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公开(公告)号：CN205910552U
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201620910406.8
申请日：2016-08-22
Applicant: 中北大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本实用新型公开了一种煤机装备无线无源监测系统，包括通过无线通信协议连接的上位机接收端和信号采集端，所述上位机接收端由电脑和Zigbee信号接收单元组成，所述信号采集端包括振动能量采集部分、系统电路部分以及壳体部分，所述的振动能量采集部分包括压电单元、磁电单元和摩擦单元，压电单元固结于能量采集仓上壁，摩擦单元固结于能量采集仓下壁，磁电单元悬浮于能量采集仓仓体中心，所述系统电路部分包括电路板卡槽、射频电路、主控电路、能量采集电路和电池腔。本实用新型可以实现对旋转类重型采煤机械在线状态监测，集成独立能源供给技术和无线数据收发技术，可以免去工业现场布线的步骤、安装更加灵活、监控更加方便。
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公开(公告)号：CN214621168U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202121268944.9
申请日：2021-06-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型涉及海洋工程装备性能测试技术领域，具体涉及一种海洋多参数集成测试装置，包括主舱体、流速计、注入舱、压力变送器、推进舱、截止阀、泄压水槽、打压泵、100mm可调整接口、被测对象、316不锈钢管、显示器、工控机、防护装置、支撑平台、三通管，所述主舱体固定在支撑平台上，侧面配置有若干个100mm可调整接口，其内部加持机构可固定0‑100mm范围内的多种海洋装备以及传感器，所述流速计、注入舱、推进舱、截止阀通过若干316不锈钢管与主舱体连接在一起，形成环路。本实用新型从实际海洋环境以及多参数传感器集成测试需求出发，可以实现水下多参数环境模拟，为水下工程装备的研制、测试提供快速可靠的平台基础。
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公开(公告)号：CN218629621U
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202220550484.7
申请日：2022-03-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型公开了一种微型盐度传感器，包括硅基衬底、左电流电极、右电流电极、左电压电极右电压电极、温度电极以及引线键合焊盘；在硅基衬底的同一表面，从左至右依次分布着左电流电极、左电压电极、温度电极、右电压电极、右电流电极，左电流电极与右电流电极之间、左电压电极与右电压电极之间均呈左右轴对称分布，温度电极上覆盖一层氮化硅薄膜、氮化硅薄膜上覆盖一层氧化硅绝缘层，左电流电极、左电压电极、温度电极、右电压电极、右电流电极分别通过引线键合焊盘与金丝球焊线连接后，与后端处理电路连接。本实用新型的整体芯片在毫米级，具有体积小、一致性好、精度高、功耗低、易集成、成本低、可大批量生产等诸多优势。
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公开(公告)号：CN216081887U
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202122837774.8
申请日：2021-11-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01L19/14
Abstract: 本实用新型涉及传感器领域，具体涉及一种柔性固液耦合压力传感器封装，包括传感器上盖、唇缘与上盖相连的传感器底壳、设置在传感器底壳内的中间垫片、设置在中间垫片上端的压力传感器槽内的压力传感芯片、设置在中间垫片与传感器底壳之间的软质液囊，中间垫片与软质液囊构成空腔，起到水密的作用，所述压力传感器槽内开有与空腔连通的小孔。本实用新型中，对压力传感器芯片采用固液耦合的封装方式，使得柔性表面压力的集中在压力传感器芯片的敏感单元，从而可以实现柔性固体的压力测试，突破了刚性封装传感器在测量柔性物体压力参数时所造成的数据失真、对被测物体造成刚性物理伤害的局限，同时可以有效保护所测试柔性表面如：皮肤、眼球等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN215956645U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202121890231.6
申请日：2021-08-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
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公开(公告)号：CN218646480U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202223017124.X
申请日：2022-11-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请涉及传感技术领域，具体提供了一种压阻式压力传感器，该压阻式压力传感器包括硅基层、金属引线。硅基层的一个侧面设置有凹陷结构，凹陷结构的底部形成硅膜片，硅膜片远离凹陷结构一侧的表面上设置有超浅掺杂区，金属引线固定设置于硅基层远离凹陷结构一侧，金属引线至少一端与超浅掺杂区固定接触。超浅掺杂区通过金属引线连接入电回路中。金属引线使用磁控溅射或沉积法制备。超浅掺杂区采用低能量的离子注入工艺制造。凹陷结构采用时分复用法刻蚀技术制备。本实用新型中超浅掺杂区的掺杂厚度为纳米数量级，这样在微小压力环境中形变量较小的情况下，仍然能够引起较大的电阻值变化，从而实现微小压力的高灵敏探测。
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公开(公告)号：CN216668709U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202123325139.8
申请日：2021-12-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01C13/00
Abstract: 本实用新型涉及海洋湍流探测技术领域，具体涉及一种高可靠性的MEMS纤毛‑十字梁湍流敏感结构，包括信号接收板、设置在信号接收板上的梁根部加固型十字梁芯片、以及集成设置在梁根部加固型十字梁芯片上的仿生纤毛，梁根部加固型十字梁芯片与信号接收板上的焊盘材料均为金，并通过金丝引线键合技术将两者相对应的焊点相连。本实用新型可有效解决纤毛十字梁结构在实际应用过程出现的各种损坏问题，大幅度提高了其可靠性，为纤毛‑十字梁结构的工程应用奠定了坚实的基础。
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公开(公告)号：CN216081842U
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202122838774.X
申请日：2021-11-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本实用新型涉及传感器领域，具体涉及一种MEMS压阻式压力传感器，包括硅片、设置在硅片上金属引线、欧姆接触区和电阻，所述硅片的底面采用深硅刻蚀制备一背腔，电阻沿110方向设置在背腔的应力敏感位置，每个电阻的边缘与欧姆接触区接触，以确保惠斯通电桥导通，欧姆接触区与金属引线一起将传感器中产生的电信号与电极导通。本实用新型采用大面积欧姆接触区的方式，将金属引线缩小至金属焊盘大小，极大的提高了传感器芯片的经济性，同时其性能保持不变。
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