公开(公告)号：EP0862190A3

公开(公告)日：1999-06-02

申请号：EP98201051.4

申请日：1993-10-27

Applicant: MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD.

Inventor： Tomonari, Shigeaki ,  Sakai, Jun ,  Aizawa, Kouichi ,  Kakite, Keizi ,  Awai, Takayoshi ,  Nakamura, Takuro ,  Ishida, Takuro ,  Ichihara, Tsutomu ,  Yoshida, Hitoshi ,  Takami, Shigenari ,  Sumi, Sadayuki

IPC: H01C7/00

CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  H01C7/021

Abstract: A thermistor comprising an amorphous alloy semiconductor thin film, a single element semiconductor thin film, wherein the amorphous alloy semiconductor thin film held between the lower and upper single element semiconductor thin film.

Abstract translation: 红外线检测装置包括：红外线检测元件（10），其具有隔热膜（13）和红外线检测器（14），所述红外线检测元件设置在所述元件的气密密封外壳（18）的内部空间和空腔 ）形成在所述元件的衬底（12）内并且通过通风机（19）与所述内部空间（17）连通。 在该结构的红外线检测装置中，能够显着有效地降低内部空间与空腔之间的任何气体压力差，以获得非常优异的灵敏度。

公开(公告)号：US20230314232A1

公开(公告)日：2023-10-05

申请号：US18110364

申请日：2023-02-15

Applicant: InnoLux Corporation

Inventor： Chin-Lung TING ,  Te-Yu LEE ,  Yu-Tsung LIU

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/08

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J5/0853 ,  G01J2005/103

Abstract: The present disclosure provides a sensing device including a substrate and a sensing pixel. The sensing pixel is disposed on the substrate and includes an electrode and a thermistor. The thermistor is electrically connected to the electrode and is separated from the substrate by an air gap. When the sensing pixel is operated in a period, the electrode receives a voltage, and a part of the thermistor moves toward the substrate, such that the thermistor is in thermal conduction with the substrate.

公开(公告)号：US20230255114A1

公开(公告)日：2023-08-10

申请号：US18070505

申请日：2022-11-29

Applicant: Sumitomo Electric Industries, Ltd.

Inventor： Kyohei KAKUYAMA ,  Kotaro HIROSE ,  Masahiro ADACHI

IPC: H10N10/17 ,  G01J5/14

CPC classification number: H01L35/32 ,  G01J5/14 ,  G01J2005/103

Abstract: An optical sensor includes a support film, a thermoelectric conversion material portion, a heat sink, a light absorption film, a first electrode, and a second electrode. The thermoelectric conversion material portion includes a plurality of first material layers and a plurality of second material layers. The support film includes a first layer arranged on the heat sink side in a thickness direction and configured with a phononic structure having a large number of holes, and an insulating second layer arranged on the first layer and in contact with the thermoelectric conversion material portion.

公开(公告)号：US20170317137A1

公开(公告)日：2017-11-02

申请号：US15581022

申请日：2017-04-28

Applicant: Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives

Inventor： Jean-Jacques YON

IPC: H01L27/146 ,  G01J5/10 ,  G01J5/08

CPC classification number: H01L27/14698 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  H01L27/1462

Abstract: A method makes an electromagnetic radiation detecting device including at least one thermal detector with an absorbent membrane suspended above a substrate, intended to be located in a sealed cavity. The method includes depositing, on the substrate, a gettering metallic layer including a metallic material with a gettering effect; depositing a carbonaceous sacrificial layer of amorphous carbon on the gettering metallic layer; depositing at least one sacrificial mineral layer on the carbonaceous sacrificial layer; chemical-mechanical planarization of the sacrificial mineral layer; fabricating the thermal detector so that the absorbent membrane is produced on the sacrificial mineral layer; removing the sacrificial mineral layer; and removing the carbonaceous sacrificial layer.

公开(公告)号：US20170167922A1

公开(公告)日：2017-06-15

申请号：US15355835

申请日：2016-11-18

Applicant: ULIS

Inventor： Sébastien Cortial ,  Michel Vilain

IPC: G01J5/10

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103

Abstract: A bolometric detection device includes a substrate having a read-out circuit. The device also includes an array of elementary detectors each including a membrane suspended above the substrate and connected to the read-out circuit by at least two electric conductors. The membrane has two electrically-conductive electrodes respectively connected to the two electric conductors, and a volume of transducer material electrically connecting the two electrodes. The read-out circuit is configured to apply an electrical stimulus between the two electrodes of the membrane and to form an electric signal as a response to said application. The volume includes a volume of a first transducer material electrically connecting the two electrodes of the membrane and forming walls of a closed enclosure having each of the electrodes at least partially housed therein; and a volume of a second transducer material, electrically connecting the two electrodes and housed in the enclosure, the electric resistivity of the second material being smaller than the electric resistivity of the first material; and the two transducer materials having a negative thermal coefficient of resistivity TCR.

