2D 어레이의 스폿을 이용한 경사 입사 스캐닝 시스템 및 방법
    32.
    发明公开
    2D 어레이의 스폿을 이용한 경사 입사 스캐닝 시스템 및 방법 审中-公开
    用二维阵列斑点进行斜入射扫描的系统和方法

    公开(公告)号:KR20180004239A

    公开(公告)日:2018-01-10

    申请号:KR20177035244

    申请日:2016-05-04

    Abstract: 경사각멀티빔 스폿스캐닝웨이퍼검사시스템에서복수의빔 라인을생성하는시스템은조명빔을스캔하도록구성된빔 스캐닝디바이스, 샘플의표면에대해경사각으로배향되고대물렌즈및 샘플상의제 1 스캐닝방향에수직인광축을갖는대물렌즈, 및대물렌즈와빔 스캐닝디바이스사이에배치된하나이상의광학요소를포함한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이제 1 방향에수직인적어도제 2 방향으로분리되도록빔을 2개이상의오프셋빔으로분할한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이스캔중에샘플에동시에포커싱되도록 2개이상의오프셋빔의위상특성을또한수정한다.

    Abstract translation: 倾斜角的多束斑扫描系统中的晶片测试,用于产生多个束线的系统中的倾斜角度的光束扫描装置的表面被定向,一个样品,用于扫描在垂直于物镜在所述第一扫描方向和所述样品光轴的光束 并且至少一个光学元件设置在物镜和光束扫描装置之间。 所述至少一个光学元件将所述光束分成两个或更多偏移光束,使得所述至少两个偏移光束现在在至少垂直于一个方向的第二方向上分离。 该至少一个光学元件还修改两个或更多偏移束的相位特性,使得两个或更多个偏移束在扫描期间同时聚焦在样本上。

    테스트 표면의 광학 검사
    33.
    发明公开
    테스트 표면의 광학 검사 有权
    测试表面的光学检查

    公开(公告)号:KR1020120098959A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:KR1020127021485

    申请日:2005-10-05

    Abstract: 하나의 양상에서, 가령 파로시아미터(Parosiameter)와 같이 스캐터로미터(100)로부터 얻어진 영상 세기 데이터를 저장 할 필요가 있는 데이터의 양은 상기 광도 데이터가 광도에 대한 변화에 따라 그리드의 다른 영역에서 사용되는 해상도를 변화시킴으로써 줄어든다. 또 다른 양상에서, 스캐터로미터는 상기 테스트 샘플에 대한 거울의 중심이 벗어난 배치에 의해 도입된 왜곡을 수정하기 위해 테스트 샘플(180)을 영상화하는 비구면 거울(170,900,1000)로 제공된다. 또 다른 양상에서, 광학 표면 검사 장치는 상기 테스트 표면상에 패턴 그리드(1610)를 투사하기 위하여 테스트 표면(1420)과 조명된 패턴 그리드(1410) 사이에 보조 렌즈(1440)를 사용한다. 카메라(1450)는 실제의 영상으로서 상기 테스트 표면상의 그리드에 초점이 맞춰진다.

    MULTI MOIRE STRUCTURED ILLUMINATION MICROSCOPY WITH HIGH INDEX MATERIALS
    34.
    发明申请
    MULTI MOIRE STRUCTURED ILLUMINATION MICROSCOPY WITH HIGH INDEX MATERIALS 审中-公开
    高折射率材料的多重结构照明显微镜

    公开(公告)号:WO2018015950A1

    公开(公告)日:2018-01-25

    申请号:PCT/IL2017/050806

    申请日:2017-07-18

    Abstract: A system comprising: a dielectric configured to: a) create a bi-periodic interference pattern of two standing sinusoidal waves on illumination by two pairs of counter-propagating light beams at different incident angles, wherein the incident angles are selected in accordance with the index of refraction of the dielectric to i) to determine the spatial frequency of each counter-propagating light wave pair, and ii) cause total internal reflection, and b) generate, from the bi-periodic interference pattern, an evanescent bi-periodic standing sinusoidal wave; a light source configured to illuminate the dielectric with the two pairs of counter-propagating sinusoidal light waves at the selected incident angles and thereby illuminate a fluorescing object positioned at the surface of the dielectric with the generated bi-periodic evanescent standing sinusoidal wave; and one or more delay lines configured to independently modify the initial phase of each counter-propagating light wave pair.

