公开(公告)号：KR1020080035911A

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：KR1020060102566

申请日：2006-10-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전상훈 ,  최정달 ,  강창석 ,  정원석

IPC: H01L21/8247 ,  H01L29/78

CPC classification number: H01L21/823481 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L27/11524 ,  H01L21/823437 ,  H01L29/4236

Abstract: A semiconductor device and a method for manufacturing the same are provided to sufficiently secure the length and width of an effective channel simultaneously by using an active region with a recess section lower than a main surface. An isolation layer(52a) is formed on a semiconductor substrate(50). An active region(54) is defined by the isolation layer and has a main surface and a recess section lower than the main surface. A gate electrode is formed on a recess region. An upper surface of the isolation layer adjacent to the recess section is lower than a bottom surface of the recess section. The isolation layer adjacent to the recess section is recessed lower than a part adjacent to the main surface of the active region. The active region is extended in a row direction. The active region is protruded higher than the isolation layer at a cross-section of the recess region in a column direction. An upper surface of the isolation layer is lower than the main surface of the active region.

Abstract translation: 提供半导体器件及其制造方法，以通过使用具有低于主表面的凹陷部分的有源区域来同时充分确保有效沟道的长度和宽度。 隔离层（52a）形成在半导体衬底（50）上。 活性区域（54）由隔离层限定，并且具有比主表面低的主表面和凹部。 在凹陷区域上形成栅电极。 与凹部相邻的隔离层的上表面比凹部的底面低。 与凹部相邻的隔离层比与活性区域的主表面相邻的部分凹陷。 有源区域沿行方向延伸。 所述有源区域在所述凹陷区域的列方向的截面处比所述隔离层突出高。 隔离层的上表面低于有源区的主表面。

公开(公告)号：KR100773549B1

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：KR1020060030169

申请日：2006-04-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 유규태 ,  이규상 ,  심저영 ,  정원석 ,  조연자

IPC: G01N33/48 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N33/54373 ,  G01N27/4145

Abstract: 본 발명은 동일 전계 효과 트랜지스터를 이용하여 생분자의 존재 또는 농도를 검출하는 방법을 제공한다. 상기 본 발명에 따른 방법에 있어서, 상기 전계 효과 트랜지스터는 반도체 재료로 구성된 기판, 상기 기판 내에 서로 이격 되어 형성되고 상기 기판과 반대 극성으로 도핑된 소스 영역 및 드레인 영역, 상기 소스 영역 및 드레인 영역 사이에 배치된 채널 영역, 상기 채널 영역 상에 배치되고 전기적 절연 재료로 구성된 절연층, 및 상기 절연층 위에 이격 되어 배치된 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 하고, 또한 제1 타겟 생분자를 함유하는 제1 시료를 상기 전계 효과 트랜지스터의 절연층과 게이트 전극 사이에 공급하고, 상기 전계 효과 트랜지스터의 제1 전기적 신호 변화를 측정하는 단계; 제2 시료를 상기 동일한 전계 효과 트랜지스터의 절연층과 게이트 전극 사이에 공급하고, 상기 전계 효과 트랜지스터의 제2 전기적 신호 변화를 측정하는 단계; 및 상기 제1 전기적 신호 및 상기 제2 전기적 신호를 비교하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100723426B1

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：KR1020060037723

申请日：2006-04-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심저영 ,  이규상 ,  유규태 ,  정원석

IPC: C12Q1/68

公开(公告)号：KR1020070013893A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：KR1020050068569

申请日：2005-07-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/027

CPC classification number: G01N21/956 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/7065 ,  H01L21/67288 ,  H01L22/12

Abstract: A method and an apparatus for inspecting a wafer pattern are provided to enable an operator to easily recognize a kind of a defective pattern by maintaining a history on wafer defective patterns. An apparatus for inspecting a wafer pattern includes a camera(110), a database(140), a display unit(150), a determining unit(120), and a controller(130). The camera takes an image of a pattern, which is formed on the wafer, and provides image data. The database stores sample image data according to defective patterns. The display unit displays the image data or the sample image data. The determining unit determines whether the image data are defective and compares the image data with the sample image data, when the image data are defective. When the image data are the same as the sample image data, the controller displays information of the sample image data on the display unit. When the image data are different from the sample image data, the controller displays information of the sample image data on the display unit and stores the information on the database.