公开(公告)号：US09568371B2

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：US14375065

申请日：2013-01-29

Applicant: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

Inventor： Kazuyoshi Tari ,  Mototaka Ishikawa ,  Keiji Shirata ,  Kenzo Nakamura

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/10 ,  G01J5/08 ,  G01J5/06 ,  H05K1/02 ,  H01L37/02 ,  G01J5/20 ,  H01L27/144 ,  G03G15/20 ,  H05K1/18

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0022 ,  G01J5/06 ,  G01J5/0803 ,  G01J2005/103 ,  G01J2005/206 ,  G03G15/2039 ,  G03G2215/00772 ,  H01L27/144 ,  H01L37/02 ,  H05K1/0271 ,  H05K1/189 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/09136 ,  H05K2201/09781

Abstract: Provided is an infrared sensor which is capable of measuring a temperature of an object to be measured with high accuracy even when lead wires are connected to one side thereof. The infrared sensor includes an insulating film; a first and a second heat sensitive element which are provided on one face of the insulating film; a first and a second wiring film that are respectively connected to the first and the second heat sensitive element; an infrared reflecting film; a plurality of terminal electrodes; and a thermal resistance adjusting film which is provided on the other face of the insulating film, is in opposition to at least a portion of the longer one of the first or the second wiring film in wiring distance from the terminal electrodes, and is formed of a material with greater heat dissipation than the insulating film.

Abstract translation: 提供一种能够即使在将引线连接到其一侧时也能够以高精度测量被测量物体的温度的红外线传感器。 红外线传感器包括绝缘膜; 第一和第二热敏元件，设置在绝缘膜的一个面上; 分别连接到第一和第二热敏元件的第一和第二布线膜; 红外反射膜; 多个端子电极; 并且设置在所述绝缘膜的另一面上的热电阻调节膜与所述端子电极的布线距离处于与所述第一或第二布线膜中较长的一个的至少一部分相对，并且由所述热电阻调节膜形成为 具有比绝缘膜更大散热的材料。

公开(公告)号：JP2018535426A

公开(公告)日：2018-11-29

申请号：JP2018527940

申请日：2016-11-29

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： シチェメリニン アナトリー ,  ベゼル イリヤ ,  グロス ケネス ピー

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/10

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0003 ,  G01J5/524 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/103

Abstract: 光学素子の非接触温度測定を、長波長赤外光で実行する方法およびシステムが本明細書において説明される。被測定光学素子は、長波長赤外光に対して低放射を示し、多くの場合、長波長赤外光に対して高反射性または高透過性である。一態様において、長波長IR波長での高放射性、低反射性および低透過性を有する材料コーティングが、計測または検査システムの1つ以上の光学素子の選択された部分を覆って配置される。材料コーティングの箇所は、試験片の測定を実行するために計測または検査システムによって用いられる一次測定光の直接光学経路の外部である。IR透過性光学素子の正面と背面の温度測定が、単一のIRカメラによって実行される。温度測定は、一次測定ビームの光学経路内の複数の光学素子によって実行される。

公开(公告)号：WO2017095787A1

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：PCT/US2016/063939

申请日：2016-11-29

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： SHCHEMELININ, Anatoly ,  BEZEL, Ilya ,  GROSS, Kenneth P

IPC: G01J5/48 ,  G01J5/08 ,  G02B27/14

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/0003 ,  G01J5/524 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/103

Abstract: Methods and systems for performing non-contact temperature measurements of optical elements with long wavelength infrared light are described herein. The optical elements under measurement exhibit low emissivity to long wavelength infrared light and are often highly reflective or highly transmissive to long wavelength infrared light. In one aspect, a material coating having high emissivity, low reflectivity, and low transmission at long wavelength IR wavelengths is disposed over selected portions of one or more optical elements of a metrology or inspection system. The locations of the material coating are outside the direct optical path of the primary measurement light employed by the metrology or inspection system to perform measurements of a specimen. Temperature measurements of the front and back surfaces of an IR-transparent optical element are performed with a single IR camera. Temperature measurements are performed through multiple optical elements in an optical path of a primary measurement beam.

