토출 장치 및 토출 방법
    391.
    发明公开
    토출 장치 및 토출 방법 有权
    放电装置和放电方法

    公开(公告)号:KR1020150012191A

    公开(公告)日:2015-02-03

    申请号:KR1020140064332

    申请日:2014-05-28

    Abstract: 공급부(10)로부터 노즐(50)에 이르는 피토출물의 유로 상에 설치되며, 유로 내의 피토출물을 공급부(10)측으로부터 노즐(50)측을 향해 소정 유량으로 송출하는 송출 수단(41)과, 공급부(10)와 송출 수단(41) 사이의 유로 상에 서로 병렬로 설치되며, 공급부(10)로부터 유로를 통하여 공급되는 피토출물을 일시적으로 저류 공간에 저류하는 기능, 및, 저류 공간에 저류된 피토출물을 가압하여 유로를 통하여 송출 수단을 향해 압송하는 기능을 각각이 가지는, 복수의 가압 수단(31, 32)을 구비하는 토출 장치이다. 복수의 가압 수단(31, 32)이 상보적으로 작동함으로써, 송출 수단(41)에 보내지는 피토출물에 일정한 압력이 계속적으로 부여된다.

    Abstract translation: 在本发明中,提供了以稳定的方式排出材料的技术。 本发明涉及一种用于排放的装置,包括一个安装在从供应部分(10)形成到喷嘴(50)上的流动路径上的排放工具(41),并从流体通道中排放一定量的物料 向喷嘴(50)供应部分(10); 和多个加压工具(31,32),它们平行于形成在供应部分(10)和排放工具(41)之间的流动路径上,并具有临时存储从供给部分(10)经由 流动路径,并且通过从流动路径向排出工具(41)的加压将存储的材料排出到储存空间中。 在本发明中,多个加压工具(31,32)相互操作,从而对要排出到排出工具(41)的材料持续施加恒定的压力。

    기판처리장치 및 기판처리방법
    393.
    发明授权
    기판처리장치 및 기판처리방법 有权
    基板处理装置及基板处理方法

    公开(公告)号:KR101357992B1

    公开(公告)日:2014-02-03

    申请号:KR1020120100287

    申请日:2012-09-11

    Abstract: 기판처리장치는, 기판을 지지하여 회전시키는 기판지지회전기구와, 상기 기판지지회전기구에 지지된 기판의 주면을 향해 처리액을 토출하는 처리액노즐을 갖는 처리액공급기구와, 상기 기판의 주면의 전역을 덮는 액막을 형성하기에 충분한 양의 처리액을 저장하는 처리액저장용기와, 상기 처리액저장용기에 저장된 처리액을 단번에 상기 기판의 주면에 공급함으로써, 상기 기판의 주면의 전역을 덮는 액막을 형성하는 액막형성유닛과, 상기 액막형성유닛 및 상기 처리액공급기구를 제어하여, 상기 액막형성유닛에 의해 상기 기판의 주면의 전역을 덮는 액막을 형성시킨 후에, 상기 처리액노즐로부터 상기 기판의 주면을 향해 처리액을 토출시키는 제어유닛을 포함한다.

    Abstract translation: 该基板处理装置包括:基板支承旋转机构,其支承基板并使其旋转;处理液供给机构,其具有用于朝向被基板支承旋转机构支承的基板的主面喷出处理液的处理液喷嘴; 通过以一种形式覆盖了整个过程液体的液体膜储存在处理液体储存容器,用于存储处理液中,一旦在基片的主表面上的供给处理液储存容器的足够量的,覆盖所述基板的主表面的整个区域 控制用于形成液膜的液膜形成单元和液膜形成单元以及处理液供给机构,以通过液膜形成单元形成覆盖基板主表面的整个表面的液膜, 以及用于朝晶片W的主表面排出处理液的控制单元。

    세정 기구를 갖는 도공 장치, 도공 장치의 세정 방법 및도공 장치에 사용하는 세정 기구
    395.
    发明公开
    세정 기구를 갖는 도공 장치, 도공 장치의 세정 방법 및도공 장치에 사용하는 세정 기구 有权
    具有清洁机构的应用装置,清洁应用装置的方法和清洁机构用于应用装置

