-
公开(公告)号:CN108873623A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201810873364.9
申请日:2014-06-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70033 , G01J1/0407 , G01J1/0418 , G01J1/26 , G01J1/429 , G02B1/06 , G02B5/205 , G02B26/023 , G03F7/70008 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/7085 , G21K1/10 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/0903 , H05H7/04
Abstract: 一种图案化光刻衬底的方法,该方法包括使用自由电子激光器(FEL)以产生EUV辐射并且输送EUV辐射至将EUV辐射投影至光刻衬底上的光刻设备(LA),其中该方法进一步包括通过使用基于反馈的控制回路(CT)以监测自由电子激光器并相应地调整自由电子激光器的操作从而减少输送至光刻衬底的EUV辐射功率的波动。
-
公开(公告)号:CN108398810A
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201710182916.7
申请日:2017-03-24
Applicant: 和升眼镜企业股份有限公司
Inventor: 吴乃明
CPC classification number: G02C7/104 , G01J1/0407 , G02B7/02 , G02C7/108
Abstract: 本发明是提供一种防眩光消散光学镜片,供将一入射光线调整为一出射光线,使得出射光线的波长为入射光线之波长的一部份,防眩光消散光学镜片包含一光学载体与多个开孔。光学载体具有一入射面与一出射面。入射面与出射面之间形成一容置空间。其中,入射面与出射面相距一距离。这些开孔形成在光学载体的容置空间。这些开孔形成一光通道,且这些开孔彼此相距一孔距。其中,入射光线自入射面入射至容置空间时,这些光通道滤除入射光线中部分的波长以在出射面输出出射光线。
-
公开(公告)号:CN106104232B
公开(公告)日:2018-03-20
申请号:CN201580012258.6
申请日:2015-02-24
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: G01J1/0407 , G01J1/4204 , G01J1/4228 , G01J1/429 , G01J1/44 , G01J2001/446 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14647 , H01L31/02162 , H01L31/1013
Abstract: 本发明以低成本提供能够检测出规定的波长区域的光的强度的受光器。该受光器具备:具有彼此相同的光谱灵敏度特性的第一受光元件(PD1)和第二受光元件(PD2);和UV截止滤光片(11),透过UV截止滤光片(11)的光入射至第一受光元件(PD1),具备计算第一受光元件(PD1)的光电流与第二受光元件(PD2)的光电流的差值的减法器。
-
公开(公告)号:CN107771272A
公开(公告)日:2018-03-06
申请号:CN201680032067.0
申请日:2016-05-03
Applicant: 首尔伟傲世有限公司
CPC classification number: G01J1/429 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J1/4228 , G01J1/44 , G01J3/50 , G01J2001/4413 , G01R19/165 , G01R19/257 , G02B6/32 , G02B6/42 , H01L23/60 , H01L25/042 , H01L25/167 , H01L27/1443 , H01L31/02019 , H01L31/0203 , H01L31/024 , H01L31/03048 , H01L31/0392 , H01L31/108 , H01L31/1085
Abstract: 本发明公开一种紫外线测定装置、光检测元件、紫外线检测器、紫外线指数计算装置以及包括这些的电子装置便携式终端。根据本发明的紫外线测定装置包括:基板,形成有电极;读出集成电路部(ROIC),位于所述基板内,并电连接于所述电极;以及基于氮化镓铝(AlGaN)的UVB检测传感器,位于所述读出集成电路部的上部而电连接于所述读出集成电路部,且形成于蓝宝石基板等绝缘性基板上,其中,在所述基板的所述UVB检测传感器对应面形成透明材质的透光窗,所述读出集成电路部处理所述UVB检测传感器的输出信号,并且UVB检测传感器与所述读出集成电路部可构成为通过接合而具有一体型结构。
-
公开(公告)号:CN107271057A
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201710040480.8
申请日:2017-01-19
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G01J9/02
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B9/02087 , G01B2290/30 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0422 , G01J1/0437 , G01J5/024 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0809 , H01L31/00 , G01J9/02 , G01J2009/0211
Abstract: 本申请提供一种光检测装置以及光检测系统。本公开的一形态所涉及的光检测装置具备:光检测器,包含沿着主面配置的多个第1检测器以及多个第2检测器;光耦合层,配置在所述光检测器上或者上方;以及遮光膜,配置在所述光耦合层上。所述光耦合层包含:第1低折射率层;第1高折射率层,配置在所述第1低折射率层上,包含第1光栅;以及第2低折射率层,配置在所述第1高折射率层上。所述遮光膜包含:透光区域、以及与所述透光区域相邻的遮光区域。所述透光区域与所述多个第1检测器中包含的两个以上的第1检测器对置,所述遮光区域与所述多个第2检测器中包含的两个以上的第2检测器对置。
