公开(公告)号：CN105392733B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201480030847.2

申请日：2014-05-26

Applicant: 弗朗霍夫应用科学研究促进协会

Inventor： 尼古拉斯·兰格 ,  弗兰克·维普曼

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058

Abstract: 本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分

公开(公告)号：CN105594114A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480054282.1

申请日：2014-09-08

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 藁科祯久

IPC: H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G01J3/26 ,  G02B6/29395 ,  G02B26/001 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/008

Abstract: 光学模块(1A)包括：半导体基板(2)；静电致动器(10)，其具有固定部(11)和可动部(12)，该固定部(11)固定在半导体基板(2)，该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动；第一弹簧部(20)，其与可动部(12)连接，具有第一弹簧常数K1；第二弹簧部(30)，其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间，具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2；可动反射镜(5)，其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件，由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

公开(公告)号：CN105392733A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201480030847.2

申请日：2014-05-26

Applicant: 弗朗霍夫应用科学研究促进协会

Inventor： 尼古拉斯·兰格 ,  弗兰克·维普曼

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: H02N1/006 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058

Abstract: 本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。

公开(公告)号：CN104335339A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380027965.3

申请日：2013-05-01

Applicant: 勒克斯维科技公司

Inventor： A·比布尔 ,  J·A·希金森 ,  胡馨华

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/50 ,  B65G49/07

CPC classification number: B41J2/385 ,  B25J15/0052 ,  B25J15/0085 ,  B41J2/39 ,  B81B2201/038 ,  B81C99/002 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/6835 ,  H01L24/75 ,  H01L24/83 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0753 ,  H01L33/0079 ,  H01L2221/68322 ,  H01L2221/68354 ,  H01L2221/68363 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/29036 ,  H01L2224/29101 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/7565 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2224/83815 ,  H01L2224/83855 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明公开了顺应性的微型器件转移头部和头部阵列。在一个实施例中，微型器件转移头部包括弹簧部分，该弹簧部分可挠曲到位于基部衬底和弹簧部分之间的空间中。

公开(公告)号：CN103227203A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310030301.4

申请日：2013-01-25

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 朱文娟

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/06 ,  H01L21/336 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01L29/78606 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B82Y30/00 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66045 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/78648 ,  H01L29/78684

Abstract: 本发明涉及用悬置石墨烯膜形成的纳米器件。使用在半导体结构的开放腔之间悬置的石墨烯膜构造诸如纳米探针和纳米刀器件的半导体纳米器件。所述悬置的石墨烯膜用作机电膜，所述机电膜可被制造为非常薄，厚度为一个原子或数个原子的厚度，从而极大地提高了半导体纳米探针和纳米刀器件的灵敏度和可靠度。

公开(公告)号：CN102956810A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210269364.0

申请日：2012-07-31

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金载兴

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/27

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/053

Abstract: 本发明提供一种电容式传感器及其制造方法和操作方法。该电容式传感器包括：第一掺杂区；第二掺杂区，具有与第一掺杂区相反的导电性并包括第一振动部分；以及空置空间，设置在第一掺杂区与第一振动部分之间，其中第一和第二掺杂区是整体的。该振动部分包括多个通孔，并且用于密封多个通孔的材料膜设置在振动部分上。

公开(公告)号：CN102342013A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201080010240.X

申请日：2010-05-26

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 高桥功

IPC: H02N11/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0118 ,  F03G7/005 ,  Y10S310/80

Abstract: 以提供一种即使离子从电极层表面渗出时也能够使高分子促动器的电极层和端子部之间的导通性良好的高分子促动器装置为目的。该高分子促动器装置具有：高分子促动器(10)，具有电解质层(11)及设置在电解质层(11)的厚度方向的两面上的一对电极层(12)、(13)，当在所述一对电极层之间付与电压时弯曲；以及端子部(16)、(17)，用于向所述高分子促动器(10)付与电压，所述高分子促动器(10)具有变形部(18)和支承部(14)，在作为所述高分子促动器(10)的所述支承部(14)的负极侧的第一电极层(12)和端子部(16)之间夹着导电性多孔材料(20)。

公开(公告)号：CN102323665A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201110265538.1

申请日：2006-02-23

Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司

Inventor： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩

IPC: G02B26/02 ,  G09G3/34

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。

公开(公告)号：CN100573682C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200610121480.2

申请日：2006-08-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴弘植 ,  洪承范 ,  沈钟烨

IPC: G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G12B21/20 ,  H01F41/00 ,  G01N13/10

CPC classification number: H02K41/0354 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/11 ,  B81B2203/051 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1436 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明公开了一种包括介质平台的微致动器的制造方法，所述介质平台具有介质承载平台和用于驱动所述介质平台的线圈，所述线圈形成于所述介质平台与所述介质承载表面相对的表面上，所述方法包括：在第一基底的第一表面上形成凹槽；在第二基底的第一表面上形成线圈；接合所述第一基底的第一表面和所述第二基底的第一表面；在所述第二基底的第二表面上形成所述介质承载表面，所述介质承载表面与所述第二基底的第一表面相对。

公开(公告)号：CN1694842A

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN01817746.8

申请日：2001-10-19

Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司

Inventor： 乔治·约翰·麦克沃依 ,  卡·西尔弗布鲁克

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  B41J2/045 ,  H02N10/00

CPC classification number: B81C99/006 ,  B41J2/14427 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/038 ,  F03G7/06 ,  F05C2203/0813 ,  F05C2203/083 ,  F05C2251/04 ,  F05C2251/044 ,  F05C2251/046 ,  H01H1/0036 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: 本发明涉及热弹性制动器设计，该制动器包括一个膨胀元件，该膨胀合元件可以由根据下列程序选出，该程序涉及推导每一个应用的材料的潜在效率的一个指标。这个指标从下列公式中推导出：εγ=Eγ2T/ρC，在此，E是材料的杨氏模量，γ是热膨胀系数，T是工作的最高温度值，ρ是密度，C是比热。元件的材料可以由从下列组中选出的任何功能上合适的合金材料或者合金材料的化合物制成：钛、钽、钼、铌、铬、钨、钒和锆的硼化物、硅化物、碳化物以及氮化物。