Abstract translation: 提供了一种用于检查晶片图案的方法和装置，以使操作者能够通过维持晶片缺陷图案上的历史来容易地识别不良图案的种类。 一种用于检查晶片图案的装置，包括相机（110），数据库（140），显示单元（150），确定单元（120）和控制器（130）。 相机拍摄形成在晶片上的图案，并提供图像数据。 数据库根据缺陷模式存储样本图像数据。 显示单元显示图像数据或样本图像数据。 当图像数据有缺陷时，确定单元确定图像数据是否有缺陷并将图像数据与样本图像数据进行比较。 当图像数据与样本图像数据相同时，控制器在显示单元上显示样本图像数据的信息。 当图像数据与样本图像数据不同时，控制器在显示单元上显示样本图像数据的信息，并将该信息存储在数据库上。

公开(公告)号：KR1020060114803A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：KR1020050036934

申请日：2005-05-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/66

CPC classification number: G03F7/7075 ,  G03F1/84

Abstract: A method and an apparatus for exposing a semiconductor substrate are provided to maximize operation efficiency of an exposure process of the semiconductor substrate by performing a reticle inspection process before the exposure process. An apparatus for exposing a semiconductor substrate includes a reticle inspecting unit(110), a reticle cassette(120), an exposure unit(130), a first transfer arm(141), and a second transfer arm(142). The reticle inspecting unit inspects reticles. The reticle cassette receives the reticles, which satisfy a predetermined inspection criterion. The exposure unit selects one reticle from the reticle cassette and exposes the semiconductor substrate using the reticle. The first transfer arm transfers the reticles between the reticle inspection unit and the reticle cassette. The second transfer arm transfers the reticles between the reticle cassette and the exposure unit.

Abstract translation: 提供用于暴露半导体衬底的方法和装置，以通过在曝光处理之前执行掩模版检查处理来最大化半导体衬底的曝光处理的操作效率。 一种用于暴露半导体衬底的设备包括掩模版检查单元（110），标线盒（120），曝光单元（130），第一传送臂（141）和第二传送臂（142）。 标线检查单元检查标线。 标线盒接收满足预定检查标准的标线。 曝光单元从掩模版盒中选择一个掩模版，并使用掩模版露出半导体衬底。 第一传送臂在标线检查单元和标线盒之间传送标线。 第二传送臂在标线盒和曝光单元之间传送标线。

公开(公告)号：KR1020060112412A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：KR1020050034824

申请日：2005-04-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H04B1/40

CPC classification number: H04N5/44 ,  H04N5/38 ,  H04N7/147 ,  H04N21/41407 ,  H04N21/4223 ,  H04N21/42676 ,  H04N21/432 ,  H04N21/4332 ,  H04N21/4341 ,  H04N21/4788

Abstract: A mobile terminal for selectively storing video communication data and its separately storing method are provided to easily edit data by respectively storing image data and audio data and to save resources of a terminal. A controller(200) controls to separate video communication data into image data and audio data and store the separated image data and/or audio data in a memory(204). The memory stores the image data and/or audio data under the control of the controller(200). An image of the image data is controlled to be captured and stored as image data.

Abstract translation: 提供用于选择性地存储视频通信数据的移动终端及其单独存储方法，以通过分别存储图像数据和音频数据并节省终端的资源来容易地编辑数据。 控制器（200）控制将视频通信数据分离为图像数据和音频数据，并将分离的图像数据和/或音频数据存储在存储器（204）中。 存储器在控制器（200）的控制下存储图像数据和/或音频数据。 控制图像数据的图像以被捕获并存储为图像数据。

公开(公告)号：KR1020060062844A

公开(公告)日：2006-06-12

申请号：KR1020040101824

申请日：2004-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H04W4/08 ,  H04W8/18

CPC classification number: H04L65/4061 ,  H04L65/1016 ,  H04M1/7255 ,  H04W4/10 ,  H04W76/45

Abstract: Disclosed is a method for processing conversation information in a wireless terminal. The method includes registering information about a push-to-talk (PTT) conversation service subscriber currently performing push-to-talk conversation when a key for storing push-to-talk conversation data is input during execution of a push-to-talk conversation service, and storing push-to-talk conversation data of a subscriber of the push-to-talk wireless terminal and push-to-talk conversation data corresponding to the registered information about the push-to-talk conversation service subscriber when the push-to-talk conversation data are received. Accordingly, while PTT conversation service is being provided, PTT conversation data are stored, reproduced and then recognized, thereby ensuring reliability for a PTT conversation service which may be used only once. In addition, the stored PTT conversation data can be backed up using an e-mail or an MMS message, and PTT conversation data stored during the provision of the PTT conversation service can be transmitted to the counterpart of the PTT conversation, thereby preventing a repeated request for important information data such as conference-call due to the loss of the data using a document or a telephone.

