公开(公告)号：KR100587654B1

公开(公告)日：2006-06-08

申请号：KR1020040041946

申请日：2004-06-08

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이대성 ,  박효덕

IPC: G01L7/08

Abstract: 본 발명은 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압력 저역통과필터를 통해 오프셋 압력을 제거하는 압력센서에 관한 것이다.
본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 반도체 기판의 하부면에 소정 두께가 제거된 다이어프램을 포함하여 구성된 압력센서에 있어서, 소정 주파수 이하의 압력파형만 통과시키고 그 이상의 압력파형은 차단하는 압력 저역통과필터를 더 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 압력 저역통과필터에 의해 자동으로 오프셋 압력이 제거되기 때문에 부가적인 오프셋 압력 조정을 위한 밸브나 제어장치가 필요없는 장점이 있고, 미소차압을 측정하는 데 있어 소형으로 제작이 가능하며 오프셋 압력에 비해 매우 작은 맥파를 쉽게 검출할 수 있는 효과가 있다.
압력센서, 오프셋, 압전센서, 필터

公开(公告)号：KR1020060034599A

公开(公告)日：2006-04-24

申请号：KR1020040083773

申请日：2004-10-19

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박준식 ,  박효덕

IPC: H01L31/09

CPC classification number: H01L31/09 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/0543 ,  H01L31/0547 ,  H01L31/18

Abstract: 본 발명은 마이크로 반사경이 결합된 적외선 감지 소자의 패키지 및 그의 패키징 방법에 관한 것으로, 적외선을 투과시킬 수 있는 기판 상부에 하부전극, 적외선 감지물질막과 상부 전극이 순차적으로 적층되어 이루어진 적외선 감지 소자와; 상부 중앙영역에 오목 렌즈 영역이 형성되어 있고, 그 오목 렌즈 영역 상부에 반사막이 형성되어 있고, 상기 오목 렌즈 영역이 형성되어 있지 않은 상부에 금속 패턴이 형성되어 있고, 상기 금속 패턴 상부에 범프(Bump)가 형성되어 있으며, 상기 적외선 감지 소자의 상, 하부전극이 범프에 본딩되어 있는 베이스 기판으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 반도체 공정을 이용하여 오목 렌즈와 적외선 감지물질막이 대향되도록 적외선 감지 소자를 패키징함으로써, 패키지의 크기를 작게할 수 있고, 오목 렌즈에 광이 모아져서 감지물질막으로 입사됨으로써, 적외선 감지 효율을 증가시킬 수 있는 우수한 효과가 있다.
적외선, 감지, 패키지, 오목, 렌즈, 반사경

公开(公告)号：KR100496209B1

公开(公告)日：2005-06-21

申请号：KR1020030034939

申请日：2003-05-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕 ,  김건년 ,  박준식

IPC: G02B6/32

Abstract: 본 발명은 마이크로 볼 렌즈가 결합된 광섬유 제조 방법에 관한 것으로, 광섬유의 끝단면을 제외한 끝단 부분에 식각 보호막을 형성하는 단계와; 상기 식각 보호막이 형성되지 않은 광섬유의 끝 단면에 오목한 홈을 형성하는 단계와; 상기 광섬유 끝단면에 형성된 오목한 홈에 접착제를 주입하는 단계와; 상기 접착제가 주입된 오목한 홈에 마이크로 볼 렌즈를 결합하는 단계로 구성된다.
따라서, 본 발명은 습식 식각 공정에 의해 광섬유 끝단에 오목한 홈이 형성된 광섬유를 대량으로 만들고, 각각의 광섬유들의 오목한 홈에 마이크로 볼 렌즈를 결합시켜 제조함으로써, 제조공정을 단순화하고, 제조 단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 광섬유 끝단에 오목한 홈을 만들어 광섬유의 광축과 마이크로 볼 렌즈의 광축을 보다 정확하게 정렬할 수 있게 함으로써 렌즈의 광축 어긋남에 따른 광 손실을 최소화 할 수 있으며 광섬유와 광섬유, 광섬유와 광소자를 연결할 때 광축 정렬을 보다 용이하게 할 수 있는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR1020050052701A

公开(公告)日：2005-06-07

申请号：KR1020030086231

申请日：2003-12-01

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 최성호 ,  이대성 ,  박효덕

IPC: A61B6/06

CPC classification number: G02B1/10 ,  A61B2562/02 ,  G01N23/00 ,  G01N2223/413 ,  G02B27/00

