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公开(公告)号:KR1020170029849A
公开(公告)日:2017-03-16
申请号:KR1020150126949
申请日:2015-09-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/768
CPC classification number: H01L27/10894 , H01L21/0274 , H01L21/31051 , H01L21/31144 , H01L21/565 , H01L27/10814 , H01L27/10823 , H01L27/10852 , H01L27/10897 , H01L27/11582 , H01L28/00 , H01L28/60
Abstract: 에지칩을갖는반도체소자형성방법에관한것이다. 식각정지층을갖는기판상에몰드층 및써포터층을형성한다. 상기써포터층 상에마스크층을형성한다. 상기마스크층 상에제1 가장자리블로킹층을형성한다. 상기마스크층을식각하여마스크패턴을형성한다. 상기써포터층, 상기몰드층 및상기식각정지층을관통하는홀을형성한다. 상기홀 내에하부전극을형성한다. 상기써포터층 상에써포터마스크층을형성한다. 상기써포터마스크층 상에제2 가장자리블로킹층을형성한다. 상기써포터마스크층을패터닝하여써포터마스크패턴을형성한다. 상기써포터층을관통하는써포터개구부를형성한다. 상기몰드층을제거한다. 상기하부전극상에캐패시터유전층 및상부전극을형성한다. 상기상부전극상에층간절연층을형성한다. 상기층간절연층을평탄화한다.
Abstract translation: 以及形成具有边缘芯片的半导体元件的方法。 在具有蚀刻停止层的基板上形成模层和支撑层。 掩模层形成在支撑层上。 第一边缘阻挡层形成在掩模层上。 掩模层被蚀刻以形成掩模图案。 穿透支撑层,模具层和蚀刻停止层的孔被形成。 并在孔中形成下电极。 支撑物掩模层形成在支撑物层上。 第二边缘阻挡层形成在支撑掩模层上。 支撑掩模层被图案化以形成支撑掩模图案。 通过支撑层形成支撑开口。 模具层被移除。 并且在下电极上形成电容器介电层和上电极。 在上电极上形成层间绝缘层。 层间绝缘层被平坦化。
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公开(公告)号:KR101589434B1
公开(公告)日:2016-01-29
申请号:KR1020090052131
申请日:2009-06-12
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04W52/02 , H04L61/2061 , H04W52/0216 , H04W76/10 , H04W84/02 , H04W84/12 , Y02D70/142
Abstract: 본발명은휴대용단말기에서무선랜연결방법및 장치에관한것으로서, 무선랜연결이벤트가발생될시, 무선랜모듈을어웨이크상태로유지하여무선랜연결절차를수행하는과정과, 상기무선랜연결이완료되면, 상기무선랜모듈을전원절약메커니즘(Power Save Mechanism)에따라동작시키는과정을포함하여, 브로드캐스트및 멀티캐스트패킷을수신할수 있어무선랜연결성능을향상시킬수 있으며, 브로드캐스트및 멀티캐스트되는 DHCP(Dynamic Host Configuration Protocol), EAP(Extensible Authentication Protocol)로인해불필요한연결재시도가일어나는것을방지하여연결시간을단축시킬수 있다.
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公开(公告)号:KR100933123B1
公开(公告)日:2009-12-21
申请号:KR1020030078756
申请日:2003-11-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/26
CPC classification number: H04L1/0002 , H04L1/0025
Abstract: 본 발명은 이동단말과, 상기 이동단말로 제어 정보를 전송하는 기지국으로 구성되는 이동통신 시스템에서 전송된 제어 정보를 이용하여 상기 이동단말에서 기지국으로 데이터를 전송하는데 사용할 데이터 레이트를 결정하는 방법에 있어서, 단말의 버퍼상태와 최대 전송전력을 고려하여 최적의 데이터 레이트를 결정하는 과정과, 상기 결정된 데이터 레이트가 이전 시점에서 사용한 데이터 레이트보다 높고, 상기 결정된 데이터 레이트에 대응되는 제어정보의 수치가 설정된 값보다 높은 지 비교하는 과정과, 상기 비교 결과 높다고 판단되면 상기 이전에 사용한 데이터 레이트보다 일정 범위 이내의 데이터 레이트를 이용하여 데이터를 전송하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 한다.