公开(公告)号：KR1020050121339A

公开(公告)日：2005-12-27

申请号：KR1020040046425

申请日：2004-06-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67242 ,  G03F7/7085

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비의 캐미칼 닉 감지장치 및 그 감지방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 포토리소그래피 공정시 사용되는 각종 캐미칼의 누출을 신속하게 검출할 수 있도록 캐미칼이 사용되는 장치의 바텀 부위에 캐미칼의 누출을 감지하는 캐미칼 닉 감지센서를 형성하고, 상기 감지센서를 통해 캐미칼 누출이 모니터링될 경우 이를 알리는 알람부를 형성함으로써, 포토리소그래피 공정시 캐미칼 닉에 의해 발생되는 인체 피해를 최소화한다. 또한, 캐미칼 닉 발생시 설비의 각종 유닛내부로 원하는 유량이 분사되지 못함으로 인해 야기되는 코팅 불량이나 각종 현상 불량등과 같은 종래의 각종 공정 불량 문제가 해소되어 공정안정화를 이룰 수 있고, 이로 인해 전체적인 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1020050047922A

公开(公告)日：2005-05-23

申请号：KR1020030081725

申请日：2003-11-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: H01L21/027

Abstract: 추가된 얼라인키 탐지부를 갖는 포토 공정의 스탭퍼 및 이를 이용한 정렬방법에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은 스탭퍼(steppr) 장치를 전체적으로 제어하는 스탭퍼 제어 시스템과, 상기 스탭퍼 제어 시스템에 의해 제어되어 웨이퍼를 운반하고 탑재하는 역할을 수행하는 웨이퍼 로딩부(wafer loading porting)와, 상기 스탭퍼 제어 시스템에 의해 제어되며 웨이퍼를 가공하는데 사용되는 레티클을 취급하는 레티클 핸들링부(reticle handling portion)와, 상기 스탭퍼 제어 시스템에 의해 제어되며 웨이퍼에 대한 정확한 노광을 위해 정렬 기능을 수행하는 얼라인부(alignment portion)로 이루어진 포토공정의 스탭퍼에, 정렬키 탐지를 위해 제조사별로 달리하는 키 패턴을 통합할 수 있는 추가된 얼라인키 탐지부를 추가로 설치한다. 이를 위해 본 발명은,

公开(公告)号：KR1020010027250A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990038893

申请日：1999-09-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정원석

IPC: G06F15/16

Abstract: PURPOSE: The image transmitter mounting the built-in memory card is provided to search an image screen saved in the memory card without the limit of the time, and to preserve the saved image as a file CONSTITUTION: The web transmitter comprises a camera(1), a sensor(2), a decoder(3), a JPEG processor(4), a FIFO memory(5), a CPU(6), a network interface(7), a memory(8), a detection part(9), a memory card(20), and a memory card interface(21). The camera detects the special image. The detection part senses the happening of the special event by the alarm sensor or the motion extraction function. The CPU recognizes the event happening signal, saves the temporary image to the memory card via the memory card interface, and sends the event happening message to the special user's e-mail address via the network interface. The e-mail receiver connects to the web transmitter(10) happening the event, searches the paused image data, and saves to download the necessary image data. Also, the receiver can even preserve or check the saved image via the memory card reader.

Abstract translation: 目的：安装内置存储卡的图像发送器用于搜索保存在存储卡中的图像屏幕，而不会限制时间，并将保存的图像保存为文件构成：Web发送器包括相机（1 ），传感器（2），解码器（3），JPEG处理器（4），FIFO存储器（5），CPU（6），网络接口（7），存储器（8） （9），存储卡（20）和存储卡接口（21）。 相机侦测到特殊图像。 检测部件通过报警传感器或运动提取功能来检测特殊事件的发生。 CPU识别事件发生信号，通过存储卡接口将临时图像保存到存储卡，并通过网络接口将事件发生消息发送到特殊用户的电子邮件地址。 电子邮件接收器连接到事件发生器（10），搜索暂停的图像数据，并保存下载必要的图像数据。 此外，接收机甚至可以通过存储卡读卡器保存或检查保存的图像。