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公开(公告)号：WO2009142390A2
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/KR2009/001611
申请日：2009-03-30
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2509 , G01N21/956 , G01N2021/95638
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터 및 제2 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터 및 상기 제2 흑백 이미지 데이터를 이용하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量表面轮廓的装置，其检测待测物体的表面的二维图像。 本发明包括将第一单色光照射到待测量物体的表面上的第一光源，将与所述第一光源不同的单色的第二单色光照射到所述第一光源的表面上的第二光源 要测量的对象，以及感测由所述第一和第二光源照亮的被测量物体的表面反射的所述第一单色光和所述第二单色光的单色相机。 它还包括控制单元，其控制所述第一光源，所述第二光源和所述单色相机以分别响应于所述第一单色光获得第一和第二单色图像数据，并且所述第二单色光源分别照射到 所述待测量对象被使用所述第一和第二单色图像数据生成所述要测量对象的表面的复合彩色图像。 因此，可以使用低成本的单色相机获得2-D彩色图像，并且通过使用具有比彩色照相机更高的处理速度的单色相机来提高处理速度。
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公开(公告)号：KR100719352B1
公开(公告)日：2007-05-17
申请号：KR1020040044292
申请日：2004-06-16
Abstract: 본 발명은 바닥면과, 상기 바닥면에 일 영역 도포된 오브젝트를 갖는 표면형상 측정방법에 있어서, 기준면을 결정하는 단계와; 상기 기준면으로부터 상기 기판의 표면까지의 제1 높이 데이터를 측정하는 단계와; 상기 바닥면 상에서 상기 오브젝트가 도포된 영역을 포함하는 관심 영역을 결정하는 단계와; 블롭 해석(Blob Analysis) 기법을 이용하여 상기 관심 영역 내에서 상기 오브젝트의 경계를 결정하는 단계와; 상기 제1 높이 데이터와, 결정된 상기 오브젝트의 경계에 기초하여 상기 기판의 표면 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 기판의 표면형상을 측정하는데 있어 기판의 실제 바닥면에 대한 데이터를 반영하여 기판의 실제 바닥면에 대한 기판의 표면형상, 특히 솔더 등의 오브젝트의 형상을 보다 정확하게 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100647493B1
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：KR1020040026014
申请日：2004-04-16
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 측정방법은 적어도 3 이상의 상호 상이한 파장의 광에 대해 위상 천이 간섭법을 이용하여 위상 데이터를 획득하는 단계와; 상기 위상 데이터를 분석하여 상기 박막의 두께 및 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정시간, 측정된 데이터의 량, 측정된 데이터를 분석하기 위한 데이터의 처리시간을 현저히 감소시켜, 실제 반도체 등의 제조 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050103263A
公开(公告)日：2005-10-27
申请号：KR1020040028519
申请日：2004-04-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 측정물의 형상을 측정하는 모아레 시스템에 있어서, 상기 측정물로부터 이격 배치되는 광원과; 소정 피치의 제1 격자무늬와, 상기 제1 격자무늬와 상이한 피치의 적어도 하나의 제2 격자무늬를 갖는 다중피치 투영격자와; 상기 광원으로부터의 광이 상기 제1 격자무늬와 상기 제2 격자무늬 중 어느 하나를 통과하도록 상기 다중피치 투영격자를 이동시키는 격자이동부와; 상기 다중피치 투영격자를 통과하여 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 이미지를 결상하기 위한 결상장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, π 모호성으로 인한 측정범위의 제한을 극복하여, 투영격자의 교체없이 하나의 시스템에서 다양한 측정범위의 측정물들을 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050086044A
公开(公告)日：2005-08-30
申请号：KR1020040012372
申请日：2004-02-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 투영격자와 상기 투영격자를 통해 측정물에 광을 투영하는 광원을 갖는 영사장치와, 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 격자이미지를 결상하기 위한 결상장치를 갖는 모아레 시스템을 이용한 표면형상 측정방법에 있어서, 상기 결상장치로부터 상이한 이격거리를 갖는 복수의 가상 기준면에 대한 기준위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 결상장치와 상기 측정물에 대한 실제 기준면 간의 이격거리를 검출하는 단계와; 상기 모아레 시스템을 이용하여 상기 측정물의 표면에 대한 측정위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 기준위상 데이터들 중 검출된 상기 실제 기준면의 이격거리에 대응하는 기준위상 데이터와 상기 측정위상 데이터에 기초하여 상기 측정물의 표면형상에 대한 데이터를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 복수의 기준면에 대한 기준위상을 사용하여 보다 정밀한 표면형상 측정을 가능하게 하고, 모아레 시스템의 가격을 낮출 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101017300B1
公开(公告)日：2011-02-28
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광과 상이한 색상의 제3 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제3 광원과; 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 제3 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광, 상기 제2 단색광 및 상기 제3 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터, 제2 흑백 이미지 데이터 및 제3 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원, 상기 제3 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005146B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 2 대 이상의 카메라로부터 각각 획득된 홀로그램을 이용하여 표면 형상을 측정하는 3D 측정 광학 시스템에 적용되는 2 대의 카메라를 정렬하는 카메라 정렬방법에 있어서, (a) 상기 3D 측정 광학 시스템의 광 경로 상에 배치된 편광 요소가 동일한 편광 상태를 갖도록 상기 편광 요소의 편광 방향을 정렬하는 단계와, (b) 광원부로부터 빔이 조사되어 상기 2 대의 카메라에 의해 홀로그램이 획득되는 단계와, (c) 상기 한 쌍의 홀로그램에 대해 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여, 상기 한 쌍의 카메라 간의 인 플레인 미스얼라인먼트(In plane misalignment)와 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment) 중 적어도 하나를 정렬하는 단계를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 상기 인 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c1) 상기 상관관계(Correlation) 기법 상의 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 빔의 상기 카메라로의 입사 방향을 축으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c2) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 상기 홀로그램 상의 위치에 기초하여 상기 입사 방향에 수직한 좌표 평면 상의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c3) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 