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公开(公告)号：KR1020110015120A
公开(公告)日：2011-02-15
申请号：KR1020090072674
申请日：2009-08-07
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G03F7/70625 , G03F1/76 , G03F7/063 , G03F7/162 , G03F7/2059 , G03F7/70408 , H01L29/0669
Abstract: PURPOSE: A method for forming a pattern is provided to easily form a pattern of nano-size and grid form. CONSTITUTION: A method for forming a pattern comprises: a step of placing an object having a crystalline structure and grid image on a chamber; a step of irradiating a first electron beam to the object; a step of exposing a substrate having the electron resist to a first electron beam; a step of rotating grid image; a step of irradiating a second electron beam to the object; a step of exposing the substrate to a second electron beam; a step of developing the electron beam resist to form an electron beam resist pattern; a step of etching electron beam resist pattern; and a step of forming a pattern from grid image.
Abstract translation: 目的：提供一种用于形成图案的方法，以容易地形成纳米尺寸和格子形式的图案。 构成：形成图案的方法包括：将具有晶体结构和栅格图像的物体放置在室上的步骤; 向所述物体照射第一电子束的步骤; 将具有电子抗蚀剂的基板暴露于第一电子束的步骤; 旋转网格图像的一步; 向所述物体照射第二电子束的步骤; 将衬底暴露于第二电子束的步骤; 显影电子束抗蚀剂以形成电子束抗蚀图案的步骤; 蚀刻电子束抗蚀图案的步骤; 以及从网格图像形成图案的步骤。
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公开(公告)号：KR102222090B1
公开(公告)日：2021-03-03
申请号：KR1020200058955
申请日：2020-05-18
Applicant: 서울대학교산학협력단 , 재단법인 바이오나노헬스가드연구단
IPC: C12N15/10
Abstract: 본발명은바이오분자추출장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는나노필터를이용하여핵산을추출하는장치및 방법에관한것이다. 본발명에따른바이오분자추출장치의일 실시예는제1 용액과제2 용액사이에배치되며, 나노포어(nanopore)가형성되어있는나노필터; 상기제1 용액내에침지되는제1 전극; 상기제2 용액내에침지되는제2 전극; 및상기제1 전극과상기제2 전극과전기적으로연결되는교류전원;을포함하고, 상기제1 용액과상기제2 용액중 어느하나는, 상기교류전원을통해인가되는교류전류에의해상기나노필터에형성되어있는나노포어를통해이동이가능한바이오분자를포함하는시료를포함한다.
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公开(公告)号：KR101716785B1
公开(公告)日：2017-03-28
申请号：KR1020150029231
申请日：2015-03-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명의실시예에따른그래핀의제조방법은, 고체상태의촉매금속층상에그래핀층을형성하는단계, 촉매금속층의제1 영역을용융시켜, 용융된제1 영역상의그래핀층을재결정화하는단계, 및제1 영역에인접한촉매금속층의제2 영역을용융시켜, 용융된제2 영역상의그래핀층을재결정화하는단계를포함한다.