Abstract translation: 本文描述了用于执行具有长波长红外光的光学元件的非接触温度测量的方法和系统。 测量中的光学元件对长波长红外光表现出低发射率，并且通常对长波长红外光具有高反射性或高透射性。 在一个方面，在长波长IR波长处具有高发射率，低反射率和低透射率的材料涂层设置在度量衡或检验系统的一个或多个光学元件的选定部分上方。 材料涂层的位置在测量或检查系统用于执行样本测量的主要测量光的直接光路之外。 IR透明光学元件的前后表面的温度测量采用单个红外热像仪进行。 温度测量是通过主测量光束的光路中的多个光学元件进行的。

公开(公告)号：WO2014037622A1

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：PCT/FI2013/050862

申请日：2013-09-05

Applicant: VAISALA OYJ

Inventor： TALVITIE, Hannu ,  KORHONEN, Jukka ,  BLOMBERG, Martti

IPC: H05B3/20 ,  G01J3/10 ,  G01J5/20 ,  G02B5/22

CPC classification number: G02B5/22 ,  F21V7/10 ,  G01J3/108 ,  G01J5/024 ,  G01J5/048 ,  G01J5/0809 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  H01L51/5271 ,  H01L51/529 ,  H05B3/84 ,  H05B2203/013

Abstract: The present publication describes a heat-resistant optical layered structure, a manufacturing method for a layered structure, and the use of a layered structure as a detector, emitter, and reflecting surface. The layered structure comprises a reflecting layer (2), an optical structure on top of the reflecting layer (2), and preferably shielding layers (1, 3, 5, 7) for shielding the reflecting layer (2) and the optical structure. According to the invention, the optical structure on top of the reflecting layer (2) comprises at least one partially transparent layer (6), which is optically fitted at a distance to the reflecting layer (2).

Abstract translation: 本公开描述了耐热光学层叠结构，层状结构的制造方法，以及层叠结构作为检测器，发射体和反射面的用途。 分层结构包括反射层（2），在反射层（2）的顶部上的光学结构，以及优选用于屏蔽反射层（2）和光学结构的屏蔽层（1,3,5,7）。 根据本发明，反射层（2）顶部上的光学结构包括至少一个部分透明的层（6），其在与反射层（2）一定距离上光学配合。

公开(公告)号：EP3239670A1

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：EP17167659.6

申请日：2017-04-23

Applicant: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES

Inventor： YON, Jean-Jacques

IPC: G01J5/02 ,  G01J5/04 ,  G01J5/20

CPC classification number: H01L27/14698 ,  G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/103 ,  H01L27/1462

Abstract: L'invention porte sur un procédé de réalisation d'un dispositif de détection (1) de rayonnement électromagnétique comprenant au moins un détecteur thermique (10) à membrane absorbante (11) suspendue au-dessus d'un substrat (2), destiné à être situé dans une cavité hermétique (3), comportant les étapes suivantes :
- dépôt, sur le substrat (2), d'une couche métallique dite getter (40) comprenant un matériau métallique à effet getter ;
- dépôt d'une couche sacrificielle dite carbonée (50) en carbone amorphe sur la couche métallique getter (40) ;
- dépôt d'au moins une couche sacrificielle minérale (60A, 60B) sur la couche sacrificielle carbonée (50) ;
- aplanissement mécano-chimique de la couche sacrificielle minérale (60A) ;
- réalisation du détecteur thermique (10) de sorte que la membrane absorbante (11) est réalisée sur la couche sacrificielle minérale (60A) ;
- suppression de la couche sacrificielle minérale (60A, 60B) ;
- suppression de la couche sacrificielle carbonée (50).

Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于检测电磁辐射的装置（1）的方法，该装置包括至少一个热探测器（10），该热探测器具有悬挂在衬底（2）上方的吸收膜（11） 包括以下步骤： - 在基板（2）上沉积称为吸气剂（40）的金属层，其包含金属材料吸气剂效应; 在吸气剂金属层（40）上沉积所谓的无定形碳的碳质牺牲层（50）; 在碳质牺牲层（50）上沉积至少一层矿物牺牲层（60A，60B）; - 矿物牺牲层（60A）的机械化学平面化; - 实现热检测器（10），使得吸收膜（11）形成在矿物牺牲层（60A）上; - 去除矿物牺牲层（60A，60B）; - 去除碳质牺牲层（50）。