Abstract: 본 발명은 광학렌즈를 갖는 인체영상센서 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 격벽구조물을 여러 층으로 만들고 광학렌즈를 적용시켜 광효율 및 해상도를 좋게 하는 인체영상센서 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 광학렌즈를 갖는 인체영상센서는 격벽구조물과 이미지 센서를 이용하는 인체영상센서에 있어서, 빛을 감지하는 이미지 센서; 상기 이미지 센서의 상부에 위치하며 상의 선명도를 높이는 광학렌즈 및 상기 광학렌즈 상부에 위치하며 소정 크기와 소정 간격의 변환물질이 채워진 구멍들이 형성된 다층의 격벽구조물로 이루어진 광학렌즈를 갖는 인체영상센서로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 광학렌즈를 갖는 인체영상센서 및 제조 방법은 격벽구조물의 두께를 다양하게 제작하여 변환물질을 채워 넣어 제품 양산시 불량이 나올 확률이 줄어드는 장점이 있고, 격벽이 두꺼울수록 고진공 상태에서 변환물질을 채워넣어야 하는데 이러한 고가의 장비도 필요없게 되기 때문에 시설비가 절감되며 광학렌즈를 사용함으로써 보다 고해상도의 영상을 얻을 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100453975B1

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：KR1020020065568

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B5/28

Abstract: PURPOSE: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter and an apparatus for analyzing a gas by using the same are provided to measure the components and concentration of the gas by detecting the wavelengths of the light subsequently. CONSTITUTION: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter includes a substrate(10), a first etching stop layer(11), a first mirror(21), a sacrificial layer(12), a second mirror(22), a second etching stop layer(13), a circular coil pattern, a first electrode terminal(31), a coil insulating layer(15), a second electrode terminal(32) and a permanent magnet. The substrate(10) is etched at a predetermined region. The first etching stop layer(11) is formed on the top of the substrate(10). The first mirror(21) is formed on top of the first etch stop layer(11) and the sacrificial layer(12) is formed on top of the first mirror(21) to expose the first mirror(21). The second mirror(22) encompasses the top and side of the sacrificial layer(12). The second etching stop layer(13) is formed on top of the second mirror(22). The circular coil pattern is formed on top of the second etch stop layer(13). The first electrode terminal(31) is connected to one side of the circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). The coil insulating layer(15) exposes portions of the first electrode terminal(31) and the circular coil pattern. The second electrode terminal(32) is connected to the exposed circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). And, the permanent magnet is aligned at the top side spaced apart from the circular coil pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种非常小型的磁力驱动的法布里 - 珀罗滤波器和一种用于通过使用该装置分析气体的装置，以通过随后检测光的波长来测量气体的成分和浓度。 （10），第一蚀刻停止层（11），第一反射镜（21），牺牲层（12），第二反射镜（22），第二反射镜 ，第二蚀刻停止层（13），圆形线圈图案，第一电极端子（31），线圈绝缘层（15），第二电极端子（32）和永磁体。 衬底（10）在预定区域被蚀刻。 第一蚀刻停止层（11）形成在衬底（10）的顶部上。 第一反射镜（21）形成在第一蚀刻停止层（11）的顶部，并且牺牲层（12）形成在第一反射镜（21）的顶部以暴露第一反射镜（21）。 第二反射镜（22）包围牺牲层（12）的顶部和侧面。 第二蚀刻停止层（13）形成在第二反射镜（22）的顶部上。 圆形线圈图案形成在第二蚀刻停止层（13）的顶部上。 第一电极端子（31）连接到圆形线圈图案的一侧并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 线圈绝缘层（15）露出第一电极端子（31）的一部分和圆形线圈图案。 第二电极端子（32）连接到暴露的圆形线圈图案并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 并且，永磁体在与圆形线圈图案间隔开的顶侧处对齐。

