用于通过油墨光刻生成图案的器件和方法

    公开(公告)号:CN101573665A

    公开(公告)日:2009-11-04

    申请号:CN200780048002.6

    申请日:2007-10-26

    Abstract: 本发明提供了用于在衬底表面制造图案的方法、器件和器件构件,特别是包含这样的结构的图案:该结构具有在一、二或三维上具备选定长度的微米尺寸和/或纳米尺寸部件,并包括具备变化高度、深度、或高度和深度的浮雕和凹进部件。包含多个聚合物层的,且每个聚合物层具有选定的机械和热属性和物理尺度的复合图案化器件,在多种衬底表面和表面形态上提供了高分辨率的图案化。本发明提供了用于在衬底表面生成灰阶图案的灰阶油墨光刻光掩模,或用于在衬底表面生成压印浮雕部件的模具。可以通过改变弹性图案化器件上的三维凹进图案来操纵所制造的图案的具体形状,该弹性图案化器件与衬底共形接触,以使图案化剂位于图案的凹进部。

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