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公开(公告)号：KR100527382B1
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：KR1020020068745
申请日：2002-11-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 단일 탄소 나노튜브가 이용된 CD(Critical Dimension, 이하 CD라 함)-주사 프로브 현미경(Scanning Probe Microscopy)의 팁과 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 수직적으로 성장된 탄소 나노튜브를 이용한 주사 프로브 현미경의 팁 제조방법은 캔틸레버(cantilever)(1)에 뾰족하게 형성된 팁 위에 촉매물질(7)인 나노 입자의 혼합용액이 도포되는 단계; 상기 캔틸레버에 도포된 촉매물질(7)인 나노입자 혼합용액의 용매가 상온에서 증발되고 나노입자가 캔틸레버에 접착되는 단계; 상기의 나노입자가 접착된 캔틸레버를 메탄과 수소의 혼합 기체 분위기 챔버에 넣는 단계; 단일 탄소 나노튜브(6)가 성장할 팁의 위치가 선택되는 단계; 상기의 단일 탄소 나노튜브를 포함하여 성장 위치에 전자빔(5)을 조사하는 단계; 및 상기의 단일 탄소 나노튜브(6)가 수직적으로 성장되는 단계를 포함하여 제조됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 수직적으로 성장된 탄소 나노튜브를 이용한 주사 프로브 현미경의 팁은 상기의 제조방법과 같이 기판 전체에 열반응을 일으키지 않고 탄소 나노튜브가 성장할 위치에만 국부적으로 전자빔을 조사하기 때문에 PZT 엑츄에이터가 장착된 캔틸레버에 있어서 PZT 엑츄에이터를 손상시키지 않고 단일 탄소 나노튜브를 성장시킬 수 있어서, 깊은 홈구조의 벽면구조 및 나노거칠기 측정에 활용될 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020040040575A
公开(公告)日：2004-05-13
申请号：KR1020020068745
申请日：2002-11-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A tip and a method for manufacturing the same are provided to prevent thermal damages of the piezo electric actuator by applying heat only on the portion where a carbon nanotube is to be grown. CONSTITUTION: A method for manufacturing a tip of a scanning probe microscopy, comprises a step of depositing a mixture solution of nano particle serving as a catalyst material(7) on the tip formed on a cantilever(1); a step of evaporating the mixture solution and permitting the nano particle to attach to the cantilever; a step of injecting the cantilever into the chamber having a methane and hydrogen mixture gas atmosphere; a step of selecting the position of the tip where a single carbon nanotube(6) is to be grown; a step of inducing an electron beam(5) on the selected position; and a step of permitting the single carbon nanotube to grow in a vertical direction.
Abstract translation: 目的：提供一种尖端及其制造方法，以通过仅对在其上生长碳纳米管的部分施加热量来防止压电致动器的热损伤。 构成：用于制造扫描探针显微镜的尖端的方法，包括在形成于悬臂（1）上的尖端上沉积用作催化剂材料（7）的纳米颗粒的混合溶液的步骤; 蒸发混合溶液并允许纳米颗粒附着到悬臂的步骤; 将悬臂注入具有甲烷和氢气混合气体气氛的室中的步骤; 选择要生长单个碳纳米管（6）的尖端的位置的步骤; 在所选择的位置上引入电子束（5）的步骤; 以及允许单个碳纳米管在垂直方向上生长的步骤。
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公开(公告)号：KR1020170078981A
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150188945
