公开(公告)号：NO884365A

公开(公告)日：1989-04-03

申请号：NO884365

申请日：1988-09-30

Applicant: HEIDELBERGER DRUCKMASCH AG

Inventor： MAST FRED ,  KNUS JEAN A

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/42 ,  G01J3/46 ,  G01J3/50 ,  G01N21/27 ,  G01N21/47 ,  G01N21/84 ,  G01N21/89

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0291 ,  G01N21/474 ,  G01N2021/4757 ,  G01N2201/0806 ,  Y10T137/86823 ,  Y10T137/88022 ,  Y10T137/8803

公开(公告)号：KR1020180050865A

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：KR1020160147413

申请日：2016-11-07

Applicant: 오재석

Inventor： 오재석

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/268 ,  G01J3/02

CPC classification number: H01L22/26 ,  G01J3/0218 ,  H01L21/268 ,  H01L21/3065 ,  H01L22/12 ,  H01L22/24

Abstract: 본발명은반도체공정에서기판의특정위치에서의엔드포인트를검출하는시스템에관한것이다. 본발명은반도체플라즈마식각또는클리닝공정의엔드포인트를검출하는시스템으로서, 공정가스를주입하여대상물에대한식각또는클리닝공정이이루어지는공정챔버, 공정챔버의뷰포트를통하여상기대상물의특정영역을확대하는줌 기능및 초점조절기능을가지고대상물의특정영역에서발생한광 데이터를수집하는광학유닛, 광학유닛으로부터광 데이터를받아분석하는분광기, 분광기의분석결과식각또는클리닝공정이엔드포인트에도달한경우식각또는클리닝공정을정지시키도록제어하는제어부, 공정챔버와광학유닛사이에개재되어대상물의특정영역을변경하여관찰할수 있도록상하좌우로각도조절이가능한틸팅유닛, 및광학유닛을통과한상기광 데이터를상기분광기에전달하는광 데이터전달유닛을포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 반도체식각또는클리닝공정에서특정위치에서의엔드포인트를감지할수 있다.

公开(公告)号：KR101803250B1

公开(公告)日：2017-11-30

申请号：KR1020160007150

申请日：2016-01-20

Applicant: (주)아이에스엠아이엔씨

Inventor： 진승민 ,  양일승 ,  배윤미 ,  박성옥 ,  김유식 ,  최두천 ,  한무협

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/12

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/12 ,  G01J2003/1204

Abstract: 특정파장을가지는복수의광을용이하게선택하고검출하기위해서, 입사한광을확산시키는수광부, 제 1 광대역필터쌍, 상기제 1 광대역필터쌍을통과한광을검출하는검출기를포함하고, 제 1 광대역필터쌍은, 광의입사방향에대해제 1 각도를갖도록배치되어, 입사하는광에대하여제 1 파장대역을통과시키는제 1 광대역필터, 광의입사방향에대해제 1 각도와는상이한제 2 각도를갖도록배치되어, 제 1 광대역필터를통과한광에대하여제 2 파장대역을통과시키는제 2 광대역필터, 제 2 광대역필터를통과한광의경로를상기제 1 광대역필터에입사하는광의경로와같아지도록조정하는제 1 경로보상수단을포함하고, 제 1 광대역필터, 제 2 광대역필터및 제 1 경로보상수단은광의입사방향에대해직렬적으로배치되는것을특징으로하는, 분광광도장치가제공된다. 이에따라, 입사대비출력광의효율을증가시키면서, 필요로하는특정파장을가지는복수의광을동시에검출할수 있다.

