公开(公告)号：KR1020050038898A

公开(公告)日：2005-04-29

申请号：KR1020030074211

申请日：2003-10-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 연순호 ,  김용대

IPC: H01L21/3065

Abstract: 반도체 기판을 건식 식각하기 위한 장치가 개시되어 있다. 상기 장치는 반도체 기판의 식각을 위한 공정 가스가 제공되는 챔버와, 상기 챔버의 하부에 구비되는 정전척을 포함한다. 상기 정전척의 외주면에는 포커스링이 구비되고, 상기 포커스링의 외주면에는 커버링이 구비된다. 상기 정전척, 포커스링 및 커버링 사이의 간격을 최소화하고, 상기 포커스링과 커버링을 서로 맞물리도록 한다. 따라서 상기 포커스링의 하부면으로 식각 공정 진행시 발생된 파티클의 침투가 방지된다. 그러므로 상기 챔버에 발생되는 고주파의 헌팅 현상의 원인을 제거하여 균일한 고주파전력을 제공할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040033832A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：KR1020020063104

申请日：2002-10-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용대

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A load lock chamber for manufacturing a semiconductor device is provided to be capable of preventing an index from being damaged due to the reaction residues attached on a wafer. CONSTITUTION: A load lock chamber(100) for manufacturing a semiconductor device is provided with a housing(500) having a pump port at its one side and an index(400) installed at the other side of the housing for transferring a wafer cassette into the housing. At this time, the index is capable of moving up and down. The cassette has a leg part at its bottom surface. The index has a support part for supporting both end portions alone of the leg part in order to minimize the contact surface with the cassette. Preferably, the index is coated with TiN.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造半导体器件的负载锁定室，以能够防止由于附着在晶片上的反应残留物引起的损伤。 构成：用于制造半导体器件的负载锁定室（100）设置有在其一侧具有泵口的壳体（500）和安装在壳体的另一侧的折射率（400），用于将晶片盒传送到 住房。 目前，该指数能够上下移动。 盒子底部有一个腿部。 该索引具有用于仅支撑腿部的两个端部的支撑部分，以便最小化与盒的接触表面。 优选地，该指数涂覆有TiN。

公开(公告)号：KR1020010029087A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990041711

申请日：1999-09-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용대

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: A process chamber having a separable lid is provided to prevent damage to a screw and a screw hole in an assembly process, by precisely assembling a lid part and a main body part after separating the lid part from a process chamber when necessary. CONSTITUTION: A pair of a pin(17) and a groove(19) are separately installed on a main body part(13) and a lid part, wherein the pair of the main body part and the lid part are precisely coupled only when the main body part and the lid part are located in a precise assembly position.

Abstract translation: 目的：提供具有可分离盖的处理室，以在必要时将盖部分与处理室分离之后，通过精确地组装盖部分和主体部分，以防止在组装过程中损坏螺钉和螺钉孔。 构成：一对销（17）和槽（19）分别安装在主体部分（13）和盖部分上，其中一对主体部分和盖部分仅在 主体部分和盖部分位于精确的组装位置。

公开(公告)号：KR1019990075056A

公开(公告)日：1999-10-05

申请号：KR1019980009039

申请日：1998-03-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김용대

IPC: G01N21/62

Abstract: 식각 종말점 검출용 발광 분광 분석기의 창 및 이를 구비하는 발광 분광 분석기가 제공된다. 본 발명에 따른 창은 발광 전달이 가능한 몸체와 몸체에 형성되어 몸체의 온도를 일정하게 제어하는 온도 조절 장치로 구성된다. 또, 본 발명에 따른 발광 분광 분석기는 온도 조절 장치를 구비하는 창이 식각 챔버에 설치된다.
본 발명에 따르면, 상기 열선에 의해 상기 창의 온도를 일정 온도로 유지할 수 있으므로, 본 발명에 따른 창을 구비하는 발광 분광 분석 장치는 정확한 식각 종말점을 검출할 수 있게 된다.