Abstract translation: 在根据本发明的一个实施例的制造石墨烯的方法，该固态是催化金属层上形成钉扎层，并熔化催化剂金属层的第一区域中，并且在熔融的第一区域重结晶是被钉扎层 相，通过熔化催化金属层的所述第二区域邻近mitje第一区域，和重结晶熔融的第二区域的销层上的是的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170004176A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：KR1020150094159
申请日：2015-07-01
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: B82B1/00 , B82B3/00 , G01N27/416 , G01N33/487 , C12Q1/68
CPC classification number: G01N33/48721 , B81B2201/0214 , B81B2203/0127 , B81B2203/0353 , B81C1/00087 , C12Q1/6869 , H01L21/465 , H01L29/24 , C12Q2565/631
Abstract: 본발명은절연성지지부재상에형성된나노포어구조를이용한나노포어구조체, 그제조방법및 나노포어구조를이용한이온소자에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른나노포어구조체는실리콘및 실리콘을함유하는화합물중 적어도하나를포함하여이루어지며중앙부에일측과타측을관통하는마이크로포어가형성되어있는절연성지지부재와, 질화실리콘(SiN)을포함하여이루어지며상기절연성지지부재상에배치되고중앙부에상기마이크로포어와연통되도록상기마이크로포어보다크기가작은나노포어가형성되어있는나노포어막을구비하고, 상기나노포어막과상기절연성지지부재는친수성표면처리에의해부착된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用在绝缘支撑构件上形成的纳米孔，纳米孔结构制造方法和使用该纳米孔的离子元件的纳米孔结构。 根据本发明的一个实施方案的纳米孔结构包括：绝缘支撑构件，其包括硅和含硅化合物中的至少一种，并且在中心部分具有穿过绝缘体的一侧和另一侧的微孔 支持会员 以及包含氮化硅（SiN）的纳米孔膜，其设置在所述绝缘支撑构件上，并且在所述纳米孔膜的中心部分具有小于并与所述微孔连通的纳米孔，其中所述纳米孔膜和所述绝缘支撑体 构件通过亲水表面处理附着。
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公开(公告)号：KR101308120B1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：KR1020120010384
申请日：2012-02-01
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: C01B31/02 , B01J23/755 , B01J23/46 , G02B6/32
Abstract: 성장 방향이 제어된 그래핀의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀의 제조 방법은, 기판 상에 그래파이트화 촉매층을 형성하는 단계; 그래파이트화 촉매층 상에 기상 탄소 공급원을 공급하는 단계; 열원 발생 장치로부터 빛을 집속시켜서 열원을 형성하는 단계; 그래파이트화 촉매층의 일부를 열원에 노출시켜서 그래핀 시드층을 형성시키는 단계; 및 그래핀 시드층으로부터 일 방향으로 그래핀층을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101226100B1
公开(公告)日：2013-01-25
申请号：KR1020100096910
申请日：2010-10-05
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N33/48 , G01N35/00 , C23C16/455 , C23C16/00
CPC classification number: B81C1/00087
Abstract: 원자층 증착법에 의해 제한된 크기를 갖는 나노 포어의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 포어의 제조 방법은, 멤브레인에 개구부를 형성하는 단계; 및 상기 개구부의 측벽에 원자층 증착법(ALD)을 이용하여 전구체로부터 커버막을 형성함으로써 나노 포어를 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 나노 포어의 크기는 상기 전구체의 크기에 의해 제어되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101174482B1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：KR1020100060663
申请日：2010-06-25
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L51/05
Abstract: 나노포어구조를이용한스위칭소자, 그를포함하는스위칭장치및 그의제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따른나노포어구조를이용한스위칭소자는, 제1 영역및 제2 영역을포함하는챔버; 제1 영역에위치하는제1 전극; 제1 전극에대향하여제2 영역에위치하는제2 전극; 및제1 전극및 제2 전극의사이에위치하고, 도전층, 상기도전층을관통하는나노포어및 도전층의표면에부착되어나노포어내에위치하는유기화합물을포함하는나노포어막;을포함하고, 유기화합물은도전층에인가되는전압에따라나노포어의채널크기를변화시키는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020120000342A
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020100060663
申请日：2010-06-25
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L51/05
CPC classification number: H01L51/0558 , H01L51/0093
Abstract: PURPOSE: A switching device, a switching apparatus including the same, a method for manufacturing thereof are provided to actively control the size of a nanopore by attaching an organic compound to the surface of the nanopore. CONSTITUTION: A chamber(10) includes a first area(12) and a second part(14). A first electrode(30) is placed in the first area. A second electrode(40) is placed in the second part facing the first electrode. A nanopore film(20) is placed between the first electrode and the second electrode. The nanopore film includes a conductive layer(21), nanopore(25), and the organic compound(23) attached to the surface of the conductive layer.
Abstract translation: 目的：提供一种开关装置，包括该开关装置的开关装置及其制造方法，以通过将有机化合物附着到纳米孔的表面来主动地控制纳米孔的尺寸。 构成：腔室（10）包括第一区域（12）和第二部分（14）。 第一电极（30）被放置在第一区域中。 第二电极（40）被放置在面向第一电极的第二部分中。 纳米孔膜（20）被放置在第一电极和第二电极之间。 纳米孔膜包括导电层（21），纳米孔（25）和附着到导电层表面的有机化合物（23）。
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