公开(公告)号：KR1020170122812A

公开(公告)日：2017-11-06

申请号：KR1020177027643

申请日：2016-03-02

Applicant: 고쿠리츠 다이가쿠 호우징 나고야 다이가쿠 ,  세키스이 메디칼 가부시키가이샤

Inventor： 이구치,데츠오 ,  도미타,히데키 ,  니시자와,노리히코 ,  히로츠,다카히로 ,  유루즈메,사토시 ,  데라바야시,료헤이 ,  오하라,도시나리 ,  이데노,아키라 ,  사토,아츠시

IPC: G01N21/3504 ,  G02F1/37 ,  G02B5/08 ,  G02B27/10 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01J3/0218 ,  G01J1/124 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/42 ,  G01N21/01 ,  G01N21/3504 ,  G01N30/88 ,  G01N2030/8868 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/08 ,  G02F1/3551 ,  G02F1/37 ,  G02F2201/02 ,  G02F2203/56 ,  G01N2223/202 ,  G02B5/08 ,  G02B27/1006

Abstract: 탄소동위체로부터이산화탄소동위체를포함하는가스를생성하는연소부, 이산화탄소동위체정제부를구비하는이산화탄소동위체생성장치(40)와; 한쌍의미러를갖는광 공진기(11), 광공진기(11)로부터의투과광의강도를검출하는광 검출기(15)를구비하는분광장치(10)와; 1개의광원(23), 광원으로부터의광을전송하는제1 광파이버(21), 제1 광파이버(21)로부터분기하여제1 광파이버(21)의하류측의합류점에서합류하는파장변환용의제2 광파이버(22), 주파수가다른복수의광을통과시킴으로써주파수의차로부터이산화탄소동위체의흡수파장의광을발생시키는비선형광학결정(25)을구비하는광 발생장치(20)를구비하는탄소동위체분석장치(1). 탄소동위체분석장치(1)는간이하고사용하기쉽고C도분석가능하다.

Abstract translation: 用于产生从一个碳同位素的同位素，碳同位素二氧化碳净化同位素产生装置40具有部分含二氧化碳的气体燃烧单元; 光学谐振器（11），所述光学谐振器11，光谱分析仪具有一光检测器15，用于检测具有一对反射镜的透射光robuteoui的强度10; 第二个用于波长转换接合从单个光源23，第一光纤21，第一光纤21用于在第一光纤的下游侧的合流来自光源的光传输到分支（21） 光纤22，在从频率差碳同位素的吸收波长产生光，其频率被设置有一个光发生器（20），其具有非线性光学晶体（25）的碳 - 同位素分析仪是通过其它多个光传递 （1）。 碳同位素分析仪（1）简单易用，并且可以分析C.

公开(公告)号：KR1020170070120A

公开(公告)日：2017-06-21

申请号：KR1020177012596

申请日：2015-09-23

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 박,수남 ,  주,위페이 ,  수아레스,에드윈씨. ,  잉글,니틴케이. ,  루보미르스키,드미트리 ,  황,자인

IPC: H01J37/32 ,  C23C16/44 ,  C23C16/452 ,  C23C16/455 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52 ,  G01J3/02

CPC classification number: H01J37/32972 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/452 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32532 ,  H01J37/3255

Abstract: 실시예에서, 플라즈마소스는내부의제1 천공들을통해하나이상의플라즈마소스가스를이송하도록구성된제1 전극; 제1 전극의주변부주위에서제1 전극과접촉하여배치된절연체; 제2 전극 - 제2 전극은, 제1 전극, 제2 전극및 절연체가플라즈마발생공동을정의하도록제2 전극의주변부가절연체에맞닿은상태로배치됨 - 을포함한다. 제2 전극은플라즈마발생공동으로부터제2 전극을통해프로세스챔버를향하여플라즈마생성물들을이동시키도록구성된다. 플라즈마생성물들을생성하기위해플라즈마발생공동내에서하나이상의플라즈마소스가스로플라즈마를점화시키도록전력공급부가제1 전극및 제2 전극에걸쳐전기전력을제공한다. 제1 전극, 제2 전극및 절연체중 하나는플라즈마로부터의광학신호를제공하는포트를포함한다.

