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公开(公告)号：KR1019920005875B1
公开(公告)日：1992-07-23
申请号：KR1019890008241
申请日：1989-06-15
Applicant: 한국전자통신연구원 , 전화기산업기술연구조합 , 주식회사KDC상사
IPC: G11B20/08
Abstract: Magnetic material having high permiability is printed on a base film and a magnetic material having normal permiability is sprayed on the printed region flatly to record forgery prevention data. A reader detects the residual magnetism difference between the printed region and non-printed region to discriminate the forgery. The method includes: (A) detecting the residual magnetism using a magnetic head, amplifying the detected signal and eliminating noise having high frequency; (B) detecting the variation of the residual magnetic density; (C) modulating the digital signal having TTL level; and (E) reproducing the forgery protecting data.
Abstract translation: 具有高容许性的磁性材料被印刷在基膜上，并且具有正常可容性的磁性材料被平坦地喷涂在印刷区域上以记录防伪数据。 读取器检测打印区域和非印刷区域之间的残余磁差，以区分伪造。 该方法包括：（A）使用磁头检测剩磁，放大检测信号，消除高频噪声; （B）检测残留磁密度的变化; （C）调制具有TTL电平的数字信号; 和（E）再现伪造保护数据。
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公开(公告)号：KR1019910005305B1
公开(公告)日：1991-07-24
申请号：KR1019880017975
申请日：1988-12-30
Abstract: The apparatus is for auto fault detection of ultra red lamps used in system as a heat source. The apparatus includes relays connected to the lamps of each reactor in common, electronic switches providing common terminal to the lamps in each reactors, a SCR power converter for providing controlled power to the lamps, test relays for switching on the lamps in order to test the lamps, an ultra red ray sensor for detecting the on/off state of the lamps and a lamp on/off controlcircuit drived by 8-bit data comprises lamp selection bits (D0-D3), reactor selection bits (D4,D5), operating or tested mode selecting bit (D6) and watch dog bit (D7).
Abstract translation: 该装置用于系统中用作热源的超红灯的自动故障检测。 该装置包括连接到每个反应堆的灯的继电器，每个反应器的电子开关提供公共端子到每个反应器中的灯，用于向灯提供受控电力的SCR功率转换器，用于接通灯的测试继电器，以便测试 灯，用于检测灯的开/关状态的超红光传感器和由8位数据驱动的灯开/关控制电路包括灯选择位（D0-D3），电抗器选择位（D4，D5），操作 或测试模式选择位（D6）和看门狗位（D7）。
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公开(公告)号：KR1019900006260B1
公开(公告)日：1990-08-27
申请号：KR1019870015004
申请日：1987-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/223
Abstract: The vacuum system of low pressure CVD apparatus for forming a polysilicon thin film, comprises: a vibration absorber (3) for relaxing a misalignment in piping, and preventing a leakage by thermal expansion; a trap (5) for relaxing an abrupt variation of pressure and filtering a generating dust in the main exhaust pipe; a throttle valve (7) controlling an opening area of the pipe to maintain a predermined processing pressure; a soft-start exhaust pipeline (11) for reducing an effective pumping speed upon initial pumping operation; an oil filtration system (16), an N2 ballast system (14) and an oil demist filter (15); and a power failure pipeline for exhausting a toxic and explosive gas.
Abstract translation: 用于形成多晶硅薄膜的低压CVD装置的真空系统包括：用于放松管道中的未对准的减振器（3），并防止热膨胀的泄漏; 用于放松压力突然变化并过滤主排气管中产生的灰尘的阱（5）; 节流阀（7），其控制管道的开口面积以保持预处理压力; 用于在初始泵送操作时降低有效泵送速度的软启动排气管道（11） 油过滤系统（16），N2镇流器系统（14）和除油过滤器（15）; 以及用于排放有毒和爆炸性气体的断电管道。
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公开(公告)号：KR1019900006259B1
公开(公告)日：1990-08-27
申请号：KR1019870014926
申请日：1987-12-24
Abstract: The vacuum system of photo CVD apparatus for forming a silicon insulating thin film, comprises: a vibration absorber (18) for relaxing a misalignment in piping, and absorbing a vibration generated by a vacuum pump (1); an U type pipe (19) for enlarging an effective pumping speed to reduce the pumping speed; a trap (21) for relaxing an abrupt variation of pressure and filtering a generating dust in the main exhaust pipe; an oil filter (17) for preventing a sub-generating and unreacting gas and oil from being dispersed; an oil filtration system (8) for preventing the oil from being contaminated; and a pressure controlling means for opening and shutting a throttle valve.
