公开(公告)号：CN1610110A

公开(公告)日：2005-04-27

申请号：CN200410083702.7

申请日：2004-10-14

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 赵兴烈 ,  柳洵城 ,  安炳喆

IPC: H01L27/02 ,  H01L21/82 ,  G02F1/136

CPC classification number: G02F1/136227 ,  G02F1/136213 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1255 ,  H01L27/1288

Abstract: 本发明公开了一种按三轮掩模工序制造薄膜晶体管(TFT)基板的方法。在第一掩模工序中形成栅极线和栅极。在第二掩模工序中用栅极绝缘膜，非掺杂和掺杂的非晶硅层和数据金属层形成数据线，源极，漏极，半导体层和与栅极线重叠的第一上存储电极。在第三掩模工序中形成在像素区内、外贯穿保护膜和栅极绝缘膜的像素孔，局部去除第一上存储电极，像素电极在像素区上的像素孔内接触到漏极的侧面，而第二上存储电极在像素区外的像素孔内接触到第一上存储电极的侧面。

公开(公告)号：CN1607443A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN200410083704.6

申请日：2004-10-14

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 柳洵城 ,  张允琼 ,  南承熙

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  G02F1/1335 ,  H01L21/00

CPC classification number: G02F1/1362 ,  G02F2001/136231

Abstract: 一种液晶显示面板器件，包括：薄膜晶体管阵列基板，其具有设在基板上的栅极线，与所述栅极线相交的数据线，且在所述栅极线与数据线之间设有栅极绝缘图案用以确定像素区域，设在所述栅极线与数据线之间交叉点处的薄膜晶体管，用来保护所述薄膜晶体管的保护膜；设在所述像素区域处且连接到所述薄膜晶体管的像素电极，连接到所述栅极线且由包含在所述栅极线内的透明导电膜形成的栅极焊盘；以及连接到所述数据线且由所述透明导电膜形成的数据焊盘；与所述薄膜晶体管阵列基板结合且彼此相对的滤色片阵列基板；其中所述保护膜设置在薄膜晶体管阵列基板与所述滤色片阵列基板相重叠的区域，以暴露包含在所述栅极焊盘和所述数据焊盘内的所述透明导电膜。

公开(公告)号：CN1607432A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN200410083701.2

申请日：2004-10-14

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 南承熙 ,  柳洵城 ,  张允琼 ,  赵兴烈

IPC: G02F1/1335 ,  G02F1/136 ,  G02F1/133 ,  H01L29/786 ,  H01L21/00 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02F1/136204 ,  G02F1/1345 ,  G02F2001/136231 ,  H01L27/0296 ,  H01L27/1244 ,  H01L27/1288

Abstract: 本发明公开了一种基板，该基板具有交叉的、中间是栅极绝缘膜的栅极和数据线，设置在栅极和数据线交叉点上的薄膜晶体管，连接到晶体管的像素电极，通过接触孔连接到信号线并且包含有透明导电膜的焊盘，以及与滤色片阵列基板重叠并暴露出该膜的保护膜。所述接触孔暴露出焊盘和/或信号线的端部及其相邻区域。栅极、源极和漏极以及接触电极分别由第一、第二和第三导电层形成。接触孔暴露出一个晶体管的第一导电层和另一晶体管的第二导电层的相邻部分。接触电极连接暴露的第一和第二导电层。制造这种基板仅仅需要三轮掩模工序。

公开(公告)号：CN1512253A

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN200310116032.X

申请日：2003-12-29

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 柳洵城 ,  张允琼 ,  南承熙 ,  赵兴烈

IPC: G02F1/1362 ,  G02F1/1343 ,  G03F7/00 ,  H01L29/786 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214

Abstract: 一种液晶显示装置的制造方法，包括以下步骤：通过第一掩模处理过程，在第一基板上形成一栅极线、一栅极焊盘和一栅极；通过第二掩模处理过程，在包括栅极线、栅极焊盘和栅极的第一基板上形成一数据线、一数据焊盘、一源极、一漏极和一有源层；通过第三掩模处理过程，在包括数据线、数据焊盘、源极和漏极的第一基板上形成一象素电极和一数据焊盘端子；在包括象素电极和数据焊盘端子的第一基板的整个表面上形成一钝化层；将包括钝化层的第一基板与第二基板相粘接，其中由第二基板露出包括栅极焊盘的栅极焊盘部分和包括数据焊盘的数据焊盘部分；为第一基板与第二基板之间的间隙中提供液晶材料；以及去除第二基板所暴露的栅极焊盘部分和数据焊盘部分中的钝化层。