Abstract translation: 在一个实施例中，等离子体源包括：第一电极，其被配置为通过第一内部穿孔输送一种或多种等离子体源气体; 绝缘体，所述绝缘体被布置为围绕所述第一电极的外围与所述第一电极接触; 第二电极 - 第二电极包括第一电极，第二电极和第二电极的外围部分，使得绝缘体限定等离子体生成腔。 第二电极被配置为通过第二电极将等离子体产物从等离子体生成腔移向处理室。 电源在第一电极和第二电极上提供电力以利用等离子体产生腔内的至少一个等离子体源气体点燃等离子体以产生等离子体产物。 第一电极，第二电极和绝缘体中的一个包括用于从等离子体提供光信号的端口。

公开(公告)号：KR1020170048198A

公开(公告)日：2017-05-08

申请号：KR1020160138200

申请日：2016-10-24

Applicant: 가부시키가이샤 호리바 세이사꾸쇼

Inventor： 이도다쿠야

IPC: G01N21/31 ,  G01J3/427 ,  G01M3/38

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/10 ,  G01J3/28 ,  G01J3/4338 ,  G01N21/61 ,  G01N33/0073 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2201/0691 ,  G01N2201/12

Abstract: 측정광의흡광을이용하여, 정밀도좋게대상가스를분석한다. 가스분석장치(100)는, 복수의광원(1-1, 1-2, … 1-n)과, 도입부(5)와, 수광부(7)와, 분석부(94)를구비한다. 복수의광원(1-1, 1-2, … 1-n)의각각은, 측정광(Lm1, Lm2, … Lmn)을동시에출력한다. 도입부(5)는, 복수의측정광(Lm1, Lm2, … Lmn)을측정공간(S)으로도입한다. 수광부(7)는, 합계강도(Im)를측정한다. 분석부(94)는, 복수의대상가스의어느하나가존재하는측정공간(S)을통과했을때에수광부(7)에서측정되는합계강도(Im)인측정대상강도(Id)와, 복수의대상가스의모두가존재하지않는측정공간(S)을통과했을때에수광부(7)에서측정되는합계강도(Im)인기준강도(Id)의차에기초하여, 대상가스의분석을행한다.

Abstract translation: 利用测量光的吸收，可以高精度分析目标气体。 气体分析仪100包括多个光源1-1至1-2以及引入单元5和光接收单元7以及分析单元94。 多个光源1-1,1-2，...，1-n中的每一个同时输出测量光Lm1，Lm2，...，Lmn。 引入部分5将多个测量光Lm1，Lm2，...，Lmn引入到测量空间S中。 光接收部分7测量总强度Im。 分析部分94分析当通过存在多个目标气体之一的测量空间S时由光接收部分7测量的总强度Im的测量对象Id的强度， 当气体通过其中不存在全部气体的测量空间S时，基于在光接收部分7处测量的流行强度（Id）的总强度（Im）的差异来分析目标气体。

公开(公告)号：KR1020170029892A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：KR1020150127034

申请日：2015-09-08

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 김인중 ,  윤일구

IPC: G02B3/00 ,  H01J37/32 ,  G01J3/443 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768

CPC classification number: G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/443 ,  G02B5/205 ,  G02B7/021 ,  H01J37/32972 ,  H01J37/3299 ,  H01L21/67253

Abstract: 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출하는데이용할수 있는튜브형렌즈, 그튜브형렌즈를포함한 OES 장치, OES 장치를포함한플라즈마모니터링시스템및 그시스템을이용한반도체제조방법을제공한다. 그튜브형렌즈는원통형튜브; 광이입사하는상기튜브의입구쪽에배치되고, 중심영역으로상기광의투과가차단된제1 렌즈; 및상기광이출사하는상기튜브의출구쪽에배치된제2 렌즈;를포함한다.

