一种微波散射原理的无源高温压力传感器与制备方法

    公开(公告)号:CN105004469B

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201510311744.X

    申请日:2015-06-09

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及压力传感器技术领域,具体为一种基于微波散射测量原理的无源高温压力传感器及其制备方法,解决现有高温等恶劣环境中压力测量方法存在诸多缺陷的问题,包括圆柱状底座及密封膜片,底座内设置凹形圆柱腔,凹形圆柱腔中心设有四个对称分布的内圆柱,内圆柱高度低于凹形圆柱腔上端面,底座上端面、凹形圆柱腔内表面以及内圆柱上表面溅射有金属层;密封膜片上表面丝网溅射有微带天线,下表面整体溅射有接地面,下表面上开设长方形耦合缝隙;底座和密封膜片键合形成微波谐振腔。设计合理,灵敏度高,稳定性好,能在高温高压等恶劣环境下长时间工作,实现了基于微波散射的无线测量的无源高温陶瓷压力传感器。

    一种全金属微波谐振腔式无线无源超高温压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104764557B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510114879.7

    申请日:2015-03-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种全金属微波谐振腔式无线无源超高温压力传感器及其制备方法,该传感器由全钨金属微波谐振腔体和SiC微带天线构成,所述全钨金属微波谐振腔体由无盖腔体和腔盖通过Pt糊高温粘结剂粘结而成,所述SiC微带天线包括Pt层微带和SiC,所述SiC微带天线通过Pt糊粘接所述腔盖上;该传感器通过钨金属粉末注射成型制备无盖腔体和腔盖,再使用Pt糊作为高温粘结剂,烧结腔盖、腔体和SiC基微带天线制备所得。本发明采用低热胀系数和高熔点的金属材料作为腔体材料,能实现超高温场合的压力测量,成型方法可靠,同时所设计谐振腔结构简单、零件很少,故装配容易。

    LTCC光纤法珀高温压力传感器

    公开(公告)号:CN106017754A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610328095.9

    申请日:2016-05-17

    Applicant: 中北大学

    CPC classification number: G01L1/242

    Abstract: 本发明为一种LTCC光纤法珀高温压力传感器,主要由基座、压力敏感膜片、光纤、插芯及尾柄组成。本发明采用LTCC技术一体化制造直接接触高温的压力敏感膜片和基座,用高温胶水将光纤固定在尾柄及插芯内,采用陶瓷烧结技术或高温胶水将插芯与基座连接,使光纤端面与压力敏感膜片平行放置构成法珀腔,通过光纤传感技术测量压力导致的膜片挠度变化,从而进行压力测量。本发明解决了高温下热应力不匹配导致的传感器失效问题。另外,采用光纤传输可以隔绝高温,消除高温对信号处理电路的影响。在超高温环境下,所制作的压力传感器可以实现宽频带的原位压力测量。

    通过导电性大分子偶联剂制备碳基填料/聚合物基复合材料的方法

    公开(公告)号:CN104558979B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410826334.4

    申请日:2014-12-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明提供了一种通过导电性大分子偶联剂制备碳基填料/聚合物基复合材料的方法。所述方法由导电性大分子偶联剂处理碳基填料实现,其实现工艺为:碳基填料预处理;导电性大分子偶联剂合成并与碳基填料原位偶联制备导电性分子偶联剂/碳基填料复合物;熔融开炼混合制备导电性分子偶联剂/碳基填料复合物/聚合物基复合材料。本发明所述方法避免了传统流变改性方法对材料体系电性能的负面影响,既保持了所述复合材料体系导电性又显著改善其流变性,使其实现了对材料性能和材料加工兼顾。

    一种新型光纤珐珀超声水听器及其制作方法

    公开(公告)号:CN105865614A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610411785.0

