公开(公告)号：WO2006012062A2

公开(公告)日：2006-02-02

申请号：PCT/US2005021576

申请日：2005-06-17

Applicant: CYMER INC ,  RAFAC ROBERT J ,  SMITH SCOT T

Inventor： RAFAC ROBERT J ,  SMITH SCOT T

IPC: H01S3/22 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G02B5/04 ,  G02B5/28 ,  G02B27/48 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/08

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0249 ,  G01J2009/0257 ,  G02B5/04 ,  G02B5/284 ,  G02B27/48 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005

Abstract: A method and apparatus for producing with a gas discharge laser an output laser beam comprising output laser light pulses, for delivery as a light source to a utilizing tool is disclosed which may comprise a beam path and a beam homogenize in the beam path. The beam homogenizer may comprise at least one beam image inverter or spatial rotator, which may comprise a spatial coherency cell position shifter. The homogenizer may comprise a delay path which is longer than, but approximately the same delay as the temporal coherence length of the source beam. The homogenizer may comprise a pair of conjoined dove prisms having a partially reflective coating at the conjoined surfaces of each, a right triangle prism comprising a hypotenuse face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or an isosceles triangle prism having a face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or combinations of these, which may serve as a source beam multiple alternating inverted image creating mechanism. The beam path may be part of a bandwidth measuring the bandwidths of an output laser beam comprising output laser light in the range of below 500 femtometers at accuracy's within tens of femtometers. The homogenizer may comprise a rotating diffuser, which may be a ground glass diffuser which may also be etched. The wavemeter may also comprise a collimator in the beam path collimating the diffused light; a confocal etalon creating an output based upon the collimated light entering the confocal etalon; and a detector detecting the output of the confocal etalon and may also comprise a scanning mechanism scanning the angle of incidence of the collimated light entering the confocal etalon which may scan the collimated light across the confocal etalon or scan the etalon across the collimated light, and may comprise an acousto-optical scanner. The confocal etalon may have a free spectral range approximately equal to the E95 width of the beam being measured. The detector may comprise a photomultiplier detecting an intensity pattern of the output of the confocal etalon.

Abstract translation: 公开了一种使用气体放电激光器产生输出激光束的方法和装置，该输出激光束包括输出激光光脉冲，用于作为光源传送到利用工具，其可以包括光束路径和光束在光束路径中均匀化。 光束均化器可以包括至少一个光束图像反转器或空间旋转器，其可以包括空间相干单元位置移位器。 均化器可以包括延迟路径，该延迟路径比源光束的时间相干长度长但大致相同的延迟。 均化器可以包括一对结合的鸽子棱镜，其在每个结合表面具有部分反射涂层，直角三角棱镜包括面向源光束的斜边面和完全反射的相邻侧面，或者具有面对面的面的等腰三角棱镜 源光束和完全反射的邻接侧面或这些的组合，其可以用作源光束多个交替反转图像产生机构。 光束路径可以是测量输出激光束的带宽的一部分，该输出激光束包括在几十个计算机内的精确度下在500个以下的输出激光的范围内的输出激光。 均化器可以包括旋转扩散器，其可以是也可以被蚀刻的研磨玻璃扩散器。 所述波长计还可以包括在所述光束路径中准直所述漫射光的准直仪; 共焦标准具基于进入共焦标准具的准直光产生输出; 以及检测共焦标准具的输出的检测器，并且还可以包括扫描进入共焦标准具的准直入射角的扫描机构，该入射角可扫描共焦标准具上的准直光，或跨平行光扫描标准信号，以及 可以包括声光扫描器。 共焦标准具可以具有大约等于被测量的光束的E95宽度的自由光谱范围。 检测器可以包括检测共焦标准具的输出的强度图案的光电倍增管。

