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公开(公告)号:CN103065705A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201210398190.8
申请日:2012-10-18
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , B32B3/00 , B32B7/12 , G02B5/30 , H01B5/14 , Y10T428/24802 , Y10T428/24851
Abstract: 本发明提供一种透明导电性薄膜。透明导电性薄膜(10)具有透明粘接层(11)、层叠于透明粘接层(11)的一个面的第一聚环烯烃薄膜(12)、层叠于透明粘接层(11)的另一个面的第二聚环烯烃薄膜(13)、形成于第一聚环烯烃薄膜(12)上的第一透明电极图案(14)、和形成于第二聚环烯烃薄膜(13)上的第二透明电极图案(15)。无论从哪个方向观察本发明的透明导电性薄膜(10)都几乎不产生颜色不均匀。
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公开(公告)号:CN102985585A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201180033556.5
申请日:2011-07-06
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: H01B5/14 , C08J7/045 , C08J7/08 , C08J2323/06 , C08J2483/04 , C23C14/086 , C23C14/562 , C23C14/5806
Abstract: 本发明的目的在于,制造在透明薄膜基材上形成有结晶的铟系复合氧化物膜的长条状的透明导电性薄膜。本发明的制造方法具有:非晶层叠体形成工序,其中,通过溅射法在所述长条状透明薄膜基材上形成含有铟和四价金属的铟系复合氧化物的非晶膜;以及结晶化工序,其中,形成有所述非晶膜的长条状透明薄膜基材被连续地输送至170℃~220℃的加热炉内,所述非晶膜被结晶化。前述结晶化工序中的加热炉内的温度优选为170℃~220℃。另外,前述结晶化工序中的薄膜长度的变化率优选为+2.5%以下。
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公开(公告)号:CN102899629A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201210267243.2
申请日:2012-07-30
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C23C16/44 , C23C14/021 , C23C14/562 , C23C16/06 , C23C16/56 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。将卷绕成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面而沿第一辊室朝向第二辊室的方向从第一辊室输出,对输出的基体进行脱气,在第一成膜室,在脱气的基体的第一面成膜第一膜材料,在第二成膜室,在第一膜材料上成膜第二膜材料,在第二辊室将层积有膜材料的基体卷绕成卷筒状,将与第一面相反一侧的第二面作为被成膜面而沿方向从第一辊室输出卷绕的基体,重复进行上述所有的处理。
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公开(公告)号:CN102758190A
公开(公告)日:2012-10-31
申请号:CN201210132151.3
申请日:2012-04-28
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/086 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/568 , H01L21/67132 , H01L21/67173 , Y10T428/31678
Abstract: 提供一种真空成膜方法和由该方法得到的层积体,在卷对卷技术中进一步谋求作业的高效化或者改善。是对长形基材进行连续真空成膜的方法,具备:沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向将卷绕成卷筒状的长形基材从第一辊室抽出的阶段、将沿第一方向抽出的基材进行脱气的阶段、在第二成膜室将第二膜材料在被脱气的基材的面上进行成膜的阶段、将成膜有第二膜材料的基材在第二辊室进行卷绕的阶段、沿从第二辊室朝向第一辊室的第二方向将在第二辊室卷绕的基材从第二辊室抽出的阶段、在第一成膜室将第一膜材料在沿第二方向抽出的基材的面上进行成膜的阶段、将在第二膜材料上层积有第一膜材料的基材在第一辊室卷绕的阶段。
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公开(公告)号:CN101263564B
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200680033309.4
申请日:2006-08-30
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: G06F3/047 , G06F3/045 , G06F2203/04809 , Y10T428/24364
Abstract: 本发明提供一种透明导电性膜,是在透明的膜基材的一个面上经由具有微细凹凸形状的树脂层而层叠透明导电性薄膜的透明导电性膜,透明导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)为0.11~0.18μm,最大高度(Ry)为0.9~1.6μm,并且局部顶峰的平均间隔(S)为0.05~0.11mm。该透明导电性膜是在透明的膜基材的一方的面上,经由具有微细凹凸形状的树脂层而层叠透明导电性薄膜的透明导电性膜,可以抑制牛顿环的产生,并且可以满足耐久性,特别是可以满足笔输入耐久性以及耀眼等显示特性。
