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公开(公告)号：KR1020070109063A
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：KR1020060041551
申请日：2006-05-09
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: H05K3/06
CPC classification number: H05K3/1208 , H05K3/064 , H05K3/282
Abstract: An apparatus for rewinding and removing a PET film is provided to separate the PET film from a rewinding axis by freely adjusting an outer diameter of the rewinding and removing apparatus. An apparatus for rewinding and removing a PET(PolyEthylene Terephthalate) film includes an inner axis(110), an outer axis(120), and a push ring(130). The inner axis is tapered to increase a diameter from a center to one end thereof. A center portion of the outer axis is emptied, so that the outer axis is inserted into an outer portion of the inner axis. The outer axis is tapered, so that an inner diameter is increased to both ends thereof. At least one cutting groove cut to be parallel to an axis direction is formed on the outer axis. The push ring is coupled with the other end of the inner axis, so that the push ring is moved in an axial direction. The push ring is tapered, so that an outer diameter is increased to the other end of the inner axis. Tapered surfaces at both ends of the outer axis are contacted with the tapered surfaces of the inner axis and the push ring. When the push ring is moved, the cut outer axis is moved along the tapered surface.
Abstract translation: 提供一种用于重绕和除去PET膜的设备，通过自由地调节回卷和取出装置的外径来分离PET膜与重绕轴。 PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）膜的重绕和除去装置包括内轴（110），外轴（120）和推环（130）。 内轴是锥形的以增加直径从中心到其一端。 外轴的中心部分被排空，使得外轴插入到内轴的外部。 外轴是锥形的，从而内径增加到其两端。 在外轴上形成至少一个切割成平行于轴线方向的切割槽。 推环与内轴的另一端连接，使得推环沿轴向移动。 推环是锥形的，使得外径增加到内轴的另一端。 外轴两端的锥形表面与内轴和推环的锥形表面接触。 当推动环移动时，切割的外轴沿锥形表面移动。
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公开(公告)号：KR100707930B1
公开(公告)日：2007-04-16
申请号：KR1020050013371
申请日：2005-02-18
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: C02F1/66 , C02F11/14 , C02F1/70 , C02F103/34
Abstract: 본 발명은 에칭 폐액의 재활용 처리 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물이 채워진 반응조에 에칭 폐액과 NaOH를 투입하는 단계; 상기 반응조를 교반하면서 중화 반응시키는 단계; 및 상기 중화 반응 종료 후의 침전물을 회수하여 탈수 및 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에칭 폐액 처리 방법 및 이에 이용되는 장치에 관한 것으로 본 발명의 방법 및 장치를 이용하면 에칭 폐액을 간단한 중화 반응을 통해 효율적으로 처리하고 재활용할 수 있다.
에칭 폐액, 수산화구리, 염화구리 폐액, 염화철 폐액-
公开(公告)号：KR100510015B1
公开(公告)日：2005-08-26
申请号：KR1020030026060
申请日：2003-04-24
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: G01N9/00
Abstract: 본 발명은 스트레인 게이지를 이용한 유동유체의 비중 측정 보상 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히, 비중 측정을 위한 대상 용액을 공급하는 메인 탱크; 대상 용액을 공급받아 일정하게 흐름을 유지하는 유체미동 흐름 탱크; 부력공과 스트레인 게이지를 구비하여 대상 용액의 무게 데이터를 측정하는 비중 감지부; 대상 용액의 온도를 감지한 후 그에 상응한 온도 데이터를 출력하는 온도 감지부; 무게 및 온도 데이터를 입력받아 대상 용액의 비중값인 측정 데이터를 계산하고 미리 저장된 통계 데이터와 비교한 후 그에 상응한 각종 제어신호를 출력하는 컨트롤 박스; 비중 보상 제어신호를 입력받아 대상 용액의 비중 보상을 위한 물 또는 용액을 메인 탱크로 공급하는 비중 보상부; 및 경고발생 제어신호를 입력받음과 동시에 그에 상응한 경고등과 알람을 울리는 경고부로 구성된 것을 특징으로 하며, 이러한 본 발명은 흐르는 유동유체의 비중 측정 및 보상이 자동으로 수행될 수 있을 뿐만 아니라 그로인해 측정되는 대상 용액의 비중을 효율적으로 일정하게 유지 및 관리할 수 있다는 뛰어난 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020040095012A
公开(公告)日：2004-11-12
申请号：KR1020030028607
申请日：2003-05-06