CDMA, 스케쥴링, 전송속도, TFCS, TFC, UE 포인터Abstract translation: 提供了一种装置和方法,用于通过包括用户设备(UE)和节点B的移动通信系统中的控制信息来确定数据速率.UE将数据发送到节点B,并且节点B将控制 信息给UE。 数据速率借助于控制信息来确定并且被用于由UE发送数据。 该设备和方法包括:考虑等待传输的数据量来确定初步数据速率; 将所述初步数据速率与用于先前数据传输的先前数据速率进行比较; 并根据比较结果确定数据速率,以使UE能够以数据速率发送数据。
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公开(公告)号:KR100929091B1
公开(公告)日:2009-11-30
申请号:KR1020040009858
申请日:2004-02-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/26
CPC classification number: H04B7/2637
Abstract: 본 발명은 데이터를 전송하는 송신부와 상기 데이터를 수신하는 수신부로 구성된 이동통신 시스템에서, 전용물리채널의 파일럿 필드에 삽입되는 파일럿 패턴을 이용하여 제어 정보를 송/수신하는 장치 및 방법을 제안한다. 이를 위해 본 발명에서는 데이터의 수신 여부에 따라 제어정보를 선택하고, 상기 제어정보에 따라 파일럿 패턴을 선택한다. 그리고 선택한 파일럿 패턴을 상기 제어 정보로써 전용물리채널의 파일럿 필드에 삽입하여 전송한다. 이때, 상기 제어정보에 따라 선택되는 파일럿 패턴은 기본 파일럿 패턴의 비트들 중에서 미리 설정된 용도를 가지는 파일럿 비트들을 제외한 나머지 비트들을 이용하여 생성된 직교 패턴이다.
하향링크, 상향링크, 파일럿 신호, 채널 추정기Abstract translation: 一种用于在包括用于发送数据的发送器和用于接收数据的接收器的移动通信系统中使用插入在专用物理信道的绘图字段中的导频模式发送/接收控制信息的设备和方法。 该装置和方法包括根据是否接收到数据来选择控制信息; 以及根据控制信息选择导频模式,并且在传输之前将选择的导频模式插入专用物理信道的导频字段中作为控制信息。 导频模式包括当未发送控制信息时使用的第一导频模式,与第一导频模式正交的第二导频模式以及通过反转第二导频模式的符号而生成的第三导频模式。
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公开(公告)号:KR100876813B1
公开(公告)日:2009-01-07
申请号:KR1020040009784
申请日:2004-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/26
CPC classification number: H04W52/325
Abstract: 본 발명에서는 별도의 코드 채널 또는 기존 물리채널 내에서 시간다중화 방법을 이용하지 않고 기존의 파일럿 채널의 심볼 또는 비트 패턴을 이용하여 제어 신호를 전송하고, 수신측에서 제어 신호를 검출 시 검출 오류를 줄이기 위한 장치 및 그에 의한 방법을 제안하고 있다. 이를 위해 본 발명의 실시 예에서는 송신측에서는 제어 정보에 대응하여 결정된 파일럿 패턴은 각각 상응하는 송신전력이 할당되도록 한다. 이에 대응한 수신측에서는 전용물리채널에 삽입된 파일럿 비트들의 파일럿 패턴에 의해 제어 정보를 검출하고, 상기 제어 정보에 의해 설정되는 목표 수신전력을 참조하여 전송전력제어 비트를 생성하도록 한다.
