不列颠哥伦比亚癌症研究所

Inventor： 曾海山 ,  米里扬·佩泰克 ,  布兰科·帕尔契奇 ,  加里·W·弗格森

IPC: A61B5/00

CPC classification number: A61B1/0676 ,  A61B1/043 ,  A61B1/0646 ,  A61B1/0684 ,  A61B5/0071 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0084 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J3/4406 ,  G01J2003/1213

Abstract: 本发明包括光学设备，方法并用作实时(视频速率)同时的多模式成像，例如用内窥镜同时的测量白光反射，自然组织自身荧光和近红外图像。这些原理可用于各种光学设备，如显微镜，内窥镜，望远镜，照相机等，观察或分析光与物体，如行星，植物，岩石，动物，细胞，组织，蛋白质，DNA，半导体等的交互作用。多带光谱图像可提供形态学数据，如肺组织的表面结构，然而化学组成，子结构和其它的物体特征可从涉及反射或来自物体的光辐射的(发射的)如发光或荧光光谱信号推论，指出内源的化学物或外源的物质如用于增强可见性的染色剂，药物，治疗或其它作用物。因此，本发明的一个实例讨论同时的白光反射和荧光成像。另一实例描述附加的另一反射的成像形式(近红外光光谱)。讨论各种应用的输入(发光)光谱，光调制器，光处理，物体交互作用，输出光谱，检测器结构，同步，图像处理和显示。

公开(公告)号：CN101542252A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000510.1

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  柴山胜己 ,  能野隆文 ,  伊藤将师 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有积存部(43)。

公开(公告)号：CN101542249A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000507.X

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  柴山胜己 ,  饭田孝 ,  能野隆文 ,  伊藤将师 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。

公开(公告)号：CN101536368A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200680029426.3

申请日：2006-08-10

Applicant: 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司

Inventor： P·伦奎斯特 ,  S·特纳 ,  D·扎卡里

IPC: H04B10/00

CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01N21/6428

Abstract: 适用于监测来自单个光学信号源的多个不同光学信号的方法和系统，其中，每一个这种不同的光学信号与其它信号空间分离并且被引向不同的检测器或者单个检测器上的不同位置，这种引导一般是通过使用较少数量的光学元件和/或操纵来完成的。

公开(公告)号：CN101435719A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200810173468.5

申请日：2008-11-14

Applicant: 三丰株式会社

Inventor： 戴维·W·塞斯科

IPC: G01J3/30

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01B11/0608 ,  G01B21/042 ,  G01B2210/50 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/2803 ,  G02B6/4246 ,  G02B6/4298

Abstract: 在彩色点传感器中，距离测量基于强度概貌数据的距离指示子集，该子集以随着所确定的概貌数据的峰值位置索引坐标(PPIC)变化的方式而选择的。PPIC将概貌数据峰值的位置编索引。对于具有特定PPIC的概貌数据，基于被以所述相同的特定PPIC编索引的、特定的索引专用的数据限制参数来选择概貌数据的距离指示子集。在不同实施例中，被以特定PPIC编索引的、索引专用的数据限制参数的每一集合将数据的距离指示子集特征化，而在相应于具有所述PPIC的概貌数据的距离校准操作期间使用所述数据的距离指示子集。不管总的强度变动和探测器偏压信号电平的变动如何，数据的距离指示子集都可以被补偿，以与在校准操作期间所使用的数据的相应距离指示子集相似。

公开(公告)号：CN101421598A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200780013250.7

申请日：2007-02-09

Applicant: 加利福尼亚太平洋生物科学股份有限公司

Inventor： P·伦奎斯特 ,  D·扎卡里 ,  Y·拉克鲁瓦 ,  S·特纳 ,  J·狄克逊

IPC: G01J3/30

CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/10 ,  G01J3/14 ,  G01J3/2803 ,  G01N21/6445 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/648 ,  G01N2021/6417 ,  G01N2021/6441

Abstract: 用于实时监控来自信号源尤其是具有不同光谱信号分量的光信号源的阵列的光信号的方法和系统。系统包括与光学系列光通信的信号源阵列，其中该光学系列将激发辐射引导至这些阵列并且引导这些阵列发射的信号使其成像在检测器阵列上，在该检测器阵列上可以对这些信号进行另外的处理。