公开(公告)号：CN103026191B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201180035739.0

申请日：2011-07-14

Applicant: 第一太阳能有限公司

Inventor： 马库斯·E·贝克 ,  余明伦

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4412 ,  G01J5/0846 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/1211 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18

Abstract: 温度调整光谱仪包括光源、温度传感器和光谱分析器。光源被够造成朝着处理室内的基板位置将光沿着光路引导通过第一透镜；光谱分析器被够造成接收从处理室中的基板位置处的基板上的样品区域中的材料样品处散射的光；温度测量装置被构造成测量位于处理室中的基板位置处的基板上的材料样品的温度。另外，由校准模块通过测量的温度来校正光谱以提供温度经调整的光谱。

公开(公告)号：CN104541157A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380042530.6

申请日：2013-08-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  笠原隆 ,  丸山芳弘

IPC: G01N21/65 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/658 ,  Y10T29/49155

Abstract: 包括基板、包含细微结构部的成形层、及构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部的导电体层的表面增强拉曼散射元件的制造方法包括：第1工序，其在包含多个与基板对应的部分的晶圆的主面形成纳米压印层；第2工序，其在第1工序之后，使用具有与细微结构部对应的图案的模具，将图案复制至纳米压印层，由此针对与基板对应的每个部分，形成与包含细微结构部的成形层对应的部分；第3工序，其在第2工序之后，在细微结构部上形成导电体层；及第4工序，其在第2工序之后，按与基板对应的每个部分切断晶圆。

公开(公告)号：CN104350377A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201280073968.6

申请日：2012-07-29

Applicant: 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

Inventor： G.吉布森 ,  Z.李 ,  A.M.布拉特科夫斯基 ,  S-Y.王 ,  H.P.郭 ,  S.J.巴塞罗 ,  Z-L.周

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/44

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y15/00 ,  G01J3/4412 ,  G01N2021/651 ,  G01N2201/06113 ,  Y10S977/902

Abstract: 一种散射光谱学纳米传感器包括纳米尺度图案化的感测衬底，其在被光学刺激询问时产生对分析物的存在进行指示的光学散射响应信号。散射光谱学纳米传感器还包括保护性覆盖物，其覆盖和保护纳米尺度图案化的感测衬底。保护性覆盖物通过暴露于入射在保护性覆盖物上的光束被可选择地移除。保护性覆盖物在被移除之前防止分析物与纳米尺度图案化的感测衬底相互作用。

公开(公告)号：CN104011520A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201180074110.7

申请日：2011-10-26

Applicant: 惠普发展公司 ,  有限责任合伙企业

Inventor： Z.李 ,  G.L.小冯德兰

IPC: G01J3/44

CPC classification number: G01J3/4412 ,  B82Y15/00 ,  B82Y20/00 ,  G01N21/554 ,  G01N21/65 ,  G01N21/658 ,  Y10T29/49826

Abstract: 供在传感应用中使用的设备包括具有包含开口的腔的主体。该设备还包括位于腔中的多个纳米指和覆盖腔中的开口以保护所述多个纳米指的可破坏盖，其中，所述可破坏盖将被破坏以使得能够接近所述多个纳米指。

公开(公告)号：CN103026191A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180035739.0

申请日：2011-07-14

Applicant: 第一太阳能有限公司

Inventor： 马库斯·E·贝克 ,  余明伦

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4412 ,  G01J5/0846 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/1211 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18

Abstract: 温度调整光谱仪包括光源、温度传感器和光谱分析器。光源被够造成朝着处理室内的基板位置将光沿着光路引导通过第一透镜；光谱分析器被够造成接收从处理室中的基板位置处的基板上的样品区域中的材料样品处散射的光；温度测量装置被构造成测量位于处理室中的基板位置处的基板上的材料样品的温度。另外，由校准模块通过测量的温度来校正光谱以提供温度经调整的光谱。

公开(公告)号：CN102575992A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080024399.7

申请日：2010-06-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小关泰之 ,  伊东一良 ,  岳文宏 ,  福井希一 ,  梶山慎一郎 ,  北川雄真 ,  西泽典彦 ,  住村和彦