전용물리채널, 파일럿 필드, 제어정보, 추가 전력옵셋, 목표 수신전력, TPC-
公开(公告)号:KR1020050081116A
公开(公告)日:2005-08-18
申请号:KR1020040009784
申请日:2004-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/26
CPC classification number: H04W52/325 , H04W52/54
Abstract: 본 발명에서는 별도의 코드 채널 또는 기존 물리채널 내에서 시간다중화 방법을 이용하지 않고 기존의 파일럿 채널의 심볼 또는 비트 패턴을 이용하여 제어 신호를 전송하고, 수신측에서 제어 신호를 검출 시 검출 오류를 줄이기 위한 장치 및 그에 의한 방법을 제안하고 있다. 이를 위해 본 발명의 실시 예에서는 송신측에서는 제어 정보에 대응하여 결정된 파일럿 패턴은 각각 상응하는 송신전력이 할당되도록 한다. 이에 대응한 수신측에서는 전용물리채널에 삽입된 파일럿 비트들의 파일럿 패턴에 의해 제어 정보를 검출하고, 상기 제어 정보에 의해 설정되는 목표 수신전력을 참조하여 전송전력제어 비트를 생성하도록 한다.
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公开(公告)号:KR100144883B1
公开(公告)日:1998-08-17
申请号:KR1019950019041
申请日:1995-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/265
Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로서, 특히 350D의 Handler부의 리프트모터의 회전력을 리프트에 전달하는 기어풀리(gear fully)에 관해 개시한다. 본 발명의 기어풀리는 엔드 스테이션(end station)부, 빔라인(beam line)부 및 고전압(high voltage)부로 구성된 350D이온주입장치의 Handler부에 있어서, 상기 Handler부는 구성요소의 하나인 리프트 모타의 힘을 리프트에 전달하는 톱니수가 25-30인 기어풀리를 구비한다.
본 발명에 의하면, 리프트의 RPM을 33-26으로 감소시킴에 따라 리프트의 플라이 휠로부터 리프트가 받는 진동을 줄일수 있고, 따라서 장비의 고장, 웨이퍼의 파손 및 손실을 방지할 수도 있다.-
公开(公告)号:KR2019970046586U
公开(公告)日:1997-07-31
申请号:KR2019950038407
申请日:1995-12-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 한정훈
IPC: H01L21/00
Abstract: 본고안은콘스턴트포스스프링(constant force spring) 장치에관한것으로서, 제2스프링홀더; 제3스프링홀더; 및상기제2스프링홀더및 제3스프링홀더와각각스프링으로연결되며, 바닥면이스프링이감기는부위의지름보다크게제조된제1스프링홀더를포함한다. 따라서, 열화의원인이되는요인을삭감시켜줌으로써, 수명을연장시키며정기적인교체시기를예측하기에용이하여설비효율향상에따른시간절약, 비용절감등의효과를제공한다.
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公开(公告)号:KR1019970003452A
公开(公告)日:1997-01-28
申请号:KR1019950019041
申请日:1995-06-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/265
Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로서, 특히 350D의 Handler부의 리프트모터의 회전력을 리프트에 전달하는 기어풀리(gear fully)에 관해 개시한다. 본 발명의 기어풀리는 엔드 스테이션(end station)부, 빔라인(beam line)부 및 고전압(high voltage)부로 구성된 350D이온주입장치의 Handler부에 있어서, 상기 Handler부는 구성요소의 하나인 리프트 모타의 힘을 리프트에 전달하는 톱니수가 25-30인 기어풀리를 구비한다.
본 발명에 의하면, 리프트의 RPM을 33-26으로 감소시킴에 따라 리프트의 플라이 휠로부터 리프트가 받는 진동을 줄일수있고, 따라서 장비의 고장, 웨이퍼의 파손 및 손실을 방지할 수도 있다.-
公开(公告)号:KR102200342B1
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:KR1020140031080
申请日:2014-03-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/28
Abstract: 반도체소자를제공한다. 상기반도체소자는반도체기판상에위치하는비트라인구조체; 상기비트라인구조체의제 1 측면상에위치하는외부비트라인스페이서; 상기비트라인구조체와상기외부비트라인스페이서사이에위치하는제 1 부분및 상기반도체기판과상기외부비트라인스페이서사이에위치하는제 2 부분을포함하는내부비트라인스페이서; 상기외부비트라인스페이서와상기내부비트라인스페이서의상기제 2 부분사이에위치하는블록비트라인스페이서; 및상기외부비트라인스페이서, 상기내부비트라인스페이서및 상기블록비트라인스페이서사이에위치하는제 1 에어갭을포함한다.
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