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公开(公告)号:CN102063953A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN201010623319.1
申请日:2005-04-22
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: G06F3/0488 , Y10T428/24942 , Y10T428/24975 , Y10T428/256 , Y10T428/266
Abstract: 本发明涉及透明导电性层叠体及触摸屏。本发明的透明导电性层叠体,在厚度为2~120μm的透明薄膜基材的一侧表面,按照透明的第一电介质薄膜、透明的第二电介质薄膜和透明导电性薄膜的顺序依次层叠,在所述薄膜基材的另一表面,通过透明的粘合剂层贴合透明基体而成,第二电介质薄膜是无机物或有机物和无机物的混合物,形成上述导电性薄膜的材料的结晶中,最大粒径为300nm或更小的结晶含量超过50面积%。所述透明导电性层叠体高度地满足用作触摸屏的弯曲笔输入耐久性。
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公开(公告)号:CN1947204B
公开(公告)日:2011-02-23
申请号:CN200580012780.0
申请日:2005-04-22
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: G06F3/0488 , Y10T428/24942 , Y10T428/24975 , Y10T428/256 , Y10T428/266
Abstract: 本发明的透明导电性层叠体,在厚度为2~120μm的透明薄膜基材的一侧表面,按照透明的第一电介质薄膜、透明的第二电介质薄膜和透明导电性薄膜的顺序依次层叠,在所述薄膜基材的另一表面,通过透明的粘合剂层贴合透明基体而成,第二电介质薄膜是无机物或有机物和无机物的混合物,形成上述导电性薄膜的材料的结晶中,最大粒径为300nm或更小的结晶含量超过50面积%。所述透明导电性层叠体高度地满足用作触摸屏的弯曲笔输入耐久性。
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公开(公告)号:CN101143498A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710148726.X
申请日:2007-09-06
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: G06F3/045 , Y10T428/25 , Y10T428/26 , Y10T428/265 , Y10T428/31507 , Y10T428/31721 , Y10T428/31725 , Y10T428/31786 , Y10T428/31855
Abstract: 本发明提供一种透明导电性叠层体,其透明的薄膜基材的一面具有透明导电性薄膜、透明的薄膜基材的另一面经由透明的粘合剂层贴合有透明基体,透明导电性薄膜是从透明的薄膜基材侧依次形成由SnO2/(SnO2+In2O3)为2~6重量%的铟·锡复合氧化物构成的第一透明导电性薄膜、和由SnO2/(SnO2+In2O3)超过6重量%、且20重量%以下的铟·锡复合氧化物构成的第二透明导电性薄膜而成,第一透明导电性薄膜的厚度(t1)与第二透明导电性薄膜的厚度(t2)有以下(1)~(3)关系,且第一透明导电性薄膜与第二透明导电性薄膜均为结晶膜,(1)t1=10~30nm、(2)t2=5~20nm、(3)t1+t2=20~35nm,透明基体是经由透明的粘合剂层叠层了至少两张透明的基体薄膜的叠层透明基体。
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公开(公告)号:CN101133463A
公开(公告)日:2008-02-27
申请号:CN200680007188.6
申请日:2006-12-27
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C23C14/086
Abstract: 本发明提供一种结晶性透明导电性薄膜,其主成分是相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。本发明的结晶性透明导电性薄膜具有高电阻值且在高温、高湿环境下的可靠性也良好。
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公开(公告)号:CN101063922A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710097120.8
申请日:2007-04-17
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: G06F3/045
CPC classification number: G06F3/045 , H01H13/704 , H01H2201/00 , H01H2201/016 , H01H2227/002 , H01H2227/004 , H01H2227/006 , H01H2227/008 , H01H2227/01 , H01H2227/03 , H01H2227/034 , Y10T428/24355 , Y10T428/24372
Abstract: 本发明提供一种使用在薄膜基材上设置有导电性薄膜的面板的触摸面板,所述导电性薄膜的耐久性优良,所述触摸面板具有第一面板和第二面板,所述第一面板具有透明的第一薄膜基材和设在该第一薄膜基材的单面的透明的第一导电性薄膜;所述第二面板具有透明的第二薄膜基材和设在该第二薄膜基材的单面的透明的第二导电性薄膜,第一面板和第二面板通过隔离件对置配置以使第一导电性薄膜和第二导电性薄膜对置,其特征在于,第一导电性薄膜的表面硬度为1GPa以上,弹性模量为5GPa以上,第二导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)为0.3~1.0nm,并且,第二导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)的值比第一导电性薄膜的表面的中心线平均粗糙度(Ra)的值小。
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