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公开(公告)号：CN102788916A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210147714.6
申请日：2012-05-11
Applicant: 塞米西斯科株式会社
IPC: G01R31/00 , G01N21/73 , H01J37/32 , H01L21/311
Abstract: 本发明涉及一种用于检测蚀刻工序等的结束点以及腔室内产生的电弧的电弧检测系统。该系统包括：与腔室连接的光谱仪；与腔室连接的电弧传感器；以及与所述光谱仪和所述电弧传感器连接的检测和控制模块。其中，所述检测和控制模块分析从所述光谱仪传输的OES数据而检测出结束点，分析从所述电弧传感器传输的电弧感知结果而检测出所述腔室内产生的电弧。
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公开(公告)号：CN102713583A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180000191.6
申请日：2011-02-25
Applicant: 塞米西斯科株式会社
IPC: G01N21/958 , G01B11/30
CPC classification number: G01B11/30 , G01N21/958
Abstract: 本发明涉及一种在被玻璃基板反射的反射光中仅利用被上面反射的光以测量所述玻璃基板的不均率的系统及方法，从而减少测量时间和费用。所述玻璃基板的不均率测量系统，包括：光源部，向所述玻璃基板照射第一光；以及屏幕。其中，以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕，以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带，所述第一条带和所述第二条带分离而成。
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公开(公告)号：CN102067482A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200880129902.8
申请日：2008-09-08
Applicant: 塞米西斯科株式会社
IPC: H04B10/00
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0264
Abstract: 一种远距光谱仪的连接结构，该远距光谱仪的连接结构可通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器，藉此提高制程反应室发射的等离子发射的监测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101069118A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200680001286.9
申请日：2006-02-27
Applicant: 塞米西斯科株式会社
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G01N21/896 , G01N21/27 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G02F2001/133302
Abstract: 提供一种检测边缘缺陷和变色的装置和方法。该装置包括：加载单元，传送用于制造薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基底；检查单元，用于检查由加载单元传送的玻璃基底的边缘缺陷和变色；控制单元，用于控制加载单元和检查单元。所述边缘缺陷和变色检查装置能够在制造薄膜晶体管液晶显示器的处理期间自动执行玻璃基底的边缘缺陷和变色检查。此外，可将该边缘缺陷和变色检查装置设置在沉积、蚀刻和溅射处理之间，以实时地确认玻璃基底是好的还是坏的，从而执行经济而快速的处理。
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公开(公告)号：CN206870630U
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201720228147.5
申请日：2017-03-09
Applicant: 塞米西斯科株式会社
Abstract: 公开光烧结装置。光烧结装置包括：第1发光部，其发散第1光；一对第2发光部，其分别发散第2光，彼此相对配置，而且第1发光部配置在一对第2发光部之间；以及反射罩，其下部面的中心部配置于第1发光部的上方，包括一对主弯曲部及一对辅助弯曲部，反射第1光及第2光中向上发散的光，其中一对主弯曲部分别具有向上弯曲的形状且以沿着长度方向通过中心部的中心线为基准左右对称，一对主弯曲部的一端分别与中心线相接，一对辅助弯曲部分别具有向上弯曲的形状且一端分别与一对主弯曲部的另一端相接，配置于第2发光部的上方。本实用新型的光烧结装置能够一并执行干燥及烧结，大面积时也仍可以提高光烧结效率、提高光均匀度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206959573U
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201720212236.0
申请日：2017-03-06
Applicant: 塞米西斯科株式会社
Abstract: 本实用新型的光烧结装置包括：第一弯曲部，其配置在向被处理物发光的发光部所在位置的左上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光部射出的光；第二弯曲部，其配置在发光部所在位置的右上侧且具有向上鼓起的形状，向被处理物的方向反射从发光部射出的光；第一反射壁，其具有从第一弯曲部的左侧端部向下曲线延伸的形状；及第二反射壁，其具有从第二弯曲部的右侧端部向下曲线延伸的形状，第一弯曲部的弦与第二弯曲部的弦位于同一线上，第一弯曲部的右侧端部与第二弯曲部的左侧端部形成接点，从接点向发光部的长度方向剖面中心延伸的线可以相对于形成有被处理物的基板垂直。本实用新型能够提高光均匀度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN204347887U
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201420525690.8
申请日：2014-09-12
Applicant: 塞米西斯科株式会社
IPC: G06K19/077
Abstract: 本实用新型公开一种能够从根源上防止非法使用正品认证的结构体。向物品上粘贴的结构体包括：本体部，其具有第一本体、第二本体及用于连接所述第一本体与所述第二本体的本体连接部；芯片，其排列在所述第一本体及第二本体中的一个上；以及天线，其从所述芯片延伸且排列在所述第一本体及第二本体中的一个上。其中，所述天线通过所述本体连接部延伸，在所述结构体从所述物品分离的状态，所述本体连接部的天线被破坏。本实用新型的正品认证结构体被设计品分离时破坏其内部的天线的结构，因此能够从根源上防止非法使用正品认证。
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