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公开(公告)号：WO2018026128A1
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：PCT/KR2017/007901
申请日：2017-07-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01P5/24
CPC classification number: G01P5/24
Abstract: 본 발명은 유체 흐름방향에 수평면을 이루도록 형성된 지지판, 상기 지지판 일면에 적어도 둘 이상 상호 이격되어 배치되는 초음파 센서, 상기 초음파 센서를 수용하는 수용홀이 형성되며, 상기 지지판 일면에 일면이 마주보도록 이격되어 형성되는 중간판, 상기 중간판의 타면으로부터 이격되어 형성되고, 상기 적어도 둘 이상의 초음파 센서 중 어느 하나로부터 송신된 초음파를 다른 초음파 센서로 수신되도록 반사하는 반사판을 포함하는 초음파 유속계를 제공한다.
Abstract translation:
本发明用于接收超声波传感器，该支撑板被形成为满足水平面于流体流动方向的超声波传感器，容纳孔设置为彼此至少两个在所述形成支撑板表面间隔开，所述支撑板 中间板，与中间板的另一个表面间隔开以面对中间板的一个表面并且反射从至少两个超声波传感器中的一个传送的超声波以由另一个超声波传感器接收， 提供一个超声波流量计。
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公开(公告)号：WO2014193030A1
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：PCT/KR2013/006347
申请日：2013-07-16
Applicant: 전자부품연구원
IPC: A61B5/1468
CPC classification number: A61B5/1468 , A61B5/14539 , G01N27/414
Abstract: 본 발명은 기준전극에 관한 것으로, 종래의 액체 충전형 Ag/AgCl 기준전극에 비해 구조가 간단하고, 초소형화된 전기 화학적 측정용 센서에 사용되는 초소형 기준전극을 제공하는데 있다. 또한, 종래의 박막형 기준전극과 달리 전극이 웨이퍼로부터 분리되지 않도록 할 수 있는, 견고한 구성의 기준전극을 제공하는데 있다. 또한, 전극에 직접 신호선을 연결하지 않고, 웨이퍼에 직접 신호선을 연결할 수 있는 기준전극을 제공하는데 있다. 본 발명에 따른 기준전극은 상부면의 중심부에 전해액 수용홈을 가지며, 전위형성을 위한 신호선이 연결되는 전극몸체, 전극몸체의 상부면에 형성되고, 전극몸체에 연결된 상기 신호선을 통해 전위가 형성되는 전극박막, 전해액 수용홈에 충진되어, 외부전해액과 이온을 교환하는 내부 전해액, 전극몸체 상부면을 덮고, 외부전해액과 연결되어 상기 외부전해액과 상기 내부전해액의 이온교환을 위한 이온교환막을 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及参考电极，并且提供了与常规的液体填充的Ag / AgCl参比电极相比具有简单结构并用于小型化学电化学测量传感器的微参比电极。 此外，与传统的薄膜型参考电极不同，提供了具有坚固结构的参考电极，其可以被防止与晶片分离。 此外，提供了信号线不直接连接但可以直接连接到晶片的参考电极。 根据本发明的参比电极包括：在其上表面的中心部分具有电解质容纳槽并且连接有用于产生电势的信号线的电极体; 电极膜，形成在电极体的上表面，并通过与电极体连接的信号线产生电位; 填充在所述电解质容纳槽中以与外部电解质交换离子的内部电解质; 以及覆盖电极体的上表面并与外部电解质连接的离子交换膜，以便在外部电解质和内部电解质之间交换离子。
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公开(公告)号：WO2012020930A2
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/KR2011/005364
申请日：2011-07-21
CPC classification number: G01L9/12 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L19/0076 , H01L29/66007 , H01L29/84
Abstract: 본 발명은 압력 검출시 공동 이외의 영역에서 잡음으로 작용하는 기생 정전용량을 최소화하여 미소 센서를 구현할 수 있는 정전용량형 압력센서 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 위해, 본 발명은 하부전극으로 기능하는 기판과, 상기 기판 상에 형성된 제1 절연막과, 상기 제1 절연막 상에 형성된 공동과, 상기 공동과 연통하는 개구부를 가지며, 상기 공동을 덮도록 상기 제1 절연막 상에 형성된 제2 절연막과, 상기 개구부를 매개로 상기 개구부와 상기 공동의 일부가 매립되도록 전도성 재질로 형성된 밀봉막과, 상기 공동과 중첩되도록 상기 제2 절연막 상에 형성된 상부전극을 포함하는 정전용량형 압력센서를 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 공동을 형성한 후 상기 공동의 양측부에 전도성 재질로 밀봉막을 앵커(anchor) 형상으로 형성하고, 상기 밀봉막과 전기적으로 분리되어 상기 공동과 중첩되는 상부전극을 형성하여 압력 검출시 실질적으로 영향을 미치는 공동 영역을 상기 밀봉막을 통해 특정 영역으로 제한함으로써 압력 검출시 공동 이외의 영역에서 잡음으로 작용하는 기생 정전용량을 최소화하여 미소 센서를 구현할 수 있다.
