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公开(公告)号：KR1020170113744A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160035448
申请日：2016-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R35/00 , G01R15/12 , G01R19/25 , G01R19/257 , G01R19/14
CPC classification number: G01R15/12 , G01R19/14 , G01R19/25 , G01R19/257 , G01R35/00
Abstract: 본발명은다기능미터및 미터교정기의직류전압기능교정장치에관한것이다. 본발명의다기능미터교정기의직류전압기능교정장치는기준포인트에대해기준값으로교정되고, 제 1 플러스단자, 제 1 마이너스단자를갖는제 1 미터교정기, 기준포인트에대해기준값으로교정되고, 제 2 플러스단자, 제 1 마이너스단자에연결된제 2 마이너스단자를갖는제 2 미터교정기, 제 1 플러스단자와연결되는제 3 플러스단자와제 2 플러스단자와연결되는제 3 마이너스단자를갖는디지털멀티미터, 및제 1 미터교정기와제 2 미터교정기에설정된기준값에근거하여디지털멀티미터를이용하여전압값을상향변환또는하향변환을통해다른포인트들에대해직류전압을교정하도록제어하는직류전압교정회로를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于多功能仪表和仪表校准器的直流电压功能校准装置。 本发明的多功能计校准装置的直流电压功能校准被校准与用于基准点的基准值时，第一正极端子，被校正为第一计量器校准器，具有第一负端的参考点，一第二加的基准值 端，一第一个第二计校准器，其具有与第三正端子和所述第二正端子连接的第三负极端子的数字万用表被连接到所述第一正端子，其具有连接到负极端子的第二负端子，mitje 1 基于在计设定的基准值和所述第二计校准器校准器，将通过上转换或下转换通过使用数字万用表，包括用于控制所述直流电压以校正不同点的直流电压校正电路的电压值。
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公开(公告)号：KR1020110098036A
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020100017455
申请日：2010-02-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G06Q50/26 , G06F21/31 , H04N21/6125
Abstract: 본 발명은 인터넷을 이용한 각종 디지털 멀티미터의 교정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인터넷 사이트의 정보를 통하여 사용자가 보유한 미터 교정기와 교정 대상기기(디지털 멀티미터)를 선택하면 교정 절차에 대한 모든 정보가 제공되므로 누구나 쉽고 정확하게 교정할 수 있는 것이 특징이다. 예를 들면 PC로 인터넷 사이트에 접속하여 요구하는 정보를 입력하고 회원에 가입한 후 로그인 하는 단계(S10)와; 보유한 미터 교정기 및 이를 통해 교정할 디지털 멀티미터의 종류를 선택하는 단계(S20)와; 보유한 미터 교정기 및 이를 통해 교정할 디지털 멀티미터를 PC에 연결하는 단계(S30)와; 상기 단계(S20)의 선택에 따른 사이트의 해당 교정절차에 따라 디지털 멀티미터의 교정을 실시하는 단계(S40)와; 상기 교정 실시 후 디지털 멀티미터의 교정 불확도를 평가하는 단계(S50)와; 교정 성적서 작성 및 교부하는 단계(S60)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인터넷을 이용한 디지털 미터의 교정방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR100956056B1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：KR1020080072110
申请日：2008-07-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 온도를 일정하게 유지하는 유체항온조에 관한 것으로 항온조의 구성요소인 히터/펠티어소자, 유체순환 팬, 그리고 전원공급장치 등의 전자기장 발생요소를 챔버부로부터 분리하여 항온조 챔버부 내에서는 전자기장에 의한 간섭이 배제되도록 하는 전자기장 간섭이 없는 유체항온조에 관한 것이다.
본 발명의 전자기장 간섭이 없는 유체항온조는 유체가 유입 및 배출되며 유입 및 배출되는 유체의 온도를 측정하는 온도센서(14,17a,17b)가 구비된 챔버부(10); 상기 챔버부(10)와 연결되며 상기 챔버부(10)로의 유체순환이 이루어지도록 하는 유체순환 연결관(20); 상기 유체순환 연결관(20)과 연결되며 상기 온도센서(14,17a,17b)의 측정온도에 따라 상기 챔버부(10)로 유입 및 배출되는 유체의 온도가 항온상태를 유지하도록 제어하는 온도조절부(30); 상기 온도조절부(30)에 전원을 공급하는 전원부(50); 및 상기 온도조절부(30) 및 전원부(50)를 제어하는 제어부(40); 를 포함하여 이루어지며, 챔버부(10) 내부가 상기 온도조절부(30), 전원부(50) 및 제어부(40)로부터 발생되는 전자기장의 간섭으로부터 배제되도록 상기 유체순환 연결관(20)으로 연결되는 것을 특징으로 한다.
