Abstract:
본 발명은 유체 흐름방향에 수평면을 이루도록 형성된 지지판, 상기 지지판 일면에 적어도 둘 이상 상호 이격되어 배치되는 초음파 센서, 상기 초음파 센서를 수용하는 수용홀이 형성되며, 상기 지지판 일면에 일면이 마주보도록 이격되어 형성되는 중간판, 상기 중간판의 타면으로부터 이격되어 형성되고, 상기 적어도 둘 이상의 초음파 센서 중 어느 하나로부터 송신된 초음파를 다른 초음파 센서로 수신되도록 반사하는 반사판을 포함하는 초음파 유속계를 제공한다.
Abstract:
본 발명은 나노와이어를 이용하는 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있고, 상기 나노와이어 하부 실리콘 몸체는 식각되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 기판 상의 멤브레인 막에 형성되는 접착층; 상기 접착층 상에 부착되며, 상기 전극 및 중앙 센싱부가 외부로 노출되도록 식각된 제 2 기판을 포함하는 나노와이어를 이용한 압저항 방식의 마이크로폰에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다.
Abstract:
산화아연 나노와이어 압전필름 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 산화아연 나노와이어 압전필름 및 그 제조방법은 유연기판; 유연기판 상에 마련되는 하부전극; 하부전극 상에 수직 성장되는 산화아연 나노와이어; 및 산화아연 나노와이어를 캐핑(capping)시키는 캐핑 레이어를 포함하고, 캐핑 레이어는 폴리실라잔, 실세스퀴옥산 및 실란 화합물을 포함하는 코팅액으로 형성된다.
Abstract:
본 발명은 진동자의 진폭 제어가 가능한 자가 발전 장치에 관한 것으로서, 진동자의 진동에 따라 전기를 발전하는 발전부, 발전부의 출력단과 연결된 가변 부하, 및 발전부의 출력값에 따라 가변 부하의 임피던스를 조정하여 진동자의 진폭을 조절하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이를 통해 진동을 이용한 발전 장치가 부착된 대상물의 진동 범위와 관계 없이, 발전 장치에 포함된 진동자의 진폭이 일정 범위 이내로 조절될 수 있으며, 이에 따라 다양한 진동 특성을 가지는 대상물에 발전 장치를 설치하여 이용하는 것이 가능하다.
Abstract:
The present invention relates to a planar heating element using zinc oxide nanoplates and a manufacturing method thereof. The planar heating element according to an embodiment of the present invention includes: a substrate; a heat emitting layer which is made of ZnO nanoplates on the substrate; and a protection layer which is formed on the top of the heat emitting layer. The present invention can provide the planar heating element configured to ensure even temperature distribution over the entire surface.