公开(公告)号：EP1779481A4

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：EP05762327

申请日：2005-06-17

Applicant: CYMER LLC

Inventor： RAFAC ROBERT J ,  SMITH SCOT T

IPC: G01B9/02 ,  G01J1/42 ,  G01J3/02 ,  G01J3/12 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G02B5/04 ,  G02B5/28 ,  G02B27/48 ,  G03F7/20 ,  H01S3/00 ,  H01S3/08 ,  H01S3/22

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0249 ,  G01J2009/0257 ,  G02B5/04 ,  G02B5/284 ,  G02B27/48 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005

Abstract: A method and apparatus for producing with a gas discharge laser an output laser beam comprising output laser light pulses, for delivery as a light source to a utilizing tool is disclosed which may comprise a beam path and a beam homogenizer in the beam path. The beam homogenizer may comprise at least one beam image inverter or spatial rotator, which may comprise a spatial coherency cell position shifter. The homogenizer may comprise a delay path which is longer than, but approximately the same delay as the temporal coherence length of the source beam. The homogenizer may comprise a pair of conjoined dove prisms having a partially reflective coating at the conjoined surfaces of each, a right triangle prism comprising a hypotenuse face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or an isosceles triangle prism having a face facing the source beam and fully reflective adjoining side faces or combinations of these, which may serve as a source beam multiple alternating inverted image creating mechanism. The beam path may be part of a bandwidth measuring the bandwidths of an output laser beam comprising output laser light in the range of below 500 femtometers at accuracies within tens of femtometers. The homogenizer may comprise a rotating diffuser which may be a ground glass diffuser which may also be etched. The wavemeter may also comprise a collimator in the beam path collimating the diffused light; a confocal etalon creating an output based upon the collimated light entering the confocal etalon; and a detector detecting the output of the confocal etalon and may also comprise a scanning mechanism scanning the angle of incidence of the collimated light entering the confocal etalon which may scan the collimated light across the confocal etalon or scan the etalon across the collimated light, and may comprise an acousto-optical scanner. The confocal etalon may have a free spectral range approximately equal to the E95 width of the beam being measured. The detector may comprise a photomultiplier detecting an intensity pattern of the output of the confocal etalon.

公开(公告)号：EP0455218A1

公开(公告)日：1991-11-06

申请号：EP91107011.8

申请日：1991-04-30

Applicant: Firma Carl Zeiss ,  CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS

Inventor： Küchel, Michael, Dr.

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0249

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Phase eines phasenmodulierten Signals (5). Das Signal (5) wird an mindestens fünf verschiedenen Meßpunkten (P1-P5) gemessen. Aus den zugehörigen Meßwerten (E1-E5) werden mindestens drei Sätze von Meßwerten derart gebildet, daß sich aus jedem der drei Sätze von Meßwerten ein Phasenwert φi arctran (Z i /N i ) mit i=1,2,..., m>3 berechnen läßt. Für den Signal mit der Frequenz der Trägerwelle berechnet sich aus allen drei Sätzen von Meßwerten derselbe korrekte Phasenwert φ. Wesentlich für das erfindungsgemäße Verfahren ist die Erkenntnis, daß sich dann auch aus den Linearkombinationen der Z i und der N i ein korrekter Phasenwert φ = arctran
berechnen läßt. Die Faktoren a i sind dann so gewählt, daß der Phasenfehler als Funktion der Phasenstufen zwischen den Meßpunkten (P1-P5) mindestens drei Nullstellen hat. Dadurch werden die systematischen Fehler bei der Phasenmessung deutlich reduziert.
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich besonders gut zur Auswertung von Streifenbildern, insbesondere von Vielstreifenbildern.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量相位调制信号（5）的相位的方法。 在至少五个不同的测试点（P1-P5）测量信号（5）。 从相关联的测量值（E1-E5）中，至少形成三组测量值，其中i = 1,2，...，m> 3的相位值phi i arctran（Zi / Ni） 可以从三组测量值中的每一组计算出来。 对于具有载波频率的信号，从所有三组测量值计算相同的正确相位值phi。 根据本发明的方法的基本因素是也可以从Zi和Ni的线性组合计算正确的相位值phi = arctran 。 然后以这样的方式选择因子ai，使得相位误差具有作为测试点（P1-P5）之间的相位级的函数的至少三个零。 这显着地减少了相位测量中的系统误差。 根据本发明的方法特别适用于评估特别是多条纹图像的条纹图像。

公开(公告)号：EP0252496A2

公开(公告)日：1988-01-13

申请号：EP87109805.9

申请日：1987-07-07

Applicant: THE PERKIN-ELMER CORPORATION

Inventor： Crane, Robert, Jr.

