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公开(公告)号：KR1020000000819A
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019980020683
申请日：1998-06-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A module filter used as a semiconductor clean room is provided to remove dust and particles without pressure losses by using the module filter having functions of a high cleaning filter and a chemical filter. CONSTITUTION: The module filter comprises a plurality of separator(12) formed in a frame(11) and spaced apart from each other; a filter medium(13) attached in the separator(12) in turn; and a chemical filter(21) is formed between the filter mediums. The chemical filter(21) is removed the ionic particles from an air by absorbing and coupling counter ions included in the air.
Abstract translation: 目的：通过使用具有高清洁过滤器和化学过滤器功能的模块过滤器，提供用作半导体洁净室的模块过滤器，以除去灰尘和颗粒而没有压力损失。 构成：模块过滤器包括形成在框架（11）中并彼此间隔开的多个分离器（12）; 依次安装在分离器（12）中的过滤介质（13） 并且在过滤介质之间形成化学过滤器（21）。 化学过滤器（21）通过吸收和耦合包含在空气中的抗衡离子从空气中除去离子颗粒。
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公开(公告)号：KR1019990071156A
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019980006468
申请日：1998-02-27
IPC: G03G9/00
Abstract: 본 발명은 토너 조성물 및 이를 이용한 토너의 제조방법을 개시한다. 상기 토너 조성물은 결합수지 형성용 모노머, 착색제, 안정제, 전하제어제, 윤활제 및 중합개시제를 포함하고 있는데, 상기 안정제가, pH 10∼14로 조절된 증류수에 소수성 실리카를 분산시킨 다음, pH 6∼8로 조절하여 얻어진 결과물인 것을 특징으로 한다. 본 발명의 토너 조성물을 이용하면, 전하량, 평균입경 및 입경분포 특성이 개선된 토너를 제조할 수 있다. 특히 상기 토너 조성물이 계면활성제를 포함하는 경우에는 착색제 및 전하제어제의 분산성이 매우 향상된 토너를 얻을 수 있으며, 이러한 토너를 이용하면 종래보다 개선된 화상 품질을 얻을 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019990000658A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970023685
申请日：1997-06-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 반도체제조설비용 고청정필터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 청정실내로 유입되는 프레시에어가 필터를 통과할 때 경사기류가 형성되도록 구성된 반도체제조설비용 고청정필터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체제조설비용 경사기류 형성 고청정필터는, 세퍼레이터(21)와 그에 걸쳐져서 고정되는 여재(22)로 구성되는 고청정필터의 후단부의 주름높이(Pleat Depth)(H1)를 전단부의 주름높이(H2) 보다 더 높게 형성시켜서 이루어진다.
따라서, 작업벤치 상에 와류를 형성시키지 않고, 파티클들을 작업벤치 외부로 효율적으로 배출할 수 있는 경사기류를 형성시킬 수 있는 고청정필터를 제공하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980084528A
公开(公告)日：1998-12-05
申请号：KR1019970020353
申请日：1997-05-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박문수
IPC: H01L21/027
Abstract: 리소그라피 공정 중에서 레지스트와 하지막과의 계면에 HMDS 처리를 실시하기 위한 HMDS 분사 장치가 개시되어 있다. 상기 장치는 피라미드 형태의 그레이팅 홀더를 갖는 HMDS 분사 균일기를 구비한다. 상기 그레이팅의 밀도가 중앙부보다 엣지쪽으로 갈수록 높아지므로, HMDS 분사 균일성을 증가시켜 HMDS 도포시의 도포 불량을 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020070066646A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：KR1020050128064
申请日：2005-12-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13357
CPC classification number: G02F1/133615 , F21Y2115/10 , G02B6/0061 , G02F1/133524 , G09G3/3406 , Y10S362/80
Abstract: A backlight unit and a display apparatus including the same are provided to enhance the uniformity of brightness and the color index and to reduce the manufacturing cost. A light guide panel(41) is located at the rear of an LCD panel. The first light source member(50a) is located along a side surface of the light guide panel. The second light source member(50b) is located at the other side surface of the light guide panel. A light source driving member(90) drives the first and second light source members. The light source driving member and the first and second light source members are connected to one another in series. The first and second light source members include plural light emitting diodes. The light source driving member includes the first and second driving member connection terminals connected with the first and second light source members and a connection line for connecting the first and second driving member connection terminals.
Abstract translation: 提供背光单元和包括该背光单元的显示装置以增强亮度和颜色指数的均匀性并降低制造成本。 导光板（41）位于LCD面板的后部。 第一光源部件（50a）沿着导光板的侧面配置。 第二光源部件（50b）位于导光板的另一侧面。 光源驱动构件（90）驱动第一和第二光源构件。 光源驱动构件和第一和第二光源构件彼此串联连接。 第一和第二光源构件包括多个发光二极管。 光源驱动构件包括与第一和第二光源构件连接的第一和第二驱动构件连接端子以及用于连接第一和第二驱动构件连接端子的连接线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060124012A
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020050045711
申请日：2005-05-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F25B41/04 , F25B2341/0661 , F25B2400/01 , F25B2400/0403 , F25B2400/0411 , F25D2700/16 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: A temperature adjusting unit, an apparatus for treating a substrate having the same unit, and a method for controlling temperature of the same apparatus are provided to enhance process compatibility by utilizing the temperature adjusting unit in a wide temperature range. A process chamber is used for receiving a semiconductor substrate and performing a predetermined process. A cooling fluid supply tube(200) is used for supplying a cooling fluid to a cooling line provided in the process chamber. A temperature control unit controls the temperature of the cooling fluid supplied to the cooling fluid supply tube. The temperature control unit includes a cooler(304) for providing a circulating cycle. The cooler includes a compressor(310) for compressing a refrigerant, a condenser(320) for condensing the compressed refrigerant, an expansion unit(330) having a plurality of expansive valves, and an evaporator(340) for evaporating the expanded refrigerant.
