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公开(公告)号:KR100810722B1
公开(公告)日:2008-03-07
申请号:KR1020070032742
申请日:2007-04-03
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/24
Abstract: An apparatus for measuring a surface profile and a control method thereof are provided to apply a field of view having different resolution depending on the size and disposition of electronic parts and soldering parts. An apparatus for measuring a surface profile includes a photographing part(20), and a controller(50). The photographing part includes a CCD camera(21), a condensing lens(22), a first actuator(23), and a second actuator(24). The condensing lens is disposed between an object to be measured and the CCD camera. The first actuator moves the CCD camera to adjust the distance between the CCD camera and the object. The second actuator moves the condensing lens to adjust the distance between the condensing lens and the CCD camera. The controller controls the first actuator and the second actuator to adjust the distances to vary resolution of a field of view.
Abstract translation: 提供一种用于测量表面轮廓的装置及其控制方法,以根据电子部件和焊接部件的尺寸和布置应用具有不同分辨率的视场。 用于测量表面轮廓的装置包括拍摄部分(20)和控制器(50)。 拍摄部分包括CCD照相机(21),聚光透镜(22),第一致动器(23)和第二致动器(24)。 聚光透镜设置在待测物体和CCD相机之间。 第一个执行器移动CCD摄像机来调整CCD摄像机和物体之间的距离。 第二个执行器移动聚光透镜来调节聚光透镜和CCD相机之间的距离。 控制器控制第一致动器和第二致动器以调整距离以改变视野的分辨率。
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公开(公告)号:KR100699317B1
公开(公告)日:2007-03-23
申请号:KR1020050008523
申请日:2005-01-31
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 기준 미러와, 상기 광원으로부터의 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 다 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 다 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 다 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 다 파장 범위 내의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
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公开(公告)号:KR100625641B1
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:KR1020040030417
申请日:2004-04-30
Applicant: (주)펨트론
IPC: H05K13/08
Abstract: 본 발명은 X선 검사장치에 관한 것으로서, 대상물체가 안착되며 판면에 수직인 축을 회전축으로 하여 회전하는 테이블과, 상기 대상물체에 X선을 조사하는 X선 발생기와, 상기 X선 발생기가 상기 테이블의 회전평면과 소정의 각도를 이루는 평면상에서 이동하도록 형성된 X선 발생기 안내부와, 상기 대상물체를 통과한 X선을 검출하는 검출기와, 상기 검출기가 상기 테이블을 사이에 두고 상기 X선 발생기와 대향되게 동기 이동하도록 형성된 검출기 안내부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 인쇄회로 기판 상의 납땜부 등의 불량여부를 검사하기 위한 X선 검사장치를 간단하게 구성할 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020050104947A
公开(公告)日:2005-11-03
申请号:KR1020040030417
申请日:2004-04-30
Applicant: (주)펨트론
IPC: H05K13/08
CPC classification number: G01N23/043 , H05K3/341 , H05K13/08
Abstract: 본 발명은 X선 검사장치에 관한 것으로서, 대상물체가 안착되며 판면에 수직인 축을 회전축으로 하여 회전하는 테이블과, 상기 대상물체에 X선을 조사하는 X선 발생기와, 상기 X선 발생기가 상기 테이블의 회전평면과 소정의 각도를 이루는 평면상에서 이동하도록 형성된 X선 발생기 안내부와, 상기 대상물체를 통과한 X선을 검출하는 검출기와, 상기 검출기가 상기 테이블을 사이에 두고 상기 X선 발생기와 대향되게 동기 이동하도록 형성된 검출기 안내부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 인쇄회로 기판 상의 납땜부 등의 불량여부를 검사하기 위한 X선 검사장치를 간단하게 구성할 수 있다.
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