IPC: G01J9/02 ,  G01S3/78

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J3/26 ,  G01J9/0246 ,  G01J2003/1243 ,  G01J2009/0211 ,  G01J2009/0249 ,  G01S3/782

Abstract: An imaging coherent radiometer incorporating a Fabry-­Perot interferometer which is scanned or nutated, for detecting and determining location and wavelength of coherent radiation or the coherent absence of radiation in the presence of non-coherent ambient radiation.

Abstract translation: 包含被扫描或章动的法布里 - 珀罗干涉仪的成像相干辐射计，用于在存在非相干环境辐射的情况下检测和确定相干辐射的位置和波长或相干不存在辐射。

公开(公告)号：EP0612976A3

公开(公告)日：1995-09-20

申请号：EP93119046.6

申请日：1993-11-25

Applicant: JENOPTIK GmbH

Inventor： Dammann, Ehrhard ,  Bauer, Jürgen

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02051 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02083 ,  G01B2290/45 ,  G01J9/02 ,  G01J9/04 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2009/0249

Abstract: Die Erfindung betrifft ein phasemoduliertes Interferometer mit neuartiger Ansteuerung und Signalaufbereitung.
Die Aufgabe, bei einem phasenmodulierten Interferometer ohne komplizierte Sägezahnansteuerung des Phasenmodulators (2) zu auswertefähigen Überlagerungssignalen zu gelangen, wird erfindungsgemäß gelöst, indem dem bekannten Phasenmodulator (2) zwei sinusförmgie Ansteuersignale mit den Modulationsfrequenzen (ω₁, ω ₂), die phasen- und frequenzstarr gekoppelt sind, zugeführt werden und aus dem im Interferometer erzeugten Überlagerungssignal mit einem elektronischen Bandpaßfilter (8), bei dessen Filterfrequenz (ω F ) eine ungeradzahlige und eine geradzahlige Harmonische der zwei Modulationsfrequenzen (ω₁, ω₂) die gleiche Frequenz aufweisen, ein in üblicher Weise zur Auswertung der Phasenverschiebung verwendetes Kosinussignal ausgefiltert wird, wenn die Amplituden (φ₁, φ ₂) der Ansteuersignale die Bedingung für den geeigneten Arbeitspunkt des Phasenmodulators (2) erfüllen.
Die Erfindung findet Anwendung in phasenmodulierten Interferometern, insbesondere für Präzisionslängenmeßgeräte mit vorzugsweise heterodynem Auswerteverfahren.

公开(公告)号：EP0256300B1

公开(公告)日：1995-03-22

申请号：EP87110016.0

申请日：1987-07-10

Applicant: Hughes Danbury Optical Systems, Inc.

Inventor： Crane, Robert, Jr. ,  Dunavan. David S.

IPC: G01J9/04

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J3/26 ,  G01J9/0246 ,  G01J2009/0211 ,  G01J2009/0249 ,  G01S3/782

公开(公告)号：EP0281906A3

公开(公告)日：1990-09-26

申请号：EP88103114.0

申请日：1988-03-02

Applicant: Firma Carl Zeiss ,  CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS

Inventor： Küchel, Michael, Dr.-Ing.