상기 각 카메라로 입사되는 빔의 광 경로의 거리에 대한 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 와, (c4) 상기 한 쌍의 홀로그램 내의 동일한 위치에 복수의 단위 섹터를 선택하고, 상호 대응하는 단위 섹터에 대해 상기 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여 추출한 상기 각 단위 섹터에 대한 상관관계 피크값에 기초하여, 상기 좌표 평면의 두 축을 중심으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100087791A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A birefringence measuring method and apparatus using off-axis digital holography are provided to enable measurement of a large object such as LCD glass and minimize causes of noise. CONSTITUTION: A birefringence measuring apparatus using off-axis digital holography comprises a first photographing unit(50), a second photographing unit(60), a light source(10), a first beam splitter(20), a reference mirror(30), a second beam splitter(21), a reflection mirror(40), a third beam splitter(22), a vertical linear polarizer(51), a horizontal linear polarizer(61), and a controller. The light source generates a linear polarized beam having a polarization direction of 45°. The first beam splitter outputs the linear polarized beam by dividing it into a measurement beam route and a reference beam route. The reference mirror is arranged to incline to the reference beam route in order to apply off-axis technique. The second beam splitter faces the linear polarized beam to a reference mirror. The reflection mirror reflects the linear polarized beam to a measurement object(100). The third beam splitter outputs the measurement beam by dividing it into the first photographing unit and the second photographing unit. The vertical linear polarizer passes the vertical polarization component of interference light and outputs it to the first photographing unit. The horizontal linear polarizer passes through the horizontality polarization component of interference light and outputs it to the second photographing unit. The controller calculates the level of birefringence on the measurement object.
Abstract translation: 目的：提供使用离轴数字全息术的双折射测量方法和装置，以便能够测量诸如LCD玻璃的大型物体并且最小化噪声的原因。 构成：使用离轴数字全息术的双折射测量装置包括第一拍摄单元（50），第二拍摄单元（60），光源（10），第一分束器（20），参考反射镜（30） ，第二分束器（21），反射镜（40），第三分束器（22），垂直线偏振器（51），水平线性偏振器（61）和控制器。 光源产生偏振方向为45°的线偏振光束。 第一分束器通过将线偏振光束分成测量光束路径和参考光束路径来输出。 参考镜被布置成倾斜到参考光束路径以便应用离轴技术。 第二分束器将线偏振光束面对参考反射镜。 反射镜将线偏振光束反射到测量对象（100）。 第三分束器通过将测量光束分成第一拍摄单元和第二拍摄单元来输出测量光束。 垂直线偏振器通过干涉光的垂直偏振分量并将其输出到第一拍摄单元。 水平线性偏振器通过干涉光的水平偏振分量并将其输出到第二拍摄单元。 控制器计算测量对象上的双折射水平。
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公开(公告)号：KR100902170B1
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：KR1020080046004
申请日：2008-05-19
Applicant: (주)펨트론
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2509 , G01N21/956 , G01N2021/95638
Abstract: A surface shape measuring apparatus is provided to improve the processing speed and to obtain a two-dimension image by using a black and white camera. A surface shape measuring apparatus is composed of a first light source(31) irradiating a first single color light to the surface of the object, a second light source(32) irradiating the second single color light to the surface of the object, a black and white camera(10) taking a picture of the first and second single color lights, and a control unit(40) producing a mixed color image.
Abstract translation: 提供了一种表面形状测量装置，以通过使用黑白相机提高处理速度并获得二维图像。 表面形状测量装置由将第一单色光照射到物体的表面上的第一光源（31），将第二单色光照射到物体表面的第二光源（32），黑色 和白相机（10）拍摄第一和第二单色光的图像，以及产生混合彩色图像的控制单元（40）。
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公开(公告)号：KR100867302B1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020080034784
申请日：2008-04-15
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
IPC: G03H5/00
Abstract: A 3D measurement device using digital holography is provided to complement a demerit in measurement speed the existing on-axis method has and a demerit in lateral resolution, thereby satisfying the measurement speed and the lateral resolution. An optical source unit(10) emits light toward a light splitting unit(20). The optical source unit comprises a light source(11), a fixing member(13) and a light source polarizing plate(12). The light source emits laser light of short wavelength. A He-Ne laser is used as a light source. If laser light having short wavelength is emitted, another type laser can be applied.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置，以补偿现有的轴上方法具有的测量速度和横向分辨率的缺点，从而满足测量速度和横向分辨率。 光源单元（10）向分光单元（20）发射光。 光源单元包括光源（11），固定构件（13）和光源偏振板（12）。 光源发出短波长的激光。 氦氖激光器用作光源。 如果发射具有短波长的激光，则可以应用另一种类型的激光。
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