形成衬底的浮置结构、浮置栅电极和场致发射器件的方法

    公开(公告)号:CN1427437A

    公开(公告)日:2003-07-02

    申请号:CN02144500.1

    申请日:2002-09-30

    Inventor: 朴永俊 韩仁泽

    CPC classification number: B82Y10/00 H01J3/021 H01J9/025 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明公开了一种形成衬底的浮置结构、浮置栅电极和场致发射器件的方法。形成自衬底抬高的浮置结构的方法包括:在衬底上形成膨胀引发层,该层可以由与预定反应气体的反应而产生导致体积膨胀的副产物;在合成叠层上形成用于浮置结构的目标材料层;在合成叠层上形成孔,反应气体通过该孔供给;通过该孔供应反应气体,使得该目标材料层因膨胀引发层与反应气体的反应所产生的副产物而自衬底部分地抬高;以及通过该孔去除副产物,使得目标材料层自衬底抬升的部分可以完全与衬底分离,形成浮置结构。

    弹道电子发射源及其制备方法

    公开(公告)号:CN1352461A

    公开(公告)日:2002-06-05

    申请号:CN01140098.6

    申请日:2001-11-27

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: B82Y10/00 H01J1/3044 H01J9/02 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明涉及一种弹道电子发射源及其制备方法,包括电导体丝,单壁碳纳米管,电导体丝前端为针尖形;单壁碳纳米管直径为1-2纳米,长度为10~100纳米,将短单壁碳纳米管用物理的或化学方法组装在电导体丝针尖前端,在真空中经加热或电子束轰击处理,在电导体丝与碳纳米管交接处形成过渡区的碳化物。由于碳纳米管具有很高的强度和很好的柔性,所以本弹道电子发射源是一稳定结构的新型电子源,具有超强、高亮度、相干性和偏振性。可以应用在彩色全息电视电子源;复眼式平板显示屏;电子显微分析仪;偏振电子束;自由电子激光器;超亮光源;大气中的X光源;高能电子束手术刀等多个领域。

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