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02038 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/02098 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0249 ,  G02B6/2861

Abstract: Für die Erzeugung von mehreren Interferogrammen, die sich in der relativen Phasenlage zwischen den interferierenden Teil­strahlen in definierter Weise unterscheiden, wird eine Licht­quelle (11) verwendet, deren Kohärenzlänge kleiner ist als der optische Wegunterschied zwischen den beiden Teilstrahlen im Meßteil des Interferometers. Außerdem ist mindestens eine optische Verzögerungseinrichtung (10) vorgesehen, die den Strahlengang in zwei Teilstrahlen aufspaltet, zwischen diesen Teilstrahlen einen optischen Wegunterschied erzeugt, welcher ungefähr gleich ist dem optischen Wegunterschied der Teilstrahlen im Meßteil des Interferometers, und anschließend die Teilstrahlen wieder kongruent zusammenführt.

公开(公告)号：EP0281906A2

公开(公告)日：1988-09-14

申请号：EP88103114.0

申请日：1988-03-02

Applicant: Firma Carl Zeiss ,  CARL ZEISS-STIFTUNG HANDELND ALS CARL ZEISS

Inventor： Küchel, Michael, Dr.-Ing.

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02038 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/02098 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0249 ,  G02B6/2861

Abstract: Für die Erzeugung von mehreren Interferogrammen, die sich in der relativen Phasenlage zwischen den interferierenden Teil­strahlen in definierter Weise unterscheiden, wird eine Licht­quelle (11) verwendet, deren Kohärenzlänge kleiner ist als der optische Wegunterschied zwischen den beiden Teilstrahlen im Meßteil des Interferometers. Außerdem ist mindestens eine optische Verzögerungseinrichtung (10) vorgesehen, die den Strahlengang in zwei Teilstrahlen aufspaltet, zwischen diesen Teilstrahlen einen optischen Wegunterschied erzeugt, welcher ungefähr gleich ist dem optischen Wegunterschied der Teilstrahlen im Meßteil des Interferometers, und anschließend die Teilstrahlen wieder kongruent zusammenführt.

Abstract translation: 用于多个干涉，其在以规定的方式干扰部分光束之间的相对相位角不同的产生，光源（11）被使用时，相干长度小于在干涉仪的测量部分中的两个部分光束之间的光程差。 此外，提供至少一个光学延迟装置（10），其将光路分成两个部分光束，生成近似等于在干涉仪的测量部分的部分光束的光程差这部分光束之间的光程差，然后再次全等部分光束在一起。

公开(公告)号：KR20180009211A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：KR20160090852

申请日：2016-07-18

Applicant: 김만식

Inventor： KIM MAN SIK

IPC: G01J9/02 ,  G02B6/293 ,  H04J14/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G02B6/293 ,  H04J14/02 ,  G01J9/0246 ,  G01J2009/0249 ,  G02B6/29361 ,  H04J14/0282

Abstract: 본발명은광파장측정기에관한것으로더욱상세하게는파장분할다중화방식으로복수의광파장이먹싱(muxing)되는광통신망의광선로에서전송되는광파장을측정하는장치가개시된다. 개시된광파장측정기는복수의광파장을포함하는광신호가입력되며렌즈를이용하여상기광신호를평행광으로만들어출력하는광입력부, 상기광입력부에서출력되는광신호를필터링하는채널필터, 상기채널필터가부착되는회전판, 상기회전판을회전시키는모터, 상기채널필터를통과한광신호를전기신호로변환하여출력하는포토디텍터, 상기모터의회전각을제어하는제어부, 상기제어부를위한회전각도제어신호를생성하고, 상기회전각도와상기전기신호를바탕으로광파장값을추출하는신호처리부, 및상기신호처리회로부에서추출한광파장값을표시하는디스플레이부를포함할수 있다. 본발명에의하면, 수신한광신호파장의정밀한측정이가능하고, 또한광신호의출력측정이가능한바 파장다중방식광통신시스템에서광신호의파장값에대한정확한정보를제공함으로서광통신시스템의품질과신뢰성을점검할수 있으며광통신망의유지, 보수과정을용이하게할 수있다.