    Abstract translation: 一种系统,包括:电介质,被配置为:a)在不同入射角度的两对反向传播光束的照射下产生两个站立正弦波的双周期性干涉图案,其中所述事件 根据电介质的折射率选择角度以i)确定每个反向传播光波对的空间频率,并且ii)引起全内反射,以及b)从双周期干涉图案 ,一个消逝双周期站立正弦波; 光源,其被配置为以所选择的入射角用所述两对反向传播的正弦光波来照射所述电介质,并且由此照射位于所述电介质的表面处的荧光物体,其中所述生成的双周期性eva逝站立正弦波; 以及一个或多个延迟线,其被配置为独立地修改每个反向传播光波对的初始相位。

    OPTICAL READERS
    35.
    发明申请
    OPTICAL READERS 审中-公开
    光学读取器

    公开(公告)号:WO2017131759A1

    公开(公告)日:2017-08-03

    申请号:PCT/US2016/015719

    申请日:2016-01-29

    CPC classification number: G01N21/658 G01N2201/0635

    Abstract: Optical readers are disclosed in examples herein. An example optical reader including a light source to emit a light beam; and a spot pattern generator to receive the light beam and to generate a two-dimensional spot array from the light beam, the two-dimensional spot array to be directed toward a substrate having nanostructures, the two-dimensional spot array to be sensed to detect a presence or an absence of a substance of interest on the substrate.

    Abstract translation: 这里的例子中公开了光学读取器。 包括发射光束的光源的示例光学读取器; 以及点图案发生器,用于接收光束并从光束产生二维点阵列,二维点阵列被引导朝向具有纳米结构的衬底,二维点阵列将被感测以检测 在衬底上存在或不存在感兴趣的物质。

    測定方法、並びにこれに用いる測定チップ、及び測定用キット
    36.
    发明申请
    測定方法、並びにこれに用いる測定チップ、及び測定用キット 审中-公开
    测量方法,用于测量的测量芯片和测量套件

    公开(公告)号:WO2016208421A1

    公开(公告)日:2016-12-29

    申请号:PCT/JP2016/067364

    申请日:2016-06-10

    Abstract: 被測定物質を高濃度に含む検体について、多段階希釈することなく、被測定物質を高精度に測定することができる測定方法を提供する。 本発明の一実施形態は、液体を収容するための収容部と、前記収容部内に固定され、被測定物質に特異的に結合するための認識部位を有する第1の捕捉体と、を含む測定チップの前記収容部内に検体を提供し、前記検体に含まれる被測定物質を前記第1の捕捉体に結合させる結合工程と、前記第1の捕捉体に結合した前記被測定物質の量を測定する測定工程と、を有する、検体中の被測定物質の量を測定する方法に関する。当該測定方法は、結合工程と同時または結合工程より前に、被測定物質に特異的に結合するための認識部位を有する第2の捕捉体を、検体中の一部の前記被測定物質に結合させて、第1の捕捉体に結合可能な被測定物質の量を減少させる調整工程を含む。

    Abstract translation: 提供了一种测定方法,可以在含有高浓度被测定物质的试样中,在不进行多级稀释的情况下,精确地测定被测定物质。 本发明的一个实施例涉及一种用于测量样本中被测量物质的量的方法,该方法具有在包括用于容纳液体的壳体部分的测量芯片的壳体部分中提供试样的结合步骤,以及 第一捕获体,其固定在壳体部分的内部,并且具有用于特异性结合待测量物质的识别位置,并将待测物质包含在试样中的物质与第一捕获体结合;以及测量步骤 其测量与第一捕获体结合的待测量物质的量,其中测量方法包括与粘合步骤同时或在结合步骤之前结合具有用于特异性结合的识别位点的第二捕获体的调节步骤 将要测量的物质与样品中待测物质的一部分相比减少待测物质的量 可以绑定到第一个捕获体。