公开(公告)号：KR1020040036967A

公开(公告)日：2004-05-04

申请号：KR1020020065568

申请日：2002-10-25

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B5/28

Abstract: PURPOSE: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter and an apparatus for analyzing a gas by using the same are provided to measure the components and concentration of the gas by detecting the wavelengths of the light subsequently. CONSTITUTION: A very small-sized magnetic force driven Fabry-Perot filter includes a substrate(10), a first etching stop layer(11), a first mirror(21), a sacrificial layer(12), a second mirror(22), a second etching stop layer(13), a circular coil pattern, a first electrode terminal(31), a coil insulating layer(15), a second electrode terminal(32) and a permanent magnet. The substrate(10) is etched at a predetermined region. The first etching stop layer(11) is formed on the top of the substrate(10). The first mirror(21) is formed on top of the first etch stop layer(11) and the sacrificial layer(12) is formed on top of the first mirror(21) to expose the first mirror(21). The second mirror(22) encompasses the top and side of the sacrificial layer(12). The second etching stop layer(13) is formed on top of the second mirror(22). The circular coil pattern is formed on top of the second etch stop layer(13). The first electrode terminal(31) is connected to one side of the circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). The coil insulating layer(15) exposes portions of the first electrode terminal(31) and the circular coil pattern. The second electrode terminal(32) is connected to the exposed circular coil pattern and formed on top of the coil insulation layer(15). And, the permanent magnet is aligned at the top side spaced apart from the circular coil pattern.

Abstract translation: 目的：提供一种非常小尺寸的磁力驱动的法布里 - 珀罗过滤器和用于通过使用它们分析气体的装置，以通过随后检测光的波长来测量气体的组分和浓度。 构成：非常小尺寸的磁力驱动法布里 - 珀罗滤波器包括基板（10），第一蚀刻停止层（11），第一反射镜（21），牺牲层（12），第二反射镜（22） ，第二蚀刻停止层（13），圆形线圈图案，第一电极端子（31），线圈绝缘层（15），第二电极端子（32）和永磁体。 衬底（10）在预定区域被蚀刻。 第一蚀刻停止层（11）形成在基板（10）的顶部上。 第一反射镜（21）形成在第一蚀刻停止层（11）的顶部，牺牲层（12）形成在第一反射镜（21）的顶部上以露出第一反射镜（21）。 第二反射镜（22）包围牺牲层（12）的顶部和侧面。 第二蚀刻停止层（13）形成在第二反射镜（22）的顶部。 圆形线圈图案形成在第二蚀刻停止层（13）的顶部。 第一电极端子（31）连接到圆形线圈图案的一侧并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 线圈绝缘层（15）露出第一电极端子（31）和圆形线圈图案的部分。 第二电极端子（32）连接到暴露的圆形线圈图案并形成在线圈绝缘层（15）的顶部上。 并且，永磁体在与圆形线圈图案间隔开的顶侧处对准。

公开(公告)号：KR100425776B1

公开(公告)日：2004-04-01

申请号：KR1020020022330

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이경일 ,  박효덕

IPC: G02B26/02

Abstract: PURPOSE: A micro actuator is provided which has a simple fabrication process by simplifying components and reduces a fabrication cost, and performs an accurate driving, and improves the characteristics of a device. CONSTITUTION: The first and the second supporting parts(101,102) are fixed to a substrate(200) by being separated each other. The first and the second elastic parts(111,112) by being connected to the first and the second supporting parts respectively, and are floated from the substrate. A driving part(130) is floated from the substrate by being connected to the first and the second elastic parts, and has a dielectric constant larger than a vacuum dielectric constant. And the first and the second electrodes(121,122) are formed on both sides of the driving part(130), and are fixed to the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种微型致动器，其通过简化部件并降低制造成本而实现简单的制造工艺，并且执行准确的驱动，并且改善器件的特性。 组成：第一和第二支撑部件（101,102）通过彼此分离而固定到基板（200）。 第一和第二弹性部分（111,112）通过分别连接到第一和第二支撑部分并且从基板浮起。 驱动部分（130）通过连接到第一和第二弹性部分而从基板浮起，并具有大于真空介电常数的介电常数。 并且第一和第二电极（121,122）形成在驱动部分（130）的两侧，并固定到基板。

公开(公告)号：KR1020030083930A

公开(公告)日：2003-11-01

申请号：KR1020020022332

申请日：2002-04-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김건년 ,  박광범 ,  박준식 ,  이경일 ,  박효덕

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/03 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00388 ,  B81C1/00555

Abstract: PURPOSE: A thermal micro actuator and a method for fabricating the same are provided to amplify displacement of the thermal micro actuator by installing an arch bar at end portions of two arch bars. CONSTITUTION: A thermal micro actuator includes a substrate(50). A first electrode(51), a ground electrode(52) and a second electrode(53) are fixed to the substrate(50) in such a manner that they are parallel spaced by a predetermined distance. A first arch bar(54) extends from the first electrode(51) and the ground electrode(52). A second arch bar(55) extends from the second electrode(53) and the ground electrode(52). A third arch bar(56) extends from end portions of the first and second arch bars(54,55). A front section(58) extends from a center(57) of the third arch bar(56).