Abstract translation: 用于测量光波长的装置技术领域本发明涉及一种用于测量光波长的装置，并且更具体地涉及一种用于测量通过光通信网络的光线传输的光波长的装置，其中多个光波长通过波分复用方法被复用 。 所公开的用于测量光波长的设备可以包括：光输入单元，用于接收包括多个光波长的光信号并且借助于透镜将光信号输出为平行光; 信道滤波器，用于对从光输入单元输出的光信号进行滤波; 连接到通道过滤器的旋转板; 用于旋转旋转板的马达; 光检测器，用于将已经通过信道滤波器的光信号转换成电信号并输出​​该电信号; 控制单元，用于控制电动机的旋转角度; 信号处理单元，用于产生用于控制单元的旋转角度控制信号并且基于旋转角度和电信号提取光波长值; 以及显示单元，用于显示从信号处理电路单元提取的光学波长值。 根据本发明，可以通过在波长多路复用光通信系统中提供关于光信号的波长值的准确信息来检查光通信系统的质量和可靠性并促进光通信网络的维护处理，这是因为 可以精确测量接收到的光信号的波长并测量光信号的输出。

公开(公告)号：KR1020030010881A

公开(公告)日：2003-02-06

申请号：KR1020010045537

申请日：2001-07-27

Applicant: 전금수 ,  강동성 ,  김희주 ,  반재경

Inventor： 전금수 ,  김희주 ,  반재경 ,  강동성

IPC: G01J9/00

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01D5/35303 ,  G01J2009/0203 ,  G01J2009/0249

Abstract: PURPOSE: A system and a method for measuring chromatic dispersion are provided to measure chromatic dispersion with accurate solution, and easily measure chromatic dispersion of an optical fiber already installed in the field. CONSTITUTION: A system for measuring chromatic dispersion includes a tunable laser source(10) which is a light source for measuring chromatic dispersion; an optical fiber 3dB coupler(30) dividing a path of light provided from the wavelength variable laser through a circulator(20), and coupling predetermined optical signals; an MZ(Mach Zehnder) modulator(40) backward and forward modulating light provided being divided into clockwise direction and counterclockwise direction through the optical fiber 3dB coupler by an RF signal provided from the outside; a Sagnac interferometer having a fiber under test(FUT) inserted into clockwise path between the optical fiber 3dB coupler and the MZ modulator for modulating light by the delayed signal as much as the corresponding length in case of forward modulation of the MZ modulator; a photo detector(50) receiving the backward and forward modulated light through the optical fiber 3dB coupler and the circulator; a circuit network analyser(60) providing the RF signal to the MZ modulator and obtaining a transfer function of the signal received in the photo detector; and a computer(70) calculating a delayed time corresponding to asymmetrical length of the FUT by using the obtained transfer function, thereby obtaining chromatic dispersion.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量色散的系统和方法，以精确的解决方案测量色散，并且可以容易地测量已经安装在现场的光纤的色散。 构成：用于测量色散的系统包括可调谐激光源（10），其是用于测量色散的光源; 光纤3dB耦合器（30），其通过循环器（20）对从所述波长可变激光器提供的光的路径进行分割，并耦合预定的光信号; MZ（Mach Zehnder）调制器（40）通过由外部提供的RF信号通过光纤3dB耦合器提供向后和向前调制的光，被分为顺时针方向和逆时针方向; 具有被测纤维（FUT）的Sagnac干涉仪插入到光纤3dB耦合器和MZ调制器之间的顺时针通路中，用于在MZ调制器的正向调制的情况下，通过延迟信号调制光与对应的长度一样多; 通过光纤3dB耦合器和循环器接收后向和前向调制光的光电检测器（50）; 向MZ调制器提供RF信号并获得在光检测器中接收的信号的传递函数的电路网络分析器（60） 以及计算机（70），通过使用所获得的传递函数来计算与所述FUT的非对称长度对应的延迟时间，从而获得色散。