Abstract translation: 本发明的目的在于提供一种电容式压力传感器，该电容式压力传感器能够通过使在压力检测时空腔以外的区域中充当噪声的寄生电容最小化来实现微小传感器， 有。 为此，本发明提供一种半导体器件，该半导体器件包括用作下电极的衬底，形成在衬底上的第一绝缘膜，形成在第一绝缘膜上的空腔以及与空腔连通的开口， 形成在第一绝缘膜上的第二绝缘膜，包括形成在所述第二绝缘膜上的上电极，使得由导电材料形成的密封膜，使得所述腔和所述开口作为参数的开口的填充部分，重叠所述空腔 提供电容式压力传感器。 因此，根据本发明，形成腔体后，形成在空腔的两侧部的导电材料膜的到锚（锚）形状的密封，由该密封膜分离，并电以形成与所述空腔重叠的上部电极 通过经由密封膜将实质上影响压力检测的空洞区域限制在特定区域，能够使作为压力检测时的空洞以外的区域的噪声的寄生电容最小化。
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公开(公告)号：KR101215922B1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：KR1020100078350
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은제조공정을단순화시키고, 접합특성과감지특성을향상시킬수 있는정전용량형(capacitive type) 압력센서및 그의제조방법을제공하는데그 목적이있다. 이를위해, 본발명은홈부를구비한유리기판과, 상기홈부내에형성된상부전극과, 후면에멤브레인을구비한실리콘기판과, 상기실리콘기판의전면에이온주입공정을실시하여상기실리콘기판의전면으로부터일정깊이를갖도록상기실리콘기판내에서로이격되어형성된제1 및제2 하부전극을포함하고, 상기제1 및제2 하부전극의적어도일부가상기상부전극과대향되도록상기실리콘기판과상기유리기판이양극접합(anodic bonding)으로이종접합된정전용량형압력센서를제공한다. 따라서, 본발명은실리콘기판내에제1 및제2 하부전극을형성하고, 유리기판상에상부전극을형성하며, 상기실리콘기판과상기유리기판을양극접합으로이종접합시켜정전용량형압력센서를구현함으로써종래기술에따른실리콘융합접합방법(실리콘-실리콘접합)에비해공정을단순화시키고, 접합및 감도특성을향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120015845A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR1020100078321
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/12 , G01L9/0042 , G01L9/0073 , G01L19/0076 , H01L29/66007 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A capacitive pressure sensor is provided to miniaturize a size by minimizing parasitic capacitance and to form a conductive sealing film in an anchor shape. CONSTITUTION: A capacitive pressure sensor comprises a substrate(110), a first insulating layer(111), a cavity(116), a second insulating layer(113), sealing films(117), and an upper electrode(115). The substrate is used as a lower electrode. The first insulating layer is formed on the substrate. The cavity is formed in the first insulating layer. The second insulating layer has an opening connected to the cavity and is formed on the first insulating layer to cover the cavity. The sealing films are formed using a conductive material. The upper electrode is electrically separated from the sealing films and is formed on the second insulating layer to be overlapped with the cavity.
Abstract translation: 目的：提供电容式压力传感器，通过最小化寄生电容并形成锚定形状的导电密封膜来使尺寸小型化。 构成：电容式压力传感器包括基板（110），第一绝缘层（111），空腔（116），第二绝缘层（113），密封膜（117）和上电极（115）。 基板用作下电极。 第一绝缘层形成在基板上。 空腔形成在第一绝缘层中。 第二绝缘层具有连接到空腔的开口，并形成在第一绝缘层上以覆盖空腔。 密封膜使用导电材料形成。 上电极与密封膜电隔离，并形成在第二绝缘层上以与空腔重叠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101054468B1
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
Abstract: 본 발명에 따른 적외선 발생원은 반도체 기판; 상기 반도체 기판의 상표면 및 하표면에 형성된 저응력막; 상기 반도체 기판의 상표면의 저응력막 중앙부에 형성된 발열부; 상기 반도체 기판의 상표면에 형성되고, 상기 발열부의 상표면의 양단 부분을을 커버하면서 상기 상표면의 중앙부는 노출하며 형성된 제1 및 제2 전극부를 포함하는 적외선 발생원으로서, 상기 반도체 기판의 중앙부에는 캐비티가 형성되고, 상기 캐비티 내에는 상기 저응력막과 접촉하여 형성된 전열 금속부가 형성된 것을 특징적 구성으로 포함한다.