    公开(公告)号:KR1020070064548A

    公开(公告)日:2007-06-21

    申请号:KR1020067011223

    申请日:2005-02-22

    CPC classification number: B05C11/1036 B05B15/55 B05C5/02

    Abstract: An application apparatus (1) which comprises a cleaning mechanism (3) having a piping (12 to 14) in which an application fluid flows, a die head (9) provided in the piping (12 to 14) and a plurality of solvent tanks (22a to 22d) for storing solvents of types different from one another. The cleaning mechanism (3) supplies solvents stored in the above solvent tanks (22a to 22d) to the above piping (12 to 14), in such a manner that a solvent compatible with the above application fluid is first supplied and then it is gradually changed to a solvent having a higher detergency, to thereby clean the inside of the piping (12 to 14) and the inside (9a, 9b) of the die head (9).

    Abstract translation: 1.一种涂布装置(1),其特征在于,具备清洗机构(3),所述清洗机构(3)具有涂布液流过的配管(12〜14),设置在所述配管(12〜14)内的模头(9) (22a〜22d),用于存储不同种类的溶剂。 清洁机构(3)将上述溶剂罐(22a〜22d)中储存的溶剂供给到上述配管(12〜14),使得首先供给与上述涂布液相容的溶剂,然后逐渐 改变为具有较高洗涤力的溶剂,从而清洁管头(12至14)的内部和模头(9)的内部(9a,9b)。

    아연도금욕의 알루미늄 농도 측정 센서
    396.
    发明公开
    아연도금욕의 알루미늄 농도 측정 센서 有权
    传感器用于测量酸化剂浓度的浓度

    公开(公告)号:KR1020040015549A

    公开(公告)日:2004-02-19

    申请号:KR1020020047832

    申请日:2002-08-13

    CPC classification number: B05C11/1036 C22C18/04 C23C2/003 C23C2/06

    Abstract: PURPOSE: A sensor for measuring concentration of aluminum is provided which is capable of grasping aluminum promptly and accurately in hot dip galvanizing pot on the spot and performing function of the sensor for a long period of time at the same time. CONSTITUTION: The sensor for measuring concentration of aluminum of galvanizing pot using equilibrium of fluorine comprises an outer container(11) on the bottom and side surface of which openings are formed so that molten zinc is flown in the outer container through the openings; a disk shaped aluminum fluoride (AlF3) compact(9) which has such a grain size that the aluminum fluoride compact is capable of covering the opening on the bottom of the outer container, and which is adhered onto the opening part of the bottom of the outer container; a fluorite (CaF2) based solid electrolyte(7) which is fixed to an upper part of the aluminum fluoride compact and formed in a crucible shape; a reference electrode(8) charged into the solid electrolyte; cylindrical first quartz tube(15) adhered to an upper part of the solid electrolyte; second quartz tube(17) having a larger inner diameter than the first quartz tube so that the second quartz tube is adhered to an outer part of the first quartz tube; first lead line(13) as an electrode installed inside the solid electrolyte through the first quartz tube; and second lead line(14) exposed to an outer part of the second quartz tube so that the second lead line is contacted with the galvanizing pot between the first and second quartz tubes.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于测量铝浓度的传感器,可以在现场的热浸镀锌炉中及时精确地抓住铝,同时长时间执行传感器的功能。 构成:使用氟平衡测量镀锌锅的铝浓度的传感器包括在其底部和侧表面上形成开口的外部容器(11),使得熔融锌通过开口在外部容器中流动; 一种盘状氟化铝(AlF 3)压坯(9),其具有使得氟化铝压块能够覆盖外部容器的底部上的开口的颗粒尺寸,并且粘附到底部的开口部分 外容器 一种萤石(CaF2)系固体电解质(7),其固定在氟化铝压块的上部并形成坩埚形状; 装入固体电解质中的参比电极(8) 圆柱形第一石英管(15)粘附到固体电解质的上部; 第二石英管(17),其具有比第一石英管更大的内径,使得第二石英管粘附到第一石英管的外部; 第一引线(13)作为通过第一石英管安装在固体电解质内部的电极; 和第二引线(14)暴露于第二石英管的外部部分,使得第二引线与第一和第二石英管之间的镀锌锅接触。