申请日：2015-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01B1/22 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은태양전지의전극제조를위한전도성페이스트조성물에관한것으로, 더욱상세하게는인(P)을소정의비율로포함하는구리-인합금분말, 은(Ag) 분말, 용제, 바인더및 글래스프릿을포함하며, 구리의산화특성을보다효과적으로억제하기위하여소정의비율로플럭스재료를더 포함할수 있고, 구리-인합금분말의각각의입자표면에인산염코팅층을형성할수 있는것을특징으로할 수있다. 또한, 본발명은상기전도성페이스트조성물을대기중에서소정의온도로소결시켜태양전지전극을제조하는방법을제공하여태양전지의제조단가절감및 양산성향상에기여하고자한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造太阳能电池的电极，更具体地，磷（P），含有预定比铜的膏组合物 - inhap金粉末，银（Ag）粉末，溶剂，粘合剂和玻璃料 为了更有效地抑制铜的氧化特性，还可以以规定的比例含有助熔剂材料，在铜 - 磷金粉末的各粒子表面形成磷酸盐被覆层。 本发明还提供了一种用于制造太阳能电池电极在糊组合物的气氛中预定温度下烧结，并有助于制造成本的降低和提高太阳能电池的量产性的方法。
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公开(公告)号：KR101307986B1
公开(公告)日：2013-09-13
申请号：KR1020120079275
申请日：2012-07-20
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing a cathode electrode in a field emission surface light source reduces process time and costs by selecting and spreading an electrode unit and/or a non-electrode unit when a carbon nanotube ink layer is formed. CONSTITUTION: An electroless plating layer (120) is formed by electroless-plating a substrate. An electrode pattern (130) divided into an electrode unit and a non-electrode unit is formed on the electroless plating layer. A first metal layer (140) is formed on the electrode unit by performing first electroplating. A second metal layer (150) is formed on the first metal layer through second electroplating. A carbon nanotube ink layer (160) is formed on the electrode unit, or the carbon nanotube ink layer is formed on the electrode unit and the non-electrode unit. The non-electrode unit is removed.
Abstract translation: 目的：通过在形成碳纳米管油墨层时选择并扩展电极单元和/或非电极单元，在场致发射面光源中制造阴极电极的方法缩短了工艺时间和成本。 构成：通过无电镀基板形成化学镀层（120）。 在化学镀层上形成分为电极单元和非电极单元的电极图案（130）。 通过进行第一次电镀，在电极单元上形成第一金属层（140）。 通过第二次电镀在第一金属层上形成第二金属层（150）。 在电极单元上形成碳纳米管油墨层（160），或者在电极单元和非电极单元上形成碳纳米管油墨层。 去除非电极单元。
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公开(公告)号：KR101280898B1
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020120013471
申请日：2012-02-09
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H02N11/00
CPC classification number: H02N11/002 , B82Y30/00 , H01L29/0665
Abstract: PURPOSE: A nano generator using a film type zinc oxide nanowire and a manufacturing method thereof are provided to reduce the number of processes by eliminating a gap between electrodes. CONSTITUTION: A substrate is prepared. A first electrode layer (12) is formed. An aluminum dopped ZnO (AZO) catalyst layer (13) is formed on the first electrode layer. The surface of the AZO catalyst layer is treated with atmospheric pressure plasma. A film type zinc oxide nanowire layer (14) is formed on the AZO catalyst layer.
