公开(公告)号：KR1020170137181A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：KR1020177032833

申请日：2016-04-20

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 설리반제이미 ,  카이웬지안 ,  카오카이

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  G02B13/00

CPC classification number: G02B13/0095 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N2201/106 ,  G01N2201/12

Abstract: 런타임정렬기능이있는스폿주사이미징시스템은샘플을가로질러집속조명빔을선형으로주사하도록구성된빔 주사장치와, 샘플로부터광을수신하도록배치된하나이상의검출기와, 상기빔 주사장치, 상기샘플스테이지, 및상기하나이상의검출기에통신적으로결합된제어기를포함한다. 제어기는제1 이미지를저장하고, 구동신호집합을빔 주사장치, 샘플스테이지, 또는하나이상의검출기중의적어도하나에전송하고, 하나이상의오프셋오차를결정하기위해제2 샘플링그리드의적어도일부를제1 샘플링그리드의적어도일부와비교하고, 제2 샘플그리드가제1 샘플그리드에겹쳐지도록상기하나이상의오프셋오차에기초하여상기구동신호집합내의적어도하나의구동신호를조정하도록구성된다.

Abstract translation: 具有运行时间对准功能的点扫描成像系统包括：射束扫描装置，其被配置为线性扫描穿过样本的聚焦照射束;一个或多个检测器，其被设置为接收来自样本的光; 以及通信地耦合到一个或多个检测器的控制器。 所述控制器存储所述第一图像，所述驱动信号而设定的光束扫描设备，一个试样台，或至少花枝传输，和至少一部分所述第二采样网格的第一采样栅格，以确定一个或多个检测器中的至少一个偏移误差 并且基于所述一个或多个偏移误差来调整所述一组驱动信号中的至少一个驱动信号，使得所述第二采样栅格与所述第一采样栅格重叠。

公开(公告)号：KR20180004239A

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：KR20177035244

申请日：2016-05-04

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/88 ,  G02B26/10 ,  G02B27/10 ,  G02B27/12 ,  G02F1/33

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/106 ,  G02B26/101 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/123 ,  G02F1/33

Abstract: 경사각멀티빔 스폿스캐닝웨이퍼검사시스템에서복수의빔 라인을생성하는시스템은조명빔을스캔하도록구성된빔 스캐닝디바이스, 샘플의표면에대해경사각으로배향되고대물렌즈및 샘플상의제 1 스캐닝방향에수직인광축을갖는대물렌즈, 및대물렌즈와빔 스캐닝디바이스사이에배치된하나이상의광학요소를포함한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이제 1 방향에수직인적어도제 2 방향으로분리되도록빔을 2개이상의오프셋빔으로분할한다. 하나이상의광학요소는 2개이상의오프셋빔이스캔중에샘플에동시에포커싱되도록 2개이상의오프셋빔의위상특성을또한수정한다.

Abstract translation: 倾斜角的多束斑扫描系统中的晶片测试，用于产生多个束线的系统中的倾斜角度的光束扫描装置的表面被定向，一个样品，用于扫描在垂直于物镜在所述第一扫描方向和所述样品光轴的光束 并且至少一个光学元件设置在物镜和光束扫描装置之间。 所述至少一个光学元件将所述光束分成两个或更多偏移光束，使得所述至少两个偏移光束现在在至少垂直于一个方向的第二方向上分离。 该至少一个光学元件还修改两个或更多偏移束的相位特性，使得两个或更多个偏移束在扫描期间同时聚焦在样本上。

公开(公告)号：KR101511085B1

公开(公告)日：2015-04-14

申请号：KR1020130132532

申请日：2013-11-01

Applicant: 삼성메디슨 주식회사 ,  삼성전자주식회사

Inventor： 정종규 ,  고달권 ,  김정호 ,  오정택 ,  이재광

IPC: A61B8/00

CPC classification number: G01N21/1702 ,  A61B5/0062 ,  A61B5/0095 ,  A61B8/44 ,  A61B8/4427 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/106

Abstract: 본발명은광 음향장치및 그동작방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른광 음향장치는레이저를발생시키고레이저상태신호를전송하는레이저모듈, 상기레이저모듈로부터발생된레이저를대상체에조사하는광 출력부및 상기대상체에서발생되는광 음향신호를검출하는스캐너를포함하는프로브, 상기스캐너의위치를제어하는스캐너제어부, 상기레이저의상태신호에기초하여, 상기광 음향신호획득을제어하는시퀀스제어부, 상기시퀀스제어부의제어에따라광 음향신호를획득하는신호수신부및 상기광 음향신호에기초하여, 광음향영상을생성하는광 음향영상생성부를포함하고, 상기레이저상태신호는레이징준비상태신호및 레이저출력상태신호를포함할수 있다.