Applicant: (주)화백엔지니어링
Inventor： 이강
IPC: C25D21/16
CPC classification number: C25D21/18 , C23C18/1617 , C23C18/1683 , C25D21/12 , G01N21/255 , G01N21/47
Abstract: PURPOSE: To regenerate the solutions through compensation after accurately measuring the solutions by vector spherical surface analysis through RGB color sensor for plating and reduction solutions whose chemical consumption and impurity content are increased according to plating and oxidation time when using plating solution and surface oxidation solution. CONSTITUTION: The apparatus comprises a plating solution storage tank (100) for supplying a solution for plating or surface oxidation; first RGB color sensor (200) for sensing RGB light data through light scattering by scanning a specific light of RGB to a plating solution flown in from the plating solution storage tank and circulated through a pipe line; an additive solution supply part (300) for selectively supplying an additive solution corresponding to the signal at the same time when receiving a solution supply control signal; a mixing part (400) for mixing the additive solution with the plating solution circulated through the pipe line by receiving the relevant additive solution from the additive solution supply part; second RGB color sensor (500) for sensing RGB light data through light scattering by scanning a specific light of RGB to the plating solution mixed in the mixing part and circulated through the pipe line; and control board (600) for outputting a solution supply control signal to the additive solution supply part to regenerate a plating solution corresponding to the analysis results after comparatively analyzing the inputted RGB light data with a preset color pattern by receiving RGB light data sensed by the first RGB color sensor, and outputting various control signals corresponding to the judgement results after judging whether or not to regenerate a plating solution after comparatively analyzing the inputted RGB light data with the preset color pattern by receiving RGB light data measured by the first and second color sensors respectively.
Abstract translation: 目的：使用电镀液和表面氧化溶液时电镀和氧化时间增加化学消耗量和杂质含量，通过RGB彩色传感器对电镀和还原溶液进行矢量球面分析，精确测量溶液，从而通过补偿重新生成溶液。 构成：该装置包括用于提供电镀或表面氧化的溶液的电镀液储罐（100） 第一RGB颜色传感器（200），用于通过将特定的RGB光扫描到从镀液储存罐流入的电镀液中并通过管线循环来通过光散射来感测RGB光数据; 添加溶液供给部（300），用于在接收溶液供给控制信号的同时选择性地供给与所述信号对应的添加剂溶液; 混合部分（400），用于通过从添加剂溶液供应部分接收相关的添加剂溶液将添加剂溶液与通过管线循环的镀液混合; 第二RGB颜色传感器（500），用于通过将特定的RGB光扫描到混合在混合部分中的电镀溶液并通过管线循环来通过光散射来感测RGB光数据; 以及控制板（600），用于将相应于分析结果的溶液供应控制信号输出到添加剂溶液供应部分，以便通过接收由 第一RGB颜色传感器，并且在通过接收由第一和第二颜色测量的RGB光数据比较分析所输入的具有预设颜色图案的RGB光数据之后判断是否重新生成电镀溶液之后，输出与判断结果相对应的各种控制信号 传感器。
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公开(公告)号：KR102200152B1
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：KR1020190113414
申请日：2019-09-16
Applicant: (주)화백엔지니어링
Abstract: 본발명은플라즈마공정의반응챔버에설치되어플라즈마로부터방출되는광을감지하는광학센서부와상기광학센서부의측정결과를분석하여상기플라즈마반응챔버의동작을제어하는주제어부를포함하는플라즈마공정모니터링장치에서, 상기광학센서부는플라즈마로부터방출되는광을감지하는컬러센서와자가단계인식부에서수신한각 단계별증폭시정수를이용하여컬러센서로부터의신호를증폭하고각 공정단계에맞게증폭이득을조절하는자동이득조정증폭기로구성되는광학센서모듈을포함하고, 상기주제어부는현재의영역이전체플라즈마공정레시피의어느단계에해당하는지판단하여, 해당단계에맞는증폭시정수를산출해서상기자동이득조정증폭기에제공하는자가단계인식부를포함하는것을특징으로하는플라즈마공정모니터링장치에관한것으로, 본발명에의하면플라즈마공정에서각 공정단계사이의플라즈마플럭스차가큰 공정레시피에도불구하고미세공정변화를실시간으로감지하여세밀하고정교한공정제어를달성할수 있다.