Abstract translation: 提供温度调节单元，用于处理具有相同单元的基板的设备和用于控制相同设备的温度的方法，以通过在宽的温度范围内利用温度调节单元来提高处理兼容性。 处理室用于接收半导体衬底并执行预定处理。 冷却流体供给管（200）用于将冷却流体供给到设置在处理室中的冷却管线。 温度控制单元控制供给到冷却液供给管的冷却流体的温度。 温度控制单元包括用于提供循环循环的冷却器（304）。 冷却器包括用于压缩制冷剂的压缩机（310），用于冷凝压缩的制冷剂的冷凝器（320），具有多个膨胀阀的膨胀单元（330）和用于蒸发膨胀的制冷剂的蒸发器（340）。
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公开(公告)号：KR1020060028629A
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：KR1020050005089
申请日：2005-01-19
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: F25B13/00 , F25B41/003 , F25B2313/007 , F25B2313/0231 , F25B2313/0253 , F25B2400/04
Abstract: 냉난방 동시운전을 행할 때, 난방 실내기측의 냉난방전환유닛으로부터 유출하는 액냉매가 과잉으로 실외기측으로 유입하는 것을 방지하고, 액냉매를 필요로 하는 냉방 실내기측의 냉난방전환유닛에의 액냉매의 유입량을 확보한다.
본 발명의 다실형 공기조화기는, 실외기(32)와, 복수개의 실내기(33)와, 각 실내기에의 냉매의 흐름방향을 전환하는 냉난방전환유닛(34)을 구비한다. 실외기와 냉난방전환유닛을, 고압가스관(36), 저압가스관(37) 및 액관(38)으로 접속함과 동시에, 냉난방전환유닛과 실내기를, 가스관 및 액관으로 접속함으로써, 냉난방 동시운전이 가능한 냉동 사이클을 실현한다. 냉난방 동시운전을 행할 때, 압축기(41)로부터 고압가스관을 통해 토출되는 고압가스의 일부를, 난방운전측의 실내기로부터 실외열교환기와 냉방 운전측의 실내기로 액관분기부(38a)를 통해 각각 분기되는 액관 중 실외열교환기측의 액관으로 바이패스한다.-
公开(公告)号：KR1020000056635A
公开(公告)日：2000-09-15
申请号：KR1019990006119
申请日：1999-02-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N1/10
Abstract: PURPOSE: A sampling container is provided to prevent pollution of sample ultrapure water by shutting off introduction of ambient air when extracting a sample at a sampling point and supplying the prepared sample ultrapure water to an analysis device. CONSTITUTION: A sampling container includes a main body having an inner space for containing a sample solution, a lid for covering an inlet of the main body, a first injection tube(16) mounted in the lid for injecting a sampling solution into the inner space of the main body and connected to a sampling point(40) via a tube(42), a second injection tube(18) mounted in the lid for injecting purge gas into the inner space, and a discharge tube(20) mounted in the lid and connected to the injection an analysis device(30) for supplying the sample solution filled in the container to the analysis device, wherein introduction of ambient air is shut off when extracting a sample at the sampling point and supplying the sample solution to the analysis device.
Abstract translation: 目的：提取采样容器，通过在取样点抽取样品时切断环境空气的引入，并将制备的样品超纯水供给分析装置，以防止样品超纯水污染。 构成：采样容器包括具有用于容纳样品溶液的内部空间的主体，用于覆盖主体的入口的盖，安装在盖中的用于将取样溶液注入内部空间的第一注入管（16） 的主体，经由管（42）连接到取样点（40）;安装在盖中的用于将净化气体注入内部空间的第二注入管（18），以及安装在主体 盖子并连接到注射用于将填充在容器中的样品溶液供应到分析装置的分析装置（30），其中当在取样点提取样品并将样品溶液供应到分析时，引入环境空气被切断 设备。
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公开(公告)号：KR100168351B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950012904
申请日：1995-05-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 반도체 클린 룸에 대해 기재되어 있다. 이는 천정에 주 덕트와 부 덕트가 배치되어 있고, 바닥에 펌프 스태이지가 배치되어 있는 플리넘 및 덕트 샤프트가 중앙복도를 따라 배치되어 있는 클린 영역을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 덕트의 용량을 용이하게 증가시킬 수 있고, 스태이지와 스태이지 사이의 왕복을 용이하게 할 수 있으며, 클린 영역의 공간 활용에 대한 제한을 줄일 수 있다. 또한, 플리넘 내의 기류의 유동이 차단되는 것을 방지할 수 있고, 스태이지 상에 설치되는 장비의 변경 혹은 증가를 용이하게 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019990003268A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970027096
申请日：1997-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 대전체를 중화시키는 이오나이저를 구성하는 전극의 사용시간 및 교체주기를 디스플레이 수단을 이용해서 표시하는 이오나이저의 전극 사용시간 표시장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 이오나이저의 전극 사용시간 표시장치는, 복수 개의 전극이 양, 음의 전압을 인가받아서 대전체를 중화시키는 이오나이저의 전극 사용시간 표시장치에 있어서, 버튼을 구비하고, 상기 버튼의 조작으로 상기 전극의 교체주기와 크리닝 주기가 설정되고 표시되는 디스플레이 수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 시간이 표시되는 디스플레이 수단을 제공하여 전극의 사용시간을 관리함으로써 크리닝 주기 및 교체주기를 관리하여 이오나이저 전극불량 및 그로 인한 공정불량 발생을 사전에 방지하여 수율을 높여서 결과적으로 생산성이 향상되는 효과가 있다.
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