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公开(公告)号：CN111044481A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201811191023.X
申请日：2018-10-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3586
Abstract: 本发明提供一种近场显微系统及其搭建方法，包括红外/太赫兹激光器、光路耦合模块、原子力显微镜，可以对样品在亚波长尺度下进行形貌、理化和分子特征做精确的成像和成谱；红外/太赫兹双频段可调辐射的“光诱导热膨胀效应”，将材料热膨胀形变与红外/太赫兹特征吸收相关联，通过原子力探针直接提取材料结构性质信息。本发明无需在远端设置红外/太赫兹光学探测器，避免了由于长距离传输造成的信号剧烈衰减；无需设置参比光路，将显著增强材料亚波长结构信息探测的可重复性和可靠性；同时，本发明具有成像速度快，对生物体完全无害，分辨率高，能实现多模态同步输出等优点，与现有的主流医学成像手段形成了良好的互补。
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公开(公告)号：CN110132884A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910350476.0
申请日：2019-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581 , G01N21/39 , G01N21/01
Abstract: 本发明涉及一种太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法，其中所述太赫兹光谱测量系统包括：两个太赫兹量子级联激光器，出射口相对设置；真空罩，设置于两个太赫兹量子级联激光器的出射口之间。所述太赫兹光谱测量系统及分析物质的太赫兹光谱的方法能够在保留片上双频梳系统的优点下，分离式太赫兹双频梳，解决了片上双频梳无法直接测量物质太赫兹谱的缺点。
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公开(公告)号：CN107328472B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201710408562.3
申请日：2017-06-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹光谱探测系统及其使用方法，本发明包括用于将直流偏置信号和射频信号耦合的调制模块、对经耦合的调制信号进行单一纵模信号输出的选模模块、对单一纵模信号进行光路传输的探测光路以及对探测光路传输的信号确定THz频谱中特定频点响应并显示的探测模块，其中，调制模块输出信号至选模模块，选模模块与探测光路以及探测模块依次光路连通；选模模块以及调制模块分别由探测模块控制。本发明以THzQCL为光谱光源，采用外腔技术和非相干探测技术对展宽的THz激光光谱进行直接采样，省略了信号同步采样机制，光谱重建速度快，实现开放环境下的远距离THz光谱检测。
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公开(公告)号：CN106918742B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201710118849.2
申请日：2017-03-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/17
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器光学拍频信号检测系统及方法，其中，检测系统包括：太赫兹量子阱探测器，用于探测太赫兹量子级联激光器发射的太赫兹多模激光以及光学拍频信号，并转化成电信号；离轴抛面镜组，用于汇聚激光器产生的太赫兹多模激光并将其引导至太赫兹量子阱探测器；探测器直流源，用于向太赫兹量子阱探测器输出直流；T型偏置器，用于将所述探测器直流源输出的直流偏置提供给所述太赫兹量子阱探测器，并耦合出探测器检测到的光学拍频信号；与放大器，用于对T型偏置器耦合出的光学拍频信号进行放大；以及高频检测装置，用于获取光学拍频信号的频谱特性。本发明可以有效地表征太赫兹量子级联激光器光学拍频信号的频谱特性。
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公开(公告)号：CN109462140A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811583153.8
申请日：2018-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种射频注入调制的片上太赫兹双频梳装置，包括太赫兹量子级联激光器和T型偏置器，所述太赫兹量子级联激光器在同一水平面上同时具有两个激光谐振腔，两个激光谐振腔分别具有各自的上电极和增益介质，并共享同一个下电极，分别独立工作；两个激光谐振腔各自的上电极分别通过不同的T型偏置器同时与不同的RF源和直流源的正极连接，两个激光谐振腔共同的下电极与各自的直流源的负极连接；其中，一个T型偏置器与RF源之间设有环形器，所述环形器通过低噪声放大器与频谱分析仪相连；所述两个激光谐振腔的相隔500-5000μm。本发明能够稳定输出光模式，扩大输出频谱范围，实现太赫兹波段双频梳光谱。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107171166A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710532857.1
