-
-
公开(公告)号：KR100135032B1
公开(公告)日：1998-04-20
申请号：KR1019940025177
申请日：1994-09-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 반송모듈의 웨이퍼 운송시 발생되는 오차값들이 자동유량조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 방법을 이용한 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법 및 장치에 관한 것이다.
반송모듈의 주위에 부착된 카세트모듈 또는 공정모듈과의 웨이퍼운송시 고진공 압력 제어기능이 없으면 사각밸브의 개폐시 두 모듈내의 압력차에 의한 흐름형성으로 인하여 먼지발생(particle generation)이나 여러가지 반응가스의 역류(backstreaming)에 의해 반송모듈이 오염 (contamination)되며, 사각밸브의 개페시 22.5 mtorr로 규정된 최대 압력차보다 큰 압력차로 인하여 밸브수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 고진공 센서에서 나오는 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 자동유량 조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 알고리즘(algorithm)을 사용하여 10
-4 에서 10
-5 torr 범위의 고진공 압력을 제어하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력제어방법 및 장치에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR1019930001474B1
公开(公告)日：1993-02-27
申请号：KR1019900017925
申请日：1990-11-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G06K19/06
Abstract: The circuit for integrating the total circuit a one chip comprises: a data modulating circuit (2) converting the serial data inputted from CPU (1) to the F2F (frequency two frequency) output signal; a current driving circuit (3) for recording the data to the magnetic card by changing of residual magnetic flux density; a head signal processing circuit (6) outputting the F2F input signal using analog signal induced when the data recorded magnetic card moves on the magnetic head for reading; a data demodulating circuit (7) outputting the data and the synchronizing pulse of same period to the CPU according to the level state change of F2F input signal.
Abstract translation: 用于将总电路集成为一个芯片的电路包括：数据调制电路（2），将从CPU（1）输入的串行数据转换为F2F（频率二频）输出信号; 用于通过改变剩余磁通密度将数据记录到磁卡的电流驱动电路（3）; 一个头信号处理电路（6），当数据记录磁卡在磁头上移动以读取时，使用模拟信号输出F2F输入信号; 数据解调电路（7）根据F2F输入信号的电平状态变化向CPU发送数据和相同周期的同步脉冲。
-
公开(公告)号：KR1019920009714B1
公开(公告)日：1992-10-22
申请号：KR1019880017976
申请日：1988-12-30
IPC: H01L21/00
Abstract: The multi-functional drive board providing a simple structure of semiconductor device for cost reduction comprises; 4 connectors connected to the power source and an external circuit; 6 schmitt trigger invertors inputting the signal of the respective connector to the drive module; 6 drive modules. Each module comprises; an inversion or non-inversion buffer; an optical coupler transfering the signal outputted from the buffer; a drive integrated circuit (IC) for driving the outer circuit by receiving the signal outputted from the optical coupler. The power source provides 12 V as the power source for logic and drive.
Abstract translation: 提供用于降低成本的半导体器件的简单结构的多功能驱动板包括： 连接到电源的4个连接器和外部电路; 6个施密特触发反相器将相应连接器的信号输入到驱动模块; 6个驱动模块。 每个模块包括 反转或非反转缓冲器; 光耦合器，传送从缓冲器输出的信号; 驱动集成电路（IC），用于通过接收从光耦合器输出的信号来驱动外部电路。 电源提供12 V电源作为逻辑和驱动器的电源。
-
-
-
Search Results
41
records
(took 0.021 seconds)
