一种压力感应屏及其压力探测方法

    公开(公告)号:CN105653097A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201610012993.3

    申请日:2016-01-11

    CPC classification number: G06F3/0414 G01L1/18 G01L1/26 G06F3/045

    Abstract: 本发明涉及一种压力感应屏及其压力探测方法,通过将压力感应板设置为包括触控感应板、感应电阻和温度延缓层,其中触控感应板用于探测触碰动作,而温度延缓层用于延缓温度传递到感应电阻的导热时间,使得力传传递时间和热传递时间存在差别,由于通过温度延缓层延长了温度传递到感应电阻的导热时间,导热时间较大,因此,只要在导热时间内探测感应电阻的电阻值变化,就能够避免温度对探测结果的影响,从而使压力探测更加准确;而且不需要采用电桥方式进行驱动,仅仅增设了温度延缓层,而温度延缓层也可以由触控感应板的板体形成,因此,这种压力感应屏的结构也相当简单。

    一种压力传感器的温度补偿系统及方法

    公开(公告)号:CN105628266A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201511003537.4

    申请日:2015-12-25

    Inventor: 王博 欧阳敏 龚珊

    CPC classification number: G01L1/18

    Abstract: 本发明涉及一种压力传感器的温度补偿系统及方法,利用待补偿压力传感器的输入电压作为温度信号,模拟补偿模块将待补偿压力传感器的输出电压进行转换,使转换输出电压在压力一定的情况下与待补偿压力传感器的输入电压之间的关系可被二次多项式曲线拟合,从而在数字补偿模块中仅需三个标定温度点即可确定每个标定压力下表征转换输出电压与输入电压之间的关系的二次多项式曲线方程,进而求解测量压力的数值,完成整个温度补偿过程;将模拟补偿和数字补偿相结合,实现仅需三个标定温度点的恒流源驱动式硅压阻式压力传感器的高精度测量。

    一种非电量信号采集监测方法

    公开(公告)号:CN105606131A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610040923.9

    申请日:2016-01-21

    Applicant: 单立辉

    Inventor: 单立辉

    Abstract: 本发明公开了一种非电量信号采集监测方法,包括以下步骤:S1、设置非电量传感器;S2、将非电量传感器采集的非电量信号转换为第一电信号,第一电信号为电流信号或者电压信号;S3、获取第二电信号,第二电信号为电压信号或者电流信号;S4、将第一电信号与第二电信号进行乘积,获取功率类信号;S5、把功率类信号对时间进行积分,获得各时间段能量类参数,进行存储;S6、根据各时间段能量类参数对非电量信号进行判断,并对异常进行监测。本发明将非电量检测转换成能量类参数检测,有利于对细小隐患进行累积放大,即在隐患发生的中早期及时发现预警处理,避免隐患严重化,从而避免损失,降低风险。

    一种MEMS多晶硅纳米膜压力传感器芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN105486435A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201610000841.1

    申请日:2016-01-04

    Inventor: 王健 揣荣岩

    CPC classification number: G01L1/18 G01L9/06

    Abstract: 一种MEMS多晶硅纳米膜压力传感器芯片及其制作方法,涉及一种传感器芯片及其制作方法,本发明传感器包括单晶硅衬底(1),在硅衬底上设置剖面为平坦型多晶硅的感压膜(4),以二氧化硅为牺牲层在感压膜和衬底之间形成的密闭空腔(2),在感压膜(4)上表面设有四个多晶硅纳米膜力敏电阻(5),力敏电阻(5)、感压膜(4)与金属导线之间为绝缘层(7)隔离,四个力敏电阻(5)通过金属导线连接成惠斯通电桥,将压力转换成电压输出,感压膜(4)边缘外设置有密封的腐蚀孔(3)。本传感器制备方法与集成电路工艺兼容,易集成。本发明传感器具有线性度和灵敏度高、工作温度范围宽、过载能力强、易集成和成本低等特点。

    触摸屏用压力传感器
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105260047A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201510007405.2

    申请日:2015-01-07

    Inventor: 梁荣倍 郑东圭

    Abstract: 本发明涉及一种能够有效地防止触摸输入错误的触摸屏用压力传感器。本发明的特征为,包括:信号输入部件,其在基板上以相间错杂的形状(interdigitate)形成有导体图案;垫片,其配置于所述信号输入部件的基板上的未形成有所述导体图案的边缘位置;及压电薄膜,其配置于所述垫片上并与所述信号输入部件分隔,根据被施加的压力的大小,电阻值发生变化,其中,配置于与所述垫片邻接的位置的所述信号输入部件的导体图案的间隔(D1)相比配置于离所述垫片最远的位置的所述信号输入部件的导体图案的间隔(D2)小,并且,所述信号输入部件的未形成有导体图案的区域形成有向外部裸露的排气孔。

    一种MEMS应变计芯片及其制造工艺

    公开(公告)号:CN105241369A

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201510505712.3

    申请日:2015-08-17

    Inventor: 王文 周显良

    CPC classification number: G01B7/16 G01L1/18

    Abstract: 本发明涉及传感器领域,特别涉及一种MEMS应变计芯片以及其制造方法,其中,MEMS应变计芯片包括相互连接的衬底、器件部以及盖板,所述衬底与所述器件部之间以及所述器件部与所述盖板之间形成有氧化硅层;所述衬底以及所述盖板上分别形成有凹陷部,衬底凹陷部与盖板凹陷部相连接并形成一空腔,所述器件部位于所述空腔内;所述器件部包括桥接部以及压阻测量元件,所述压阻测量元件设置在所述桥接部上。本应变计芯片受温度影响较小,可以在高温的环境中使用,而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。

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