申请日：2017-07-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01S1/00
CPC classification number: H01S1/00
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器锁相系统及锁相方法，锁相系统包括：太赫兹光源模块，用于实现太赫兹信号的输出；太赫兹信号下变频模块，与太赫兹光源模块相连接，用于接收所述太赫兹信号并产生太赫兹信号的拍频信号；锁相模块，与太赫兹信号下变频模块相连接，用于接收所述拍频信号并产生驱动补偿信号，所述驱动补偿信号输入至太赫兹光源模块，用于实现太赫兹量子级联激光器的锁相。通过上述方案，本发明率先采用太赫兹量子阱探测器对太赫兹信号进行下变频，实现快速准确的提取混频信号；选用多模太赫兹量子级联激光器代替传统的射频倍频链太赫兹本振源，利用自身的拍频信号实现下变频显著降低了锁相技术系统构建的难度与复杂度。
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公开(公告)号：CN106918742A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710118849.2
申请日：2017-03-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/17
CPC classification number: G01R23/17
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器光学拍频信号检测系统及方法，其中，检测系统包括：太赫兹量子阱探测器，用于探测太赫兹量子级联激光器发射的太赫兹多模激光以及光学拍频信号，并转化成电信号；离轴抛面镜组，用于汇聚激光器产生的太赫兹多模激光并将其引导至太赫兹量子阱探测器；探测器直流源，用于向太赫兹量子阱探测器输出直流；T型偏置器，用于将所述探测器直流源输出的直流偏置提供给所述太赫兹量子阱探测器，并耦合出探测器检测到的光学拍频信号；与放大器，用于对T型偏置器耦合出的光学拍频信号进行放大；以及高频检测装置，用于获取光学拍频信号的频谱特性。本发明可以有效地表征太赫兹量子级联激光器光学拍频信号的频谱特性。
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公开(公告)号：CN105552712A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610133489.9
申请日：2016-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01S5/02469 , H01S5/02256 , H01S5/02423
Abstract: 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器的封装装置及方法，所述装置包括铜镀金热沉及安装于所述铜镀金热沉上的太赫兹量子级联激光器、微带线、绝缘子及同轴连接器；其中：所述太赫兹量子级联激光器包括上电极及下电极，所述下电极与所述铜镀金热沉连接，所述上电极与所述微带线的一端连接；所述绝缘子上设有第一探针及第二探针，所述第一探针与所述微带线的另一端连接，所述第二探针与所述同轴连接器连接。本发明能够实现对液氦工作温度、阈值电压高、驱动电流高的太赫兹量子级联激光器的高速封装，确保在液氦温度下太赫兹量子级联激光器封装结构的输出阻抗为50Ω，太赫兹量子级联激光器具有的较宽的3dB带宽。
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公开(公告)号：CN119290801A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411434634.8
申请日：2024-10-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3586 , G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明涉及一种面向近场成像的自探测太赫兹双光梳谱信息高速提取方法，包括以下步骤：将双光梳的某根梳齿信号下转换到设定频段作为第一处理信号；采集第一处理信号在第一设定时间内的时域信息，分析第一时域信息获得所述任意一个梳齿的梳齿信息；采用设定频率对光源激光器进行调制以模拟近场配置下探针振动对散射光强的调制，获取调制后自探测太赫兹双光梳的交流信号作为第二处理信号；采集第二处理信号在第二设定时间内的时域信息获得第二时域信息，分析第二时域信息获得自探测太赫兹双光梳的边带信息作为近场成像信息。本发明能够高速提取和处理太赫兹自探测双光梳信号在微秒尺度下的光谱变化信息，并为近场自探测双光梳成像应用提供支持。
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公开(公告)号：CN119247710A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411559403.X
申请日：2024-11-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于剥离的双层胶光刻工艺方法，首先在衬底上依次旋涂正性光刻胶和反转光刻胶，然后进行第一次曝光并反转烘，使反转光刻胶形成不溶于显影液的T型光刻胶结构两侧的凸出檐，再进行第二次曝光，使T型光刻胶结构之外的光刻胶溶于显影液，最后显影获得T型光刻胶结构。本发明可形成明显底切的T型光刻胶结构，有利于后续薄膜的剥离，且光刻图形精度高，底切结构尺寸可控，可避免长时间显影出现浮胶的问题。
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