적외선, 열원, 마이크로 히터, 전열 금속부, 열 스트레스-
公开(公告)号：KR101049736B1
公开(公告)日：2011-07-19
申请号：KR1020090052148
申请日：2009-06-12
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 강유전체의 분극률을 높이기 위한 폴링공정을 단순화시켜 공정시간을 감소시키고, 이를 통해 수율 특성을 개선시킬 수 있는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은 복수 개의 단위 감지센서와, 상기 단위 감지센서들 각각의 제1 폴링전극을 공통으로 연결하는 제1 폴링라인과, 상기 단위 감지센서들 각각의 제2 폴링전극을 공통으로 연결하는 제2 폴링라인을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조를 제공한다.
감지센서, 초전, 적외선, 어레이, 반사층, 흡수층, 강유전체Abstract translation: 本发明简化了用于增加铁电体的极化，以减少处理时间，以提供传感器的热电型红外线阵列结构的轮询过程，从而可以提高的产率特性的制造方法，通过该，在本用于此目的 本发明的第二轮询连接的多个单元，其检测传感器和每个所述第一轮询所述第一轮询线，各连接在公共电极作为公共单元传感器中的第二轮询电极的单元传感器 用于检测红外线的线传感器阵列。
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公开(公告)号：KR1020110055955A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020090112592
申请日：2009-11-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414
Abstract: PURPOSE: A sensing device is provided to ensure improved quality of an ion-sensitive membrane and prevent the variation of threshold voltage of an FET because the membrane is manufactured through an LPCVD process. CONSTITUTION: A sensing device comprises a first chip(110) including an ion-sensitive membrane, a second chip(120) including a field effect transistor which detects the surface potential of the ion-sensitive membrane, and a connection part(130) which connects the first and second chips. The first and second chips are integrated on a printed circuit board(100).
Abstract translation: 目的：提供感测装置，以确保提高离子敏感膜的质量，并防止FET的阈值电压的变化，因为膜是通过LPCVD工艺制造的。 构成：感测装置包括包括离子敏感膜的第一芯片（110），包括检测离子敏感膜的表面电位的场效应晶体管的第二芯片（120）和连接部分（130），其连接部分 连接第一和第二芯片。 第一和第二芯片集成在印刷电路板（100）上。
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公开(公告)号：KR1020100099781A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：KR1020090018286
申请日：2009-03-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/00
CPC classification number: H01L33/64 , H01L33/005 , H05B1/0233
Abstract: PURPOSE: A micro infrared ray generation source and a manufacturing method thereof are provided to prevent the heat stress in the middle of the heater by offering the heat metal part near the middle of the heater. CONSTITUTION: A low strain film(120) is formed on the top surface and the bottom surface of a semiconductor substrate(110). A heater(130) is formed in the middle of the low strain film of the top surface of the semiconductor substrate. First and second electrode parts(140, 140') are formed on the surface of the semiconductor substrate.
Abstract translation: 目的：提供微型红外线产生源及其制造方法，以通过在加热器的中部附近提供加热金属部件来防止加热器中间的热应力。 构成：在半导体衬底（110）的顶表面和底表面上形成低应变膜（120）。 在半导体衬底的顶表面的低应变膜的中间形成有加热器（130）。 第一和第二电极部分（140,140'）形成在半导体衬底的表面上。
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公开(公告)号：KR2020100006710U
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR2020080017033
申请日：2008-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 고안은 내시경용 카테터가 삽입되어지는 개선된 유도관 구조에 관한 것으로, 본 고안에 따르면, 내시경이 삽입되어 형성된 제1 유도관; 상기 튜브의 상측부에 형성되고, 카테터가 삽입되는 카테터 삽입구; 카테터가 삽입되어 유도되는 제2 유도관; 및 상기 카테터 삽입구 근방에 형성된 액체 투입구를 포함하고, 상기 액체 투입구로부터 투입된 액체는 상기 제2 유도관을 통해 흐르는 것을 특징으로 하는 내시경용 튜브가 제공된다.
상기 구조에 따르면, 제2 유도관에 카테터가 유지된체로 액체 투입관으로 세정액을 투입할 수 있기 때문에, 카테터를 세정하기 위해 카테터를 꺼내는 번거로움이 제거될 수 있다.
유도관, 카테터, 내시경, 산도 측정
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