Abstract:
본 발명은 자기장을 이용한 전류 및 전력 측정 장치에 관한 것으로, 전원공급장치와 부하 사이에 설치 및 교체 가능한 모듈형 장치로 제작되며, 전원공급장치와 부하 사이에 직렬로 연결되는 코일을 외부 자기장 차폐부로 차폐한 상태에서 코일 속 자기장의 변화를 부하 측으로 공급되는 전류로 환산하고, 환산한 전류를 코일 속 온도 변화에 따라 보상하여 표시하면서 현재 표시하는 전류와 코일의 양단에 걸리는 전압을 근거로 부하 측으로 공급되는 전력을 표시하고, 필요에 따라 현재 표시하는 전류 및 전력을 외부로 무선 전송한다. 본 발명은 전원공급장치와 부하 사이에 설치하는 작업과 교체하는 작업이 용이하다.
Abstract:
본 발명의 자기장 센서는 자성물질을 적어도 일부 포함한 제 1 전극, 비자성물질을 적어도 일부 포함한 제 2 전극, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 위치하고, 접지단에 연결된 공통 전극, 제 1 전극과 제 2 전극에 일단이 연결되고, 공통 전극에 다른 일단이 연결되어 측정을 원하는 주파수 대역의 전원을 공급하는 전원 공급기, 제 1 전극과 전원 공급기 사이의 저항값과 제 2 전극과 전원 공급기 사이의 저항값 중 적어도 하나의 저항값을 제어하는 가변 저항, 및 양의 단자를 통해 제 1 전극에 연결되고, 음의 단자를 통해 제 2 전극에 연결되어 외부로부터 자기장 인가에 따라 제 1 전극에 의해 형성된 제 1 커패시턴스와 제 2 전극에 의해 형성된 제 2 커패시턴스 간의 차이값을 출력하는 차동 증폭기를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 교류전류를 정밀하게 측정하기 위한 단일접합 열전변환기(Single-Junction Thermal Converter)에 관한 발명으로서, 입력전류와 출력전압을 증가시킬 수 있고, 정격입력전류를 사용자가 원하는 값으로 손쉽게 설계할 수 있는 단일접합 열전변환기 및 그 작동방법에 관한 것이다. 본 발명의 일례와 관련된 단일접합 열전변환기는, 측정하고자 하는 교류전류를 입력받는 신호입력부, 상기 신호입력부로부터 교류전류를 전달받아 열을 발생시키는 히터, 상기 히터와 전기적으로 절연되어 있으며, 상기 히터에 의해 발생된 열을 외부로 전달시키는 유리구슬, 상기 유리구슬에 의해 전달된 열을 전압으로 변환시켜 출력하는 열전대 및 상기 히터와 병렬로 연결되어 정격입력전류를 증가시키는 분류기저항을 포함하되, 상기 정격입력전류는 상기 히터와 상기 분류기저항에 공급되는 전류일 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A standard device for correction of a low frequency AC magnetic field measuring device is provided to correct a magnetic field measuring device based on the international standard of magnetic field measurement. CONSTITUTION: A generating unit(100) generates a low frequency magnetic field and the standard voltage used for correction of a magnetic field measuring device. A magnetic field converting unit(200) converts the low frequency magnetic field into an induced voltage by using a conversion factor. A correcting unit(300) includes a voltage comparator, a voltmeter, and a terminal. The correcting unit compares the standard voltage generated in the generating unit and the induced voltage converted in the magnetic field converting unit. The correcting unit calculates a correcting value of the magnetic field measuring device based on a compared result. [Reference numerals] (200) Magnetic field converting unit; (310) Voltage comparator; (320) Voltmeter; (330) Terminal
Abstract:
본 발명은 인터넷을 이용한 각종 디지털 멀티미터의 교정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인터넷 사이트의 정보를 통하여 사용자가 보유한 미터 교정기와 교정 대상기기(디지털 멀티미터)를 선택하면 교정 절차에 대한 모든 정보가 제공되므로 누구나 쉽고 정확하게 교정할 수 있는 것이 특징이다. 예를 들면 PC로 인터넷 사이트에 접속하여 요구하는 정보를 입력하고 회원에 가입한 후 로그인 하는 단계(S10)와; 보유한 미터 교정기 및 이를 통해 교정할 디지털 멀티미터의 종류를 선택하는 단계(S20)와; 보유한 미터 교정기 및 이를 통해 교정할 디지털 멀티미터를 PC에 연결하는 단계(S30)와; 상기 단계(S20)의 선택에 따른 사이트의 해당 교정절차에 따라 디지털 멀티미터의 교정을 실시하는 단계(S40)와; 상기 교정 실시 후 디지털 멀티미터의 교정 불확도를 평가하는 단계(S50)와; 교정 성적서 작성 및 교부하는 단계(S60)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인터넷을 이용한 디지털 미터의 교정방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 온도를 일정하게 유지하는 유체항온조에 관한 것으로 항온조의 구성요소인 히터/펠티어소자, 유체순환 팬, 그리고 전원공급장치 등의 전자기장 발생요소를 챔버부로부터 분리하여 항온조 챔버부 내에서는 전자기장에 의한 간섭이 배제되도록 하는 전자기장 간섭이 없는 유체항온조에 관한 것이다. 본 발명의 전자기장 간섭이 없는 유체항온조는 유체가 유입 및 배출되며 유입 및 배출되는 유체의 온도를 측정하는 온도센서(14,17a,17b)가 구비된 챔버부(10); 상기 챔버부(10)와 연결되며 상기 챔버부(10)로의 유체순환이 이루어지도록 하는 유체순환 연결관(20); 상기 유체순환 연결관(20)과 연결되며 상기 온도센서(14,17a,17b)의 측정온도에 따라 상기 챔버부(10)로 유입 및 배출되는 유체의 온도가 항온상태를 유지하도록 제어하는 온도조절부(30); 상기 온도조절부(30)에 전원을 공급하는 전원부(50); 및 상기 온도조절부(30) 및 전원부(50)를 제어하는 제어부(40); 를 포함하여 이루어지며, 챔버부(10) 내부가 상기 온도조절부(30), 전원부(50) 및 제어부(40)로부터 발생되는 전자기장의 간섭으로부터 배제되도록 상기 유체순환 연결관(20)으로 연결되는 것을 특징으로 한다. 유체항온조, 히터/펠티어소자, 유체순환팬, 전자파 간섭
Abstract:
본 발명에 따른 지구자기장 상쇄 장치는 직류 및 시간에 따른 지구자기장의 변화량을 상쇄시켜 정밀한 저자기장을 발생시키고 자기장 변화에 비례하는 주파수의 차이를 이용하여 변화량을 상쇄시킴으로써 응답속도가 빠르고, 안정적으로 동작하는 효과가 있다. 지구자기장, 헬름홀쯔 코일, 위상비교부
Abstract:
본 발명은 스퍼터링 챔버와 같은 고온 플라즈마 공정챔버의 초전도 금속막의 물리적 특성의 저하와 포토레지스터층의 열손상을 방지하도록 더 양호한 열적접촉 및 효율적인 열전달을 위한 기판냉각 장치 및 냉각방법에 관한 것으로서, 플라즈마 공정챔버의의 기판냉각장치에 있어서, 일측에 게이트 밸브를 통해 로드락 챔버가 장착된 메인챔버; 메인챔버의 내측 소정 높이에 가로방향으로 고정설치된 냉각판; 메인챔버의 저면 소정위치에 형성된 밀봉대를 통해 수직이동되는 승강장치; 메인챔버 내측에 위치하고 승강장치의 상부에 고정연결된 기판 탑재판; 및 기판 탑재판 상부에 구비된 기판홀더;를 포함하며, 기판 탑재판의 상부면에는 기판홀더와 반도체 웨이퍼가 순차적으로 탑재되고, 메인챔버의 내측 상단 소정위치에 스퍼터링 타겟이 설치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 기판은 부드러운 동판으로 제조된 기판홀더위에 고정되며, 기판홀더는 막증착을 위해 챔버내에 로드되고, 로드된 후에 기판홀더는 챔버내에 설치된 냉매가 순환되는 냉각판의 바닥면에 밀착접촉되도록 상승된다. 기판냉각장치는 단일기판을 가진 챔버 뿐만 아니라 다중기판이 포함되고 제어회전부가 기판의 선택에 사용되는 챔버에도 적용될 수 있다. 메인챔버, 게이트 밸브, 로드락 챔버, 밀봉대, 냉각판, 승강장치, 벨로우즈, 기판 탑재판, 제어회전부, 기판홀더, 기판커버, 반도체 웨이퍼, 스퍼터링 타겟
Abstract:
본 발명은 간편하면서도 신속하게 조셉슨 접합소자의 외부 자장에 대한 임계전류 특성을 측정하는 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 조셉슨 접합소자(21) 및 상기 조셉슨 접합소자(21)를 향해 자장을 발생시키는 자장발생용 코일(22)이 내장된 저온유지장치(23); 자장발생용 코일(22)에 전류를 인가하는 전류인가수단, 조셉슨 접합소자(21)에 바이어스 전류를 인가하기 위한 바이어스전류 인가수단, 조셉슨 접합소자(21)의 출력전압에 기초하여 임계전류값을 생성하는 임계전류값 생성수단(31)을 포함하는 검출장치(24); 및 검출장치(24)에 연결되어 검출장치(24)로부터 전송받은 전류자장신호(X신호, 10) 및 바이어스 전류신호(Y신호, 12)에 기초하여 그래프를 표시하고, 전송받은 임계전류값(Z신호, 15)을 그래프 상에 표시하는 표시수단이 제공된다.