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公开(公告)号：KR101685917B1
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：KR1020150045652
申请日：2015-03-31
Applicant: (주)화백엔지니어링
Abstract: 본발명에따른피시비기판솔더처리장치는오일을저장하기위한오일탱크부재와, 상기오일탱크부재로부터오일을공급받아피시비기판의표면에오일을분사하기위한피시비기판오일처리부재와, 상기피시비기판오일처리부재내외부로피시비기판을투입및 배출하기위한피시비기판이송부재와, 상기오일탱크부재와피시비기판오일처리부재사이로오일을순환시키기위한오일순환부재를포함하며, 상기오일탱크부재는저장되는오일을미리지정된온도로가열하도록구성되며, 상기피시비기판오일처리부재는상기오일탱크부재로부터공급된오일을미리지정된온도로유지하도록구성되며, 상기피시비기판오일처리부재내부에는상기오일탱크부재로부터공급된오일이미리지정된높이로저장되며, 상기피시비기판오일처리부재내부로투입되는피시비기판표면으로오일을분사하기위한노즐이설치되는것을특징으로한다. 본발명에의해, 피시비기판의표면에형성된무연솔더의평탄도가일정하게되도록처리할수 있다. 또한, 요구되는사양에따라깎여지는무연솔더의두께를자유롭게조절할수 있다.
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公开(公告)号：KR101291552B1
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：KR1020110049961
申请日：2011-05-26
Applicant: (주)화백엔지니어링
Abstract: 본 발명은 에칭액 재생 및 구리 회수 장치 및 방법에 관한 것으로서, 구리가 함유된 에칭액을 전기분해로 재생함과 동시에 구리를 회수하기 위한 에칭액 재생 및 구리 회수 장치로서, 에칭공정이 수행되는 에칭조와; 상기 에칭조에서 생성된 폐 에칭액을 재생시키기 위한 재생조와; 상기 재생조에서 석출된 구리를 회수하기 위한 회수조와; 상기 에칭조와 재생조와 회수조를 제어하기 위한 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 에칭조에서 에칭이 진행됨에 따라 노화되는 폐 에칭액을 재생조로 이송시키고, 이를 전기분해 방식으로 실시간 재생시킴으로써, 폐 에칭액이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 유독한 농염산의 음극실액과 섞인 구리를 자동으로 분리 회수한 후, 압착 방식으로 염산액을 짜내어 구리를 덩어리 형태로 회수하여 작업자를 유독한 환경으로부터 보호할 수 있다.
또한, 에칭 공정의 진행과 동시에 구리를 실시간으로 회수시킴으로써, 에칭 공정을 정지시키거나 별도의 작업을 행하는 다운타임이 없도록하여 에칭 공정의 가동율을 높임과 동시에 구리의 생산성을 높일 수 있다.-
公开(公告)号：KR101285093B1
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：KR1020110037722
申请日：2011-04-22
Applicant: (주)화백엔지니어링
IPC: C25D21/14 , H01L21/288 , G01N21/84 , C25D21/00
Abstract: 본 발명은 도금 공정 라인에 설치되는 도금액 컨트롤 장치로서, 도금 공정 라인에 설치되어 도금액의 색상 정보를 감지하기 위한 알지비센서부와; 도금액의 수소이온지수(pH)를 감지하기 위한 수소이온지수센서부와; 상기 알지비센서부 및 수소이온지수센서부로부터 신호를 입력받는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 도금액의 색상 값과 수소이온지수 값을 측정하여 도금 공정의 이상유무 또는 공정상태의 변화를 실시간으로 모니터링 할 수 있다.
또한, 도금 공정의 실시간 모니터링 및 진단기술을 통해 공정 상에 발생되는 오류의 조기에 발견함으로써, 반도체 제조비용을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 알지비 컬러센서와 수소이온지수센서를 포함하는 도금액 컨트롤 장치는 기존의 도금 공정 라인의 설계 변경 없이 용이하게 설치할 수 있다.
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