IPC: G01N21/65 ,  G02B21/00

CPC classification number: G01J3/4412 ,  G01N21/65 ,  G02B21/06 ,  G02B21/365

Abstract: 得到一种光学显微镜，抑制光源系统的复杂化，即使在为了降低激光的强度噪音的影响而提高了调制频率的情况下，也能够容易地对应。对试件(6)照射第一光脉冲串和第二光脉冲串，所述第一光脉冲串具有第一光频率，所述第二光脉冲串与所述第一光脉冲串在时间上同步，并且具有第二光频率，所述光学显微镜(100)检测来自所述试件(6)的散射光，所述第一光学生成的光脉冲串的重复频率是所述第二光源生成的光脉冲串的重复频率的整数分之一。

公开(公告)号：CN101449144B

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200680052321.X

申请日：2006-12-05

Applicant: 埃科莱布有限公司

Inventor： E·托克图夫 ,  C·欧文 ,  P·施玲 ,  A·菲利普晨柯 ,  P·R·克劳斯 ,  K·M·森维勒

IPC: G01N21/33

CPC classification number: G01N21/33 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/0283 ,  G01J3/12 ,  G01J3/36 ,  G01J3/42 ,  G01J3/4412 ,  G01J2003/1226 ,  G01N21/532 ,  G01N21/5907 ,  G01N21/8507 ,  G01N2201/0221

Abstract: UV吸收光谱仪，包括外壳、控制器和传感器单元，所述传感器单元包括紫外光源、分析池或流动水或气体介质中的分析区，以及包括UV检测器的UV波长分离器。处于200-320纳米波长范围中的紫外光从光源发出，经分析区到达波长分离器，控制器将来自UV检测器的输出信号转换成关于所述波长范围中的两个或更多波长的吸收值或光密度，计算所述吸收值或光密度的差值，利用关于已知浓度的化学物品得到的校准常数和所述吸收值或光密度的差值，确定溶液中的化学物品的浓度。

公开(公告)号：CN101326428B

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200680046401.4

申请日：2006-10-11

Applicant: 杜克大学

Inventor： A·瓦克斯 ,  J·W·皮蒂拉

IPC: G01J3/44 ,  G01N21/47 ,  G01J3/453 ,  G01N15/02

CPC classification number: G01J3/4412 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0084 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02084 ,  G01B9/02087 ,  G01B9/0209 ,  G01J3/4531 ,  G01N21/31 ,  G01N21/4795 ,  G01N2021/4704 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2201/08

Abstract: 傅立叶域a/LCI(faLCI)系统和方法，其允许利用单独的扫描以快速比率的体内数据采集。利用扫描获得角度分辨和深度分辨光谱信息。由于仅需要一个扫描，参考臂可以关于样品保持固定。在样品的多个反射偏角下，参考信号和被反射的样品信号被互相关和分散，从而同时并行地表示来自样品上多个点的反射。利用以约40毫秒为数量级的扫描可以获得关于样品上多个不同点的每一个处样品的全部深度的信息。从空间、互相关参考信号，利用允许从角度分辨数据获得散射体的尺寸信息的技术也可以获得结构(尺寸)信息。

公开(公告)号：CN108931515A

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201810521807.8

申请日：2018-05-25

Applicant: 三星电子株式会社 ,  加利福尼亚州技术学院

Inventor： 梁大钟 ,  赵显俊 ,  尹永竣 ,  朱爀

IPC: G01N21/65 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01J3/4412 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2207/056 ,  B81C1/00206 ,  B81C2201/0104 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  C23C18/06 ,  C23C18/08 ,  G01N21/658 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00031

Abstract: 公开了一种感测用基底，制造感测用基底的方法。感测用基底包括：支撑层；多个金属纳米微粒簇，布置在所述支撑层上；以及多个穿孔，布置在所述多个金属纳米微粒簇之间。所述多个金属纳米微粒簇各自包括以三维结构堆叠的多个金属纳米微粒。所述多个穿孔中的每一个中传送入射光。

公开(公告)号：CN108827928A

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：CN201810331346.8

申请日：2013-08-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  伊藤将师 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈 ,  大藤和人 ,  丸山芳弘

IPC: G01N21/65 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/12 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4412 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/06113

Abstract: SERS单元(1A)包括：基板(4)；光学功能部(10)，其形成于基板(4)上，且产生表面增强拉曼散射；及封装体(20A)，其将光学功能部(10)收纳于不活泼的空间(S)中，且使空间(S)不可逆地开放。