Abstract translation: 光声装置及其操作方法技术领域本发明涉及光声装置及其操作方法。 根据本发明实施例的光声装置包括：激光模块，其产生激光并透射激光状态信号; 探头，其包括将从激光模块产生的激光辐射到物体的光功率单元和检测从物体产生的光声信号的扫描仪; 扫描器控制单元，其控制扫描仪的位置; 序列控制单元，其基于激光器的状态信号控制光电信号的获取; 信号接收单元，其通过所述顺序控制单元的控制来获取光声信号; 以及光声图像生成单元，其基于光声信号生成光声图像。 激光状态信号可以包括激光准备状态信号和激光输出状态信号。

公开(公告)号：TW201704736A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：TW105112527

申请日：2016-04-21

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 蘇立文 傑米M ,  SULLIVAN, JAMIE M. ,  蔡 文建 ,  CAI, WENJIAN ,  曹 凱 ,  CAO, KAI

IPC: G01N21/88 ,  G02F1/33 ,  G02B13/00 ,  G01N21/95

CPC classification number: G02B13/0095 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N2201/106 ,  G01N2201/12

Abstract: 本發明揭示一種具有運行時間對準之光點掃描成像系統，其包含：一光束掃描器件，其經組態以使一聚焦照明光束線性地掃描橫跨一樣本；一或多個偵測器，其等經定位以自該樣本接收光；及一控制器，其經通信地耦合至該光束掃描裝置、該樣本載台，及該一或多個偵測器。該控制器經組態以儲存一第一影像、將一組驅動信號傳輸至該光束掃描器件、該樣本載台或該一或多個偵測器中之至少一者；比較第二取樣柵之至少一部分與第一取樣柵之至少一部分，以判定一或多個偏移誤差，且基於該一或多個偏移誤差來調整該組驅動信號中之至少一驅動信號，使得該第二樣本柵與該第一樣本柵重疊。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种具有运行时间对准之光点扫描成像系统，其包含：一光束扫描仪件，其经组态以使一聚焦照明光束线性地扫描横跨一样本；一或多个侦测器，其等经定位以自该样本接收光；及一控制器，其经通信地耦合至该光束扫描设备、该样本载台，及该一或多个侦测器。该控制器经组态以存储一第一影像、将一组驱动信号传输至该光束扫描仪件、该样本载台或该一或多个侦测器中之至少一者；比较第二采样栅之至少一部分与第一采样栅之至少一部分，以判定一或多个偏移误差，且基于该一或多个偏移误差来调整该组驱动信号中之至少一驱动信号，使得该第二样本栅与该第一样本栅重叠。

公开(公告)号：TW201643413A

公开(公告)日：2016-12-16

申请号：TW105114193

申请日：2016-05-06

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 蘇立文 傑米M ,  SULLIVAN, JAMIE M. ,  雀倫 亞維傑尼 ,  CHURIN, YEVGENIY

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/106 ,  G02B26/101 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/123 ,  G02F1/33

Abstract: 本發明揭示一種在一傾斜角多光束點掃描晶圓檢測系統中產生多個光束線之系統，其包含：一光束掃描器件，其經組態以掃描一照明光束；一物鏡，其相對於一樣本之表面定向成一傾斜角，且具有垂直於該樣本上之一第一掃描方向之一光軸；及一或多個光學元件，其等經定位於該物鏡與該光束掃描器件之間。該一或多個光學元件將該光束分割為兩個或兩個以上偏移光束，使得該兩個或兩個以上偏移光束在垂直於該第一方向之至少一第二方向上分離。該一或多個光學元件進一步修改該兩個或兩個以上偏移光束之相位特性，使得該兩個或兩個以上偏移光束在一掃描期間同時聚焦於該樣本上。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种在一倾斜角多光束点扫描晶圆检测系统中产生多个光束线之系统，其包含：一光束扫描仪件，其经组态以扫描一照明光束；一物镜，其相对于一样本之表面定向成一倾斜角，且具有垂直于该样本上之一第一扫描方向之一光轴；及一或多个光学组件，其等经定位于该物镜与该光束扫描仪件之间。该一或多个光学组件将该光束分割为两个或两个以上偏移光束，使得该两个或两个以上偏移光束在垂直于该第一方向之至少一第二方向上分离。该一或多个光学组件进一步修改该两个或两个以上偏移光束之相位特性，使得该两个或两个以上偏移光束在一扫描期间同时聚焦于该样本上。