    申请日:2016-06-14

    CPC classification number: G01H9/004 G02B6/2551 G02B6/30

    Abstract: 本发明公开了一种新型光纤珐珀超声水听器及其制作方法,该水听器可以用于测量高强度聚焦声场,包括光纤和熔接在光纤端部的石英毛细管,所述石英毛细管端面和石英毛细管正对的光纤的端面均镀有高反膜,石英毛细管外径与单模光纤外径相同,内径小于单模光纤纤芯直径;若使用的石英毛细管内径大于光纤纤芯直径,可以适当增大熔接强度,使石英毛细管前端塌陷至内径小于光纤纤芯直径。本发明所得的新型光纤珐珀超声水听器具有结构简单,干涉信号强,强度高、空间分辨率高,灵敏度高等优点,且能够承受HIFU声场的高声压、高温。

    差动式HTCC无线无源高温压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN103674405B

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201310677236.4

    申请日:2013-12-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及HTCC高温压力传感器,具体是一种差动式HTCC无线无源高温压力传感器及其制造方法。本发明解决了现有HTCC高温压力传感器灵敏度低、测量范围小、以及非线性误差大的问题。差动式HTCC无线无源高温压力传感器包括第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片;第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片自上而下依次层叠成一体;第二生瓷片的上表面分别布置有固定电容上极板和圆形螺旋电感;第四生瓷片的上表面布置有活动电容极板;第六生瓷片的上表面布置有固定电容下极板。本发明适用于民用工业和国防军工领域中的压力测量。

    无线高温温度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN105067133A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510529986.6

    申请日:2015-08-26

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于温度传感器及其制作工艺技术领域,针对高温环境下温度参数的急切、苛刻的测试需求,提供了一种无线高温温度传感器及其制作方法,无线高温温度传感器,包括询问天线、微带天线和温度敏感器件,所述微带天线印刷在温度敏感器件上,微带天线和温度敏感器件集成为一体;本发明将温度敏感器件与天线通信技术结合在一起,极大的提高了探测的距离,将天线印刷在耐高温氧化铝陶瓷上,微带天线与温度敏感器件一体化设计,极大的扩展了高温下温度的测试范围,本发明无需外加电源、能远距离非接触式遥测读取信号、品质因子高、能在多金属环境应用,而且制造成本低。

    微机械热电堆红外探测器及其制作方法

    公开(公告)号:CN102757011B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201110104209.9

    申请日:2011-04-25

    Abstract: 一种微机械热电堆红外探测器及其制作方法,在衬底表面形成具有自停止腐蚀作用的封闭凹槽;淀积形成介质支撑膜;淀积多晶硅,然后通过2次离子注入加光刻腐蚀分别形成P型和N型多晶硅热偶条,两热偶条之间淀积隔离层;光刻腐蚀隔离层,将热电堆之间的区域暴露出介质支撑膜形成吸收区;溅射一层金属形成金属连接;在吸收区表面淀积一层多晶硅或非晶硅层,然后经过Cl2、HBr干法不完全刻蚀形成表面为锥状森林结构的吸收层;光刻出腐蚀孔,通入XeF2气体进行干法刻蚀释放正面结构。本发明使用多晶硅作为吸收层材料,提高了传统SiNx吸收层的吸收率,且工艺简便。使用P/N型多晶硅作为热电偶,避免金属热偶与CMOS兼容性差的问题,有效提高了热电堆的塞贝克系数。

    一种高过载环境下的弹壁温度测量装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN103398792B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201310303281.3

    申请日:2013-07-19

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及弹壁温度测量技术,具体是一种高过载环境下的弹壁温度测量装置及其制造方法。本发明解决了现有弹壁温度测量装置抗高过载能力较差、测量精度较低、数据连续存储能力较差、以及测量误差较大的问题。一种高过载环境下的弹壁温度测量装置包括弹体;弹体的内壁贴附有聚四氟乙烯保温层;聚四氟乙烯保温层的前端贯穿开设有第一安装通孔;第一安装通孔的内腔分别嵌装有第一钢制导热壳和第一聚氨酯弹性胶体;聚四氟乙烯保温层的侧部贯穿开设有第二安装通孔;第二安装通孔的内腔分别嵌装有第二钢制导热壳和第二聚氨酯弹性胶体;聚四氟乙烯保温层的内腔灌封有灌封胶;灌封胶的内部嵌装有记录器。本发明适用于子弹的弹壁温度测量。

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