Abstract translation: 目的：提供使用膜型氧化锌纳米线的纳米发生器及其制造方法，通过消除电极间的间隙来减少工序数。 构成：制备底物。 形成第一电极层（12）。 在第一电极层上形成铝掺杂的ZnO（AZO）催化剂层（13）。 AZO催化剂层的表面用大气压等离子体处理。 在AZO催化剂层上形成膜状氧化锌纳米线层（14）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101249723B1
公开(公告)日：2013-04-02
申请号：KR1020110110900
申请日：2011-10-28
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nozzle for discharging droplets and a capacitive droplet discharging device using the nozzle manufactured by the same are provided to solve problems of applying current by using an insulator as a nozzle, and to form minute patterns directly on a substrate by discharging droplets of a micrometer size on the substrate. CONSTITUTION: A method for manufacturing a nozzle for discharging droplets comprises the following steps: a step for forming one or more silicon columns(203) on a substrate; a step for filling a filler around the silicon columns; a step for exposing the upper part of the silicon columns by flattening the top of the fillers; a step for exposing the rear portion of the silicon columns by drilling holes on the rear surface of the substrate where the silicon columns are arranged; and a step for removing the silicon columns.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于喷射液滴的喷嘴的方法和使用其制造的喷嘴的电容式液滴喷射装置，以解决通过使用绝缘体作为喷嘴来施加电流的问题，并且通过以下方式直接在基板上形成微小图案 在基板上排出微米尺寸的液滴。 构成：用于制造用于排出液滴的喷嘴的方法包括以下步骤：在基板上形成一个或多个硅柱（203）的步骤; 在硅柱周围填充填料的步骤; 通过使填料的顶部平坦化来暴露硅柱的上部的步骤; 通过在衬底的后表面上钻出硅柱来暴露硅柱的后部以暴露硅柱的步骤; 以及去除硅柱的步骤。
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公开(公告)号：KR101233100B1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020100083259
申请日：2010-08-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B05B5/00 , B05C11/10 , H01L21/027
Abstract: 액적 토출 장치가 제공된다. 본 액적 토출 장치는, 하부 기판 및 액적을 토출하기 위한 수단이 하부 기판의 외곽에 평행하게 형성된 상부 기판을 포함한다. 이에 의해, 액적 토출 수단이 기판의 외곽에 평행하게 형성되어, 고종횡비를 요하는 식각 공정이 불필요하여 액적 토출 장치 제작이 용이해진다.
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公开(公告)号：KR101125139B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020100008851
申请日：2010-01-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/3205 , H01L21/31
Abstract: 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자(MEMS:Micro Electo Mechanical System)의 층간 배선 형성방법이 개시된다. 탄소나노튜브를 용매에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하는 단계와, 하부 전극패드와 상기 하부 전극패드와 소정의 단차가 존재하는 구조물 상의 상부 전극패드 사이에 탄소나노튜브 용액을 젯 프린팅하여 도전성 배선을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면 MEMS 소자의 배선형성 공정을 단순화하여 공정비용을 줄일 수 있고, 정밀한 패터닝이 가능하여 MEMS 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101091765B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020090133454
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은실리콘박막을가지는태양전지소자및 그제작방법에관한것으로, 이러한본 발명은기판상에광전전환의역할을수행하는비정질특성을가지는비정질실리콘층을형성하는과정과, 상기비정질실리콘층상에무전해도금방법으로메탈촉매층을형성하는과정과, 상기메탈촉매층이형성된비정질실리콘층을열처리하여다결정실리콘층을형성하는과정을포함하는것을특징으로하는실리콘박막태양전지소자제작방법및 이러한방법으로제작된실리콘박막태양전지소자를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110089222A
公开(公告)日：2011-08-05
申请号：KR1020100008851
申请日：2010-01-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/3205 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/288 , B82Y40/00 , H01L21/02606 , H01L21/76838
Abstract: PURPOSE: An inter-layer wiring formation method of a micro electro mechanical device using a carbon nanotube is provided to reduce processing cost by simplifying a wiring formation process, thereby enabling to perform more precise patterning than a wiring formation method using a shadow mask. CONSTITUTION: A carbon nanotube solution is manufacture by dispersing a carbon nanotube into a solvent. A conductive wiring is formed between a lower electrode pad(110) and upper electrode pad(120) by jet printing the carbon nanotube solution. The printed conductive wiring between the lower electrode pad and upper electrode pad is dried.
Abstract translation: 目的：提供使用碳纳米管的微机电装置的层间布线形成方法，通过简化布线形成处理来降低处理成本，从而能够进行比使用荫罩的布线形成方法更精确的图案化。 构成：通过将碳纳米管分散到溶剂中制造碳纳米管溶液。 通过喷射印刷碳纳米管溶液，在下电极焊盘（110）和上电极焊盘（120）之间形成导电布线。 下电极焊盘和上电极焊盘之间的印刷导电布线被干燥。
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