    観察装置および最終像の鮮明化方法
    37.
    发明申请
    観察装置および最終像の鮮明化方法 审中-公开
    观察装置和方法用于收缩最终图像

    公开(公告)号:WO2016013614A1

    公开(公告)日:2016-01-28

    申请号:PCT/JP2015/070970

    申请日:2015-07-23

    Inventor: 福山 宏也

    Abstract:  中間像が光学素子に一致する位置で結像されても、中間像に光学素子の傷、異物および欠陥等が重なることを防止して鮮明な最終像を取得することを目的として、本発明の観察装置(1)は、最終像(IF)と中間像(II)とを形成する結像レンズ(11,12,15)と、光の波面に空間的な乱れを付与する第1の位相変調素子(10)と、光の波面に付与された空間的な乱れを打ち消す第2の位相変調素子(14)とを備える結像光学系(3)と、物体側に配置される光源(6)と、光軸(S)方向に間隔をあけて配置された第1および第2のスキャナ(13a,13b)を備えるXY走査部(13)と、光を検出する光検出器(5)とを備え、2つの位相変調素子(10,14)が光源(6)側に配置された第1のスキャナ(13a)と光学的に共役な位置に配置され照明光の走査方向に変化する一次元的な位相分布特性を有する。

    Abstract translation: 为了通过防止光学元件上的划痕,异物,缺陷等在中间图像中的重叠而获得尖锐的最终图像,即使当在与光学元件匹配的位置捕获中间图像时,该观察装置 1)设置有:成像光学系统(3),包括用于形成最终图像(IF)的成像透镜(11,12,15)和中间图像(II),用于施加空间的第一相位调制元件(10) 对光的波面的干扰,以及用于消除已经施加到光的波面的空间干扰的第二相位调制元件(14) 布置在物体侧的光源(6); XY扫描单元(13)包括在光轴(S)方向上间隔设置的第一和第二扫描器(13a,13b) 和用于检测光的光检测器(5)。 第一扫描器(13a)布置在光源(6)侧,并且两个相位调制元件(10,14)被布置在与第一扫描器(13a)光学共轭的位置,并且具有一维相位分布 在照明光的扫描方向上变化的特性。

    MULTI-SPOT INVESTIGATION APPARATUS
    39.
    发明申请
    MULTI-SPOT INVESTIGATION APPARATUS 审中-公开
    多点调查装置

    公开(公告)号:WO2006064465A2

    公开(公告)日:2006-06-22

    申请号:PCT/IB2005/054207

    申请日:2005-12-13

    CPC classification number: G01N21/645 B01L3/5085 G01N21/6452 G01N2201/0635

    Abstract: The invention relates to a method and an apparatus for the investigation of a sample material that is stored in the sample chamber (303) of a storage unit (300). A multi-spot generator MSG (100) and a transmission section (200) generate an array of sample light spots (501) within the sample chamber. Input light (504) that leaves the storage unit (300) in forward direction is mapped onto a CCD array (401) and measured as reference. Moreover, fluorescence light (500) that is stimulated in the sample chamber (303) is measured by a second CCD array which is disposed perpendicular to the optical path of the input light (504).

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于研究存储在存储单元(300)的样品室(303)中的样品材料的方法和装置。 多点发生器MSG(100)和透射部分(200)在样品室内产生样品光点阵列(501)。 将存储单元(300)向前移动的输入光(504)映射到CCD阵列(401)上并作为参考进行测量。 此外,通过垂直于输入光(504)的光路设置的第二CCD阵列来测量在样品室(303)中被刺激的荧光(500)。

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