-
公开(公告)号：KR101052209B1
公开(公告)日：2011-08-01
申请号：KR1020080115507
申请日：2008-11-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R19/155
Abstract: 본 발명은 음의 가변 바이어스 저항을 갖는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스 및 그 바이어스를 이용한 프로그레머블 조셉슨 어레이 전압측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 프로그레머블 조셉슨 어레이의 전압파형을 얻기 위해 작동점을 결정하는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스에 있어서, 조절 가능한 바이어스 전압과 프로그레머블 조셉슨 어레이에서 형성된 전압전류 특성의 전압을 공급받아 음의 가변 바이어스 저항을 통하여 바이어스 전류를 발생시켜 프로그레머블 조셉슨 어레이에 공급하는 전압전류변환기; 및 전압전류 특성의 전압을 전압전류변환기에 공급하는 OP앰프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 음의 가변 출력저항을 갖는 프로그레머블 조셉슨 어레이 바이어스이다.
프로그레머블 조셉슨 어레이, 전압전류 변환기, 바이어스, 음의 가변 바이어스 저항, PJA 전압전류 특성, 바이어스 전류의 로드라인, 작동점, PJA 전압파형-
公开(公告)号：KR100968896B1
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：KR1020080013787
申请日：2008-02-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R27/26
Abstract: 본 발명은 복소 전기용량 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 크기 및 위상이 다른 두 개의 독립적인 가변전압원과 저항을 이용하여 브릿지 법에 의해 복소 전기용량을 측정하는 복소 전기용량 측정 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은 브릿지 법에 의한 복소 전기용량 측정 장치에 있어서, 전압이 인가되는 제 1 가변전압수단 및 제 2 가변전압수단, 저항, 및 전기용량이 측정되는 커패시터의 순으로 직렬 연결되어 폐루프를 형성하며 상기 제 1 가변전압수단 및 제 2 가변전압수단의 사이와 상기 저항 및 커패시터 사이에 병렬 연결되는 탐지수단을 포함하여 구성되는 특징이 있다.
커패시턴스, 전기용량, 위상, 브릿지-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100011062A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020080072110
申请日：2008-07-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A fluid thermostat without electro-magnetic interference is provided to exclude the electro-magnetic interference by separating a power part and a temperature control part generating an electromagnetic field with a chamber part. CONSTITUTION: A fluid thermostat without electro-magnetic interference comprises the following: a chamber part(10) with a temperature sensor measuring temperature of fluid and discharging the fluid; a fluid circulation connection pipe(20) connected to a chamber part and circulating the fluid; a temperature adjusting part(30) controlling a thermostat state of the fluid; a power part(50) supplying power to the temperature adjusting part; and a control part(40) controlling the temperature adjusting part and the power part.
Abstract translation: 目的：提供无电磁干扰的流体恒温器，通过分离功率部件和产生电磁场的温度控制部件与腔室部件来排除电磁干扰。 构成：没有电磁干扰的流体恒温器包括：具有测量流体温度并排出流体的温度传感器的室部分（10） 流体循环连接管（20），连接到腔室部分并使流体循环; 控制流体的恒温状态的温度调节部（30） 功率部件（50），其向所述温度调节部供电; 以及控制温度调节部和功率部的控制部（40）。
-
公开(公告)号：KR1020100010200A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：KR1020080071082
申请日：2008-07-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R27/00
CPC classification number: G01R27/26 , G01R19/0084 , H02M7/02
Abstract: PURPOSE: An input impedance evaluation apparatus of an AC-DC converter and an evaluation method thereof are provided to precisely measure low voltage AC by additionally comprising a load resistance between a low voltage measuring standard device and a low voltage AC-DC converter. CONSTITUTION: A low voltage measuring standard device(30) changes AC voltage to DC voltage. A converter(50), to be measured, is connected to the output side of the low voltage measuring standard device. Voltage meters(10,20) measure the output DC voltage of the low voltage measuring standard device and the converter. The load resistance is produced between the low voltage measuring standard device and the converter.