유체항온조, 히터/펠티어소자, 유체순환팬, 전자파 간섭-
公开(公告)号：KR100820311B1
公开(公告)日：2008-04-07
申请号：KR1020060078541
申请日：2006-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R33/02
Abstract: 본 발명은 평행판 전극을 이용한 고전압 발생원 교정용 장치에 관한 것으로서 상세하게는 고전압 발생원의 교정용 장치에 있어서, 일정 넓이와 두께를 가지고 형성된 상부금속판 전극과; 상기 상부금속판과 동일하도록 형성되어 상부금속판 전극과 평행되도록 설치되는 하부 금속판 전극과; 상기 상부,하부 금속판 전극을 고정시키는 이동 받침대와; 상기 하부 금속판 상단에 설치되는 전기장 측정센서와; 상기 상부,하부 금속판에 연결되어 전원을 인가하는 외부전원장치와; 상기 전기장 측정센서에 연결되어 상부,하부 금속판 전극 간의 출력전압을 측정하는 측정장치;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평행판 전극을 이용한 고전압 발생원 교정용 장치에 관한 것이다.
평행판, 측정센서, 고전압, 전기장-
公开(公告)号：KR1020060034474A
公开(公告)日：2006-04-24
申请号：KR1020040083603
申请日：2004-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에 따른 지구자기장 상쇄 장치는 직류 및 시간에 따른 지구자기장의 변화량을 상쇄시켜 정밀한 저자기장을 발생시키고 자기장 변화에 비례하는 주파수의 차이를 이용하여 변화량을 상쇄시킴으로써 응답속도가 빠르고, 안정적으로 동작하는 효과가 있다.
지구자기장, 헬름홀쯔 코일, 위상비교부-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060024486A
公开(公告)日：2006-03-17
申请号：KR1020040073234
申请日：2004-09-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67098 , F04B37/14 , F04B45/02 , H01L21/02266 , H01L21/02274 , H01L21/67201 , H01L21/68742
Abstract: 본 발명은 스퍼터링 챔버와 같은 고온 플라즈마 공정챔버의 초전도 금속막의 물리적 특성의 저하와 포토레지스터층의 열손상을 방지하도록 더 양호한 열적접촉 및 효율적인 열전달을 위한 기판냉각 장치 및 냉각방법에 관한 것으로서, 플라즈마 공정챔버의의 기판냉각장치에 있어서, 일측에 게이트 밸브를 통해 로드락 챔버가 장착된 메인챔버; 메인챔버의 내측 소정 높이에 가로방향으로 고정설치된 냉각판; 메인챔버의 저면 소정위치에 형성된 밀봉대를 통해 수직이동되는 승강장치; 메인챔버 내측에 위치하고 승강장치의 상부에 고정연결된 기판 탑재판; 및 기판 탑재판 상부에 구비된 기판홀더;를 포함하며, 기판 탑재판의 상부면에는 기판홀더와 반도체 웨이퍼가 순차적으로 탑재되고, 메인챔버의 내측 상단 소정위치에 스퍼터링 타겟이 설치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 기판은 부드러운 동판으로 제조된 기판홀더위에 고정되며, 기판홀더는 막증착을 위해 챔버내에 로드되고, 로드된 후에 기판홀더는 챔버내에 설치된 냉매가 순환되는 냉각판의 바닥면에 밀착접촉되도록 상승된다. 기판냉각장치는 단일기판을 가진 챔버 뿐만 아니라 다중기판이 포함되고 제어회전부가 기판의 선택에 사용되는 챔버에도 적용될 수 있다.