-
公开(公告)号:CN103988062B
公开(公告)日:2017-09-22
申请号:CN201280061305.2
申请日:2012-11-16
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J1/0411 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/0437 , G01J5/0025 , G01J5/02 , G01J5/0235 , G01J5/06 , G01J5/0806 , G01J5/0831
Abstract: 一种红外传感器包括:红外检测装置;透镜,设置在红外检测装置的前方;光圈,所述光圈设置在所述透镜的红外线入射表面侧,包括限定了透镜中的红外透射区域的开口;以及间隙层,所述间隙层插入到光圈和透镜之间,并且具有比开口宽的范围。
-
公开(公告)号:CN107063454A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201610950713.3
申请日:2011-06-30
Applicant: 新港公司
Inventor: 杰米·纳普
CPC classification number: G02B6/2938 , G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J3/02 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/36 , G01J3/51 , G01J3/513 , G01J2001/061 , G02B6/12007 , G02B6/29394 , G02B27/1006 , G02B27/141 , G02B27/145 , G02B2006/12109 , G02B2006/12164 , H04J14/02 , H04J14/0209 , H04Q2011/0016
Abstract: 本发明论述多路分解系统和方法,其可以是小型化的并且精确的,无需移动部件。在一些情况中,多路分解实施例可以包括滤光片腔体,所述滤光片腔体包括滤光片挡板和支撑挡板,可以配置这些挡板以最小化杂散光信号检测和串扰。多路分解组合件实施例中的一些还可以被配置用于有效地检测U.V.光信号并且至少部分地补偿随光信号波长而变的检测器响应度的变化。
-
公开(公告)号:CN104781640B
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201380059113.2
申请日:2013-12-11
CPC classification number: G01J1/0411 , G01J1/02 , G01J1/0214 , G01J1/0271 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/08 , G01S7/4813 , G01S17/026 , G01V8/20 , G02B3/00 , G02B19/0014 , G02B19/0047 , G02B19/0076
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光电传感器用透镜,在使用多个发光元件来形成反射型光电传感器的情况下,能够以简单的构造通过发光元件尽可能地提高辐照效率。该光电传感器用透镜将来白收容在单元壳体(1)内的多个发光元件(2)的照射光聚光于单元壳体(1)外的检测区域(3),并将来自该检测区域(3)的反射光聚光于所述单元壳体(1)内的受光元件(4),该光电传感器用透镜将其一面侧由单一凸透镜面(5)形成,并且在所述一面的对置面上一体地形成光轴与所述单一凸透镜面(5)共用的受光用凸透镜面(6)、以及具有与该受光用凸透镜面(6)的光轴平行的光轴的多个投光用凸透镜面(7)。
-
公开(公告)号:CN104614789B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201510086865.9
申请日:2015-02-23
Applicant: 司普若光学有限公司
Inventor: 卡斯滕·斯特尔
CPC classification number: G02B17/086 , G01J1/0204 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/4257 , G02B3/0037 , G02B3/005 , G02B3/0056 , G02B3/0068 , G02B13/0055 , G02B17/002 , G02B19/0028 , G02B27/0961 , G02B27/108 , G02B27/126
Abstract: 本发明涉及具有至少一个物侧和至少一个像侧折射表面(17,18)的透镜(1)。为了在无需用于将光耦合出去的附加部件的情况下确定通过透镜(1)传播的有效光通量(16)的光强度,依照本发明,透镜(1)包括布置在物侧与像侧折射表面(17,18)之间且与光轴(2)倾斜地调整的反射表面(5)。
-
公开(公告)号:CN104011516B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201180075886.0
申请日:2011-12-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J1/4257 , G01J1/0407 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0429 , G01J1/0448 , G01J1/0474 , G01J1/22
Abstract: 光分离器(3)配置在绕由透镜(2)聚光的激光的光轴(6)旋转了规定的角度(θ1)、并且绕与激光的光轴(6)以及激光的入射面垂直的直线(9)旋转了规定的角度(θ2)的位置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-