    다이 도장기
    397.
    发明授权
    다이 도장기 失效
    喷雾器

    公开(公告)号:KR100250172B1

    公开(公告)日:2000-04-01

    申请号:KR1019930014356

    申请日:1993-07-27

    CPC classification number: B05C5/0254 B05B12/14 B05C11/1036

    Abstract: 도료의 변경을 효율좋게 그리고 용이하게 실시할 수 있도록 개량된 다이 도장기를 제공한다.
    좌우의 사이드 플레이트(1,2) 사이에 배치된 상하의 금형(3,4)에 의하여 매니 홀드(5)를 형성하고, 이 매니 홀드에서 연장하는 선단부에 슬릿트(6)를 형성하여 이루는 다이를 구비한 다이 도장기에 있어서 각 사이드 플레이트에는 매니 홀드(5)에 이르는 도료 공급관(7a,7b)를 설치하고, 매니홀드(5)에는 좌우로 이동가능케 하고 또한 긴밀상태로 유로 차단지그(18)을 배치한다.

    用於施配黏滯性材料之小珠粒的裝置及方法
    399.
    发明专利
    用於施配黏滯性材料之小珠粒的裝置及方法 审中-公开
    用于施配黏滞性材料之小珠粒的设备及方法

    公开(公告)号:TW201620619A

    公开(公告)日:2016-06-16

    申请号:TW104129415

    申请日:2015-09-04

    Abstract: 本發明提供用於施配由第一黏滯性流體及第二黏滯性流體形成之一黏滯性混合流體材料之小珠粒之裝置及方法。該裝置包含依一往復方式移動之第一計量桿及第二計量桿,使得該第一計量桿延伸至一第一流體通路中,且該第二計量桿延伸至一第二流體通路中。一混合通道與該第一流體通路及該第二流體通路連通以從該第一流體通路及該第二流體通路接收該第一黏滯性流體及該第二黏滯性流體。一施配通路與該混合通道流體連通,且施配由該等經混合之第一及第二黏滯性流體形成之黏滯性混合流體材料之一小珠粒。一控制器使該第一計量桿及該第二計量桿縮回以防止在一施配循環之後該黏滯性混合流體材料從該施配通路流涎。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于施配由第一黏滞性流体及第二黏滞性流体形成之一黏滞性混合流体材料之小珠粒之设备及方法。该设备包含依一往复方式移动之第一计量杆及第二计量杆,使得该第一计量杆延伸至一第一流体通路中,且该第二计量杆延伸至一第二流体通路中。一混合信道与该第一流体通路及该第二流体通路连通以从该第一流体通路及该第二流体通路接收该第一黏滞性流体及该第二黏滞性流体。一施配通路与该混合信道流体连通,且施配由该等经混合之第一及第二黏滞性流体形成之黏滞性混合流体材料之一小珠粒。一控制器使该第一计量杆及该第二计量杆缩回以防止在一施配循环之后该黏滞性混合流体材料从该施配通路流涎。

    塗布裝置以及塗布方法
    400.
    发明专利
    塗布裝置以及塗布方法 审中-公开
    涂布设备以及涂布方法

    公开(公告)号:TW201511838A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:TW103124865

    申请日:2014-07-21

    Abstract: 一種塗布裝置,用以將一塗液塗布於一基材上,該塗布裝置包括:一塗布頭,具有一塗液出口,該塗布頭與該基材適於沿一第一軸向相對移動,並能夠通過該塗液出口將該塗液塗布於該基材;一調節件,連接於該塗布頭,該調節件包含一設置於該塗液出口處的活動墊片,該活動墊片適於沿一第二軸向移動,調節該塗液出口的開口率;以及一驅動組件,與該調節件相接,用以控制該調節件沿該第二軸向進行移動。另外,一種塗布方法在此提出。

    Abstract in simplified Chinese: 一种涂布设备,用以将一涂液涂布于一基材上,该涂布设备包括:一涂布头,具有一涂液出口,该涂布头与该基材适于沿一第一轴向相对移动,并能够通过该涂液出口将该涂液涂布于该基材;一调节件,连接于该涂布头,该调节件包含一设置于该涂液出口处的活动垫片,该活动垫片适于沿一第二轴向移动,调节该涂液出口的开口率;以及一驱动组件,与该调节件相接,用以控制该调节件沿该第二轴向进行移动。另外,一种涂布方法在此提出。

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