Abstract translation: 目的：提供一种AC-DC转换器的输入阻抗评估装置及其评估方法，通过另外包括低电压测量标准装置和低压AC-DC转换器之间的负载电阻来精确测量低压AC。 构成：低电压测量标准装置（30）将交流电压改变为直流电压。 要测量的A转换器（50）连接到低压测量标准装置的输出侧。 电压表（10,20）测量低压测量标准装置和转换器的输出直流电压。 在低压测量标准器件和转换器之间产生负载电阻。
-
公开(公告)号：KR100631822B1
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020040073234
申请日：2004-09-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 스퍼터링 챔버와 같은 고온 플라즈마 공정챔버의 초전도 금속막의 물리적 특성의 저하와 포토레지스터층의 열손상을 방지하도록 더 양호한 열적접촉 및 효율적인 열전달을 위한 기판냉각 장치 및 냉각방법에 관한 것으로서, 플라즈마 공정챔버의의 기판냉각장치에 있어서, 일측에 게이트 밸브를 통해 로드락 챔버가 장착된 메인챔버; 메인챔버의 내측 소정 높이에 가로방향으로 고정설치된 냉각판; 메인챔버의 저면 소정위치에 형성된 밀봉대를 통해 수직이동되는 승강장치; 메인챔버 내측에 위치하고 승강장치의 상부에 고정연결된 기판 탑재판; 및 기판 탑재판 상부에 구비된 기판홀더;를 포함하며, 기판 탑재판의 상부면에는 기판홀더와 반도체 웨이퍼가 순차적으로 탑재되고, 메인챔버의 내측 상단 소정위치에 스퍼터링 타겟이 설치된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 기판은 부드러운 동판으로 제조된 기판홀더위에 고정되며, 기판홀더는 막증착을 위해 챔버내에 로드되고, 로드된 후에 기판홀더는 챔버내에 설치된 냉매가 순환되는 냉각판의 바닥면에 밀착접촉되도록 상승된다. 기판냉각장치는 단일기판을 가진 챔버 뿐만 아니라 다중기판이 포함되고 제어회전부가 기판의 선택에 사용되는 챔버에도 적용될 수 있다.
메인챔버, 게이트 밸브, 로드락 챔버, 밀봉대, 냉각판, 승강장치, 벨로우즈, 기판 탑재판, 제어회전부, 기판홀더, 기판커버, 반도체 웨이퍼, 스퍼터링 타겟Abstract translation: 本发明涉及一种用于高温等离子体处理室中，有效的热传递超导金属膜的更好的热接触和衬底冷却装置和冷却方法，例如溅射室，以便防止对降解的热损伤和物理性质的光致抗蚀剂层，等离子体处理 1。一种腔室用基板冷却装置，其特征在于，包括：主腔室，其具有通过闸阀安装在其一侧的负载锁定腔室; 横向固定于主室的预定内部高度的冷却板; 提升装置垂直移动通过形成在主腔室的底表面上的预定位置处的密封条; 基板安装板，其位于所述主室内并固定连接至所述升降装置的上部; 和具有安装板部的基板支架上的基板;其中，所述基板安装板的上表面上设置有衬底保持器，并放置在序列中的半导体晶片，其特征在于，设置在所述主腔室的上部预定位置内的溅射靶。 根据本发明，将基板固定由软铜板的衬底保持器上，所述衬底保持器被装载到室中的膜沉积，之后装入的衬底保持器是在与在所述制冷剂被安装在室内循环的冷板的底表面紧密接触 以便接触。 该基板冷却装置不仅可应用于具有单一基板的腔室，而且还可应用于其中容纳多个基板的腔室，并且控制旋转单元用于选择基板。
-
公开(公告)号：KR100630447B1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR1020040091660
申请日：2004-11-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G05F1/46
Abstract: 본 발명은 피드백을 이용한 직류전류원의 안정화장치에 관한 것이다. 이를 위해, 소정의 전류를 출력하는 메인 전류원(32); 일단이 메인 전류원(32)의 출력측과 연결된 부하저항(34); 미리 교정된 복수의 표준저항으로 이루어진 복수의 전류감지저항(42); 부하저항(34)에 의해 전압강하된 전류(I
R )를 복수의 전류감지저항(42)중 하나로 전송하기 위한 선택스위치(36); 소정의 전압을 기준전압으로 출력하는 전압표준수단; PJVS 어레이(40)의 기준전압과 상기 부하저항(34)측 출력전압을 비교하여 전압차를 출력하는 디텍터(38); 및 디텍터(38)의 전압차를 피드백하여 소정의 전류로 변환한 뒤 상기 부하저항(34)의 일단으로 출력하는 전압-전류변환기(30); 으로 구성되고, 메인 전류원(32)의 입력측, 전류감지저항(42)의 타단 및 PJVS 어레이(40)의 입력측은 상호 전기적으로 연결되어 있는 것이 제공된다.
프로그램어블 조셉슨 전압표준, 고전류 기준원, 전압표준, 가역 열기전력, 피드백, 전류 안정화-
公开(公告)号：KR100608110B1
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：KR1020040083603
申请日：2004-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에 따른 지구자기장 상쇄 장치는 직류 및 시간에 따른 지구자기장의 변화량을 상쇄시켜 정밀한 저자기장을 발생시키고 자기장 변화에 비례하는 주파수의 차이를 이용하여 변화량을 상쇄시킴으로써 응답속도가 빠르고, 안정적으로 동작하는 효과가 있다.
지구자기장, 헬름홀쯔 코일, 위상비교부
-
-
-
-
-
-
Search Results
37
records
(took 0.021 seconds)