메인챔버, 게이트 밸브, 로드락 챔버, 밀봉대, 냉각판, 승강장치, 벨로우즈, 기판 탑재판, 제어회전부, 기판홀더, 기판커버, 반도체 웨이퍼, 스퍼터링 타겟-
公开(公告)号：KR1020050121389A
公开(公告)日：2005-12-27
申请号：KR1020040046504
申请日：2004-06-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R27/02
CPC classification number: G01R33/035 , G01R13/00 , G01R19/165 , H01L39/223
Abstract: 본 발명은 간편하면서도 신속하게 조셉슨 접합소자의 외부 자장에 대한 임계전류 특성을 측정하는 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 조셉슨 접합소자(21) 및 상기 조셉슨 접합소자(21)를 향해 자장을 발생시키는 자장발생용 코일(22)이 내장된 저온유지장치(23); 자장발생용 코일(22)에 전류를 인가하는 전류인가수단, 조셉슨 접합소자(21)에 바이어스 전류를 인가하기 위한 바이어스전류 인가수단, 조셉슨 접합소자(21)의 출력전압에 기초하여 임계전류값을 생성하는 임계전류값 생성수단(31)을 포함하는 검출장치(24); 및 검출장치(24)에 연결되어 검출장치(24)로부터 전송받은 전류자장신호(X신호, 10) 및 바이어스 전류신호(Y신호, 12)에 기초하여 그래프를 표시하고, 전송받은 임계전류값(Z신호, 15)을 그래프 상에 표시하는 표시수단이 제공된다.
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公开(公告)号：KR1019990009238A
公开(公告)日：1999-02-05
申请号：KR1019970031571
申请日：1997-07-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R31/12
Abstract: 내부 회로를 외란(전자장 및 전기장)에 대하여 보호하고 측정하고자 하는 절연저항에 대한 선택 범위를 다양하게 할 수 있도록 개선시킨 절연체의 절연저항 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 휘이스톤 브리지 회로의 대칭된 한 쌍의 제 1 및 제 2 노드 사이에 정전압이 인가되고, 대칭된 다른 한 쌍의 제 3 및 제 4 노드 사이에 전압계가 구성되는 절연체의 절연저항 측정장치에 있어서, 측정하고자 하는 절연체를 제외한 모든 부분이 전자기 차폐 케이스에 내장 구성되고, 상기 제 2 노드와 상기 제 4 노드 사이의 부하에 병렬로 절연체를 연결하기 위한 탐침용 단자가 상기 전자기 차폐 케이스의 외부로 상기 절연체와 연결을 위하여 도출되어 구성된다.
따라서, 절연체를 차폐할 필요가 없고 간단히 기기에 절연체를 접속시킴으로써 절연저항 값의 측정이 이루어지므로 작업성이 향상되고, 신뢰성 있는 측정 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101888663B1
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：KR1020170006405
申请日：2017-01-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명에따른직류전류교정장치는제1 및제2 출력단자들을포함하고, 제1 기준포인트에서교정된제1 미터교정기, 제3 및제4 출력단자들을포함하는제2 미터교정기, 제1 및제3 출력단자들과연결된제1 입력단자및 제2 및제4 출력단자들과연결된제2 입력단자를포함하는디지털멀티미터, 및제1 미터교정기의교정된제1 기준포인트를기반으로제1 및제2 미터교정기들및 디지털멀티미터를복수의상향기준포인트들및 복수의하향기준포인트들에서교정하도록구성되는직류전류교정회로를포함한다.
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公开(公告)号：KR101166506B1
公开(公告)日：2012-07-20
申请号：KR1020110057895
申请日：2011-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A standard voltage output device, a standard voltage output method using the same, and a recording media are provided to minimize influence according to external environment change or usage time. CONSTITUTION: A frequency generation means(110) creates a reference frequency. A frequency transformer(180) receives the standard frequency and creates comparative object frequency. A rotating means(120) revolves based on the comparative object frequency. A conversion mean(130) revolves in response to a rotating frequency of the rotating means. The conversion mean outputs a standard voltage comparing with the rotation of the conversion mean. The conversion mean is synchronized with a frequency and phase of the rotating frequency.
Abstract translation: 目的：提供标准电压输出装置，使用其的标准电压输出方法和记录介质，以最小化根据外部环境变化或使用时间的影响。 构成：频率产生装置（110）产生参考频率。 变频器（180）接收标准频率并产生比较对象频率。 旋转装置（120）基于比较对象频率旋转。 转换平均值（130）响应于旋转装置的旋转频率而旋转。 转换平均值输出与转换平均值的旋转相比的标准电压。 转换平均值与旋转频率的频率和相位同步。
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