光阻涂布设备及光阻涂布方法

    公开(公告)号:CN104511388A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201410836654.8

    申请日:2014-12-29

    Inventor: 王松 林佳龙

    Abstract: 本发明公开一种光阻涂布设备,包括工作台、喷嘴、喷嘴驱动装置、检测装置及控制器,待涂布的基板放置于所述工作台上,所述喷嘴驱动装置用于驱动所述喷嘴在所述工作台上的基板上方移动,所述喷嘴横跨所述基板,所述检测装置横跨所述基板且平行于所述喷嘴,所述检测装置用于检测所述基板表面凹凸起伏变化并计算出所述喷嘴与基板之间的间隙变化曲线,所述控制器根据所述检测装置计算出的所述间隙变化曲线控制所述喷嘴驱动装置,使得所述喷嘴驱动装置带动所述喷嘴移动,且按照所述间隙变化曲线调整所述喷嘴与所述基板之间的垂直距离。本发明还公开一种光阻涂布方法。能够使得涂布后的膜厚均匀一致,有助于液晶显示器件的性能的提升。

    用于制造圆筒构件的方法
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103143486B

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201210517830.2

    申请日:2012-12-05

    Inventor: 铃木健

    CPC classification number: B05D1/18 B05C5/0241 B05D1/002 B05D1/26 Y10S118/11

    Abstract: 用于制造圆筒构件的方法。本发明具有以下目的:提供用于制造多个高品质的圆筒构件的方法。该方法包括:以与环状缝的中心轴线同轴的方式竖直地保持芯轴;以及在使芯轴竖直地向上移动的同时经由缝排出液体涂料,以在芯轴的表面形成涂料的膜。圆形的清洁刮板能转动地绕着下保持轴安装。所述步骤依次包括以下步骤:(1)使涂料的膜形成至芯轴的涂布区域,直至涂布区域的下端,然后停止排出涂料;以及(2)使下保持轴向上移动,使得清洁刮板经过环状缝以清洁环状缝。然后,清洁刮板转动以清洁清洁刮板。

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