Abstract translation: 用于形成硅绝缘薄膜的光CVD装置的真空系统包括：用于放松管道中的未对准并吸收由真空泵（1）产生的振动的减振器（18）。 用于增加有效泵送速度以降低泵送速度的U型管道（19）; 用于放松压力的突然变化并过滤主排气管中的产生灰尘的阱（21）; 用于防止副产物和不起反应的气体和油分散的油过滤器（17）; 油过滤系统（8），用于防止油被污染; 以及用于打开和关闭节流阀的压力控制装置。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019960012418A
公开(公告)日：1996-04-20
申请号：KR1019940025177
申请日：1994-09-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 반송모듈의 웨이퍼 운송시 발생되는 오차값들이 자동유량조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 방법을 이용한 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법 및 장치에 관한 것이다.
반송모듈의 주위에 부착된 카세트모듈 또는 공정모듈과의 웨이퍼운송시 고진공 압력 제어기능이 없으면 사각밸브의 개폐시 두 모듈내의 압력차에 의한 흐름형성으로 인하여 먼지발생(particle generation)이나 여러가지 반응가스의 역류(backstreaming)에 의해 반송모듈이 오염 (contamination)되며, 사각밸브의 개페시 22.5 mtorr로 규정된 최대 압력차보다 큰 압력차로 인하여 밸브수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 고진공 센서에서 나오는 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 자동유량 조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 알고리즘(algorithm)을 사용하여 10
-4 에서 10
-5 torr 범위의 고진공 압력을 제어하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력제어방법 및 장치에 관한 것이다.-
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公开(公告)号：KR1019950021336A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930029997
申请日：1993-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치에 관한 것으로 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하여 오동작을 피할 수 있도록 하기 위하여 클러스터 장비용 플랫폼에 웨이퍼를 공급, 회수하는 카셋트 엘리베이터의 UCL(Universal Cassetter Locator)에 놓여진 카셋트의 웨이퍼 위치를 명확히 감지하도록 플렛폼의 카셋트챔버에 가시광선의 광원(Visible Light Source)을 설치하여 웨이퍼를 인식하도록 함을 특징으로 함.
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公开(公告)号：KR1019950021334A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930029355
申请日：1993-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체공정을 통합하기 위한 반도체 제조장치에 관한 것으로 특히 치구를 사용하여 웨이퍼 반송장치와 공정 모듈간의 위치를 정렬할 수 있는 반도체 제조용 클러스트 장비에 관한 것이다.
종래의 클러스트는 웨이퍼 반송장치를 통해 공정챔버 내에 웨이퍼 정렬을 위한 입출력이 육안관찰에 의한 피동적인 방법으로 정량적으로 이루어지지 않으므로 공정챔버의 중심에 정확히 놓이지 않는 단점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 웨이퍼 반송로봇이 내장된 공통된 하나의 반송챔버나 다수의 격리 밸브 및 부대 진공장치로 구성되는 클러스터 플렛폼과 이의 각 부착면에 다수의 공정모듈 및 카세트 모듈등의 부착모듈들이 장착되는 형태로 구성되어지는 복합반도체 제조장비에 있어서, 상기 웨이퍼의 반송을 위한 반송로봇과 상기 공정 모듈들간의 위치를 정렬하기 위해 각 공정모듈 내에 위치정렬 치구를 장착하여 R,θ좌표를 추출하여 정렬하는 반도체 제조용 클러스트 장비이다.
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