Abstract translation: 目的：提供一种热微致动器及其制造方法，用于通过在两个拱杆的端部安装拱杆来放大热微致动器的位移。 构成：热微致动器包括衬底（50）。 第一电极（51），接地电极（52）和第二电极（53）以平行间隔预定距离的方式固定到基板（50）。 第一拱杆（54）从第一电极（51）和接地电极（52）延伸。 第二拱杆（55）从第二电极（53）和接地电极（52）延伸。 第三拱杆（56）从第一和第二拱杆（54,55）的端部延伸。 前部（58）从第三拱杆（56）的中心（57）延伸。

公开(公告)号：KR100382162B1

公开(公告)日：2003-05-09

申请号：KR1020010021424

申请日：2001-04-20

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박광범 ,  박효덕

IPC: G02B26/00

Abstract: PURPOSE: A 1xN optical switch is provided to supply selectively an optical signal transmitted through one optical fiber to one of optical fibers of N number by changing a rotating angle of a refractive plate to control an optical path. CONSTITUTION: A 1xN optical switch is formed with one input port, output ports of N number, and an optical refractive plate. The input port is formed with an input optical fiber(4) for receiving light and a parallel light lens(6) for forming incident ray(1) of the input optical fiber(4) as parallel light. The output port is formed with a focusing lens(7) for condensing the light(3) penetrating the optical refractive plate to one focus of an optical fiber core and an output optical fiber(5) for transmitting the light(3) to the outside of the 1xN optical switch. The input optical fiber(4) and the output optical fiber(5) are optical fibers of a sing mode or a multi mode. The optical refractive plate is formed with a transparent medium plate(2) and an anti-reflective layer(8). The transparent medium plate(2) has a refractive index of N.

Abstract translation: 目的：提供一个1×N光开关，通过改变折射板的旋转角度来选择性地提供通过一根光纤传输的光信号到N个光纤中的一根光纤以控制光路。 组成：一个1xN光开关由一个输入端口，N个输出端口和一个光学折射板组成。 输入端口形成有用于接收光的输入光纤（4）和用于将输入光纤（4）的入射光线（1）形成为平行光的平行光透镜（6）。 输出端口形成有用于将穿过光学折射板的光（3）会聚成光纤芯的一个焦点的聚焦透镜（7）和用于将光（3）透射到外部的输出光纤（5） 的1xN光开关。 输入光纤（4）和输出光纤（5）是单模或多模光纤。 光学折射板由透明介质板（2）和抗反射层（8）形成。 透明介质板（2）具有N的折射率。

公开(公告)号：KR1020020093491A

公开(公告)日：2002-12-16

申请号：KR1020010032277

申请日：2001-06-09

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이대성 ,  최연식 ,  이경일 ,  조영창 ,  박효덕

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  G01L9/0073

Abstract: PURPOSE: A capacitive differential pressure sensor and method for manufacturing the same is provided to allow ease of manufacture by using a single floor sacrificial layer, while improving non-linear characteristics of pressure sensor. CONSTITUTION: A capacitive differential pressure sensor comprises an outer electrode(12), a first lower electrode(14) and a second lower electrode(16) which are spaced apart from each other at a semiconductor substrate(10); columns(18,20) vertically connected to the outer electrode and the first lower electrode, respectively; and a first upper electrode(22) connected to the column of the outer electrode and disposed in parallel to the first lower electrode, and a second upper electrode(24) connected to the column of the first lower electrode and disposed in parallel to the second lower electrode. The capacitive differential pressure sensor further comprises an insulation film(11) formed at upper and lower surfaces of the semiconductor substrate, and a diaphragm formed by partially removing the lower surface of the semiconductor substrate, by the amount corresponding to the first lower electrode.

Abstract translation: 目的：提供一种电容差压传感器及其制造方法，以便通过使用单层地板牺牲层易于制造，同时改善压力传感器的非线性特性。 构成：电容差压传感器包括在半导体衬底（10）处彼此间隔开的外电极（12），第一下电极（14）和第二下电极（16）。 垂直连接到外电极和第一下电极的柱（18,20）; 和与第一下部电极平行地配置的与外部电极的列连接的第一上部电极（22），和与第一下部电极的列连接且与第二下部电极平行配置的第二上部电极（24） 下电极。 电容差压传感器还包括形成在半导体衬底的上表面和下表面处的绝缘膜（11）和通过部分地去除半导体衬底的下表面而形成的膜片，其量对应于第一下电极。