Abstract translation: 本发明的技术特征提供了一种使用等离子监控系统和包括该OES设备，OES设备，包括等离子处理eseoui等离子体状态的筒状透镜的系统中，并且可用于精确地检测镜头管的半导体制造方法。 管状透镜包括圆柱形管; 它被设置在使光入射时，在第一透镜和光透射被阻挡在中央区域中的管的入口; 并且第二透镜设置在光出射的管的出口侧。

公开(公告)号：KR1020170026196A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：KR1020160107484

申请日：2016-08-24

Applicant: 오츠카덴시가부시끼가이샤

Inventor： 시라이와히사시

IPC: G01N21/64 ,  G01N33/02 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/6484 ,  G01N2201/0833 ,  G01N2201/0846 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0064

Abstract: 보다우수한현미분광장치를제공한다. 현미분광장치는, 광원과, 상기광원으로부터의광을받는복수의투광파이버와, 분광기와, 받은광을상기분광기로유도하기위한복수의수광파이버와, 상기복수의투광파이버로부터의복수의광속을각각집광하여시료에조사하고, 상기시료에있어서의복수의집광점으로부터의복수의광속을상기복수의수광파이버에각각결상하기위한공초점광학계를구비한다.

Abstract translation: 显微光谱仪（101）包括：光源（11,17）; 多个从所述光源（11,17）接收光的投光光纤（12）; 分光仪（1）; 多个光接收光纤（22），用于将接收到的光引导到所述分光器（1）; 以及共焦光学系统（5），用于使来自所述多个投光光纤（12）的多个光束中的每一个被聚集并照射到样本上，并且从多个聚光点形成多个光束的图像 分别在多个受光光纤（22）上。

公开(公告)号：KR1020160113195A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：KR1020167022991

申请日：2015-01-30

Applicant: 캐논 유.에스.에이. 인코포레이티드 ,  더 제너럴 하스피탈 코포레이션

Inventor： 티어니귈레르모제이 ,  강동균 ,  이쿠타미츠히로

IPC: A61B1/00 ,  A61B1/07 ,  G02B23/24 ,  G02B23/26

CPC classification number: G02B23/2469 ,  A61B1/00096 ,  A61B1/07 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/1895 ,  G02B6/02076 ,  G02B6/02085 ,  G02B6/241 ,  G02B6/29311 ,  G02B23/24 ,  G02B23/2423 ,  G02B23/26

Abstract: 컬러스펙트럼부호화촬상을위해채택된격자를갖는프로브가제공될수 있다. 프로브는도파관구성체, 집광구성체, 및제1 격자패턴과제2 격자패턴을구비할수 있는격자구성체를포함할수 있다. 도파관구성체는제1 파장을갖는광 및제2 파장을갖는광이도파관구성체요소로부터전파되도록구성및/또는구조화될수 있고, 집광및 도파관구성체는격자구성체상에입사되는광을제공할수 있다. 격자구성체는제2 파장을갖는광이제2 격자패턴에의해회절될때와실질적으로동일한위치로제1 파장을갖는광이제1 격자패턴에의해회절되도록구성및 배열될수 있다.

公开(公告)号：KR1020150045534A

公开(公告)日：2015-04-28

申请号：KR1020157009181

申请日：2010-04-27

Applicant: 피코메트릭스 엘엘씨

Inventor： 짐달즈,데이비드

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/42

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/42 ,  G01N21/3581 ,  G01N21/3586 ,  G02B6/4206

Abstract: 광학섬유의신장에대한영향을감소시키는시스템은광학신호를출력하는광학제어소스와, 상기광학소스에광학적으로연결된테라헤르츠송신기와수신기, 및상기테라헤르츠수신기가광학신호에의해테라헤르츠송신기에동조되도록테라헤르츠송신기와테라헤르츠수신기모두에광학신호를보내는수단을포함한다. 상기수단은테라헤르츠송신기또는테라헤르츠수신기에보내진광학신호를가진섬유의신장을막거나또는테라헤르츠수신기가광학신호에의해테라헤르츠송신기에계속하여동조될수 있게광학섬유의신장을허용한다.