制造波长变换器的方法和波长变换器

    公开(公告)号:CN101644871B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN200910164134.6

    申请日:2009-08-06

    CPC classification number: G02F1/3558 G02F1/353 G02F2001/3548

    Abstract: 本发明提供一种制造波长变换器的方法和由此能够提高透射率的波长变换器。制造波长变换器(10a)的方法包括下列步骤。首先,生长晶体。然后,以使畴彼此相反的方式将所述晶体分割成两个以上的部分,从而形成第一晶体(11)和第二晶体(12)。接着,以形成畴相反结构且所述畴相反结构对于所述入射光束(101)满足准相位匹配条件的方式对所述第一晶体(11)和第二晶体(12)进行嵌合,在所述畴相反结构中所述第一晶体(11)和第二晶体(12)的极向沿光波导(13)周期性反转。

    波长变换元件和制造波长变换元件的方法

    公开(公告)号:CN102105835B

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN200980128974.5

    申请日:2009-07-28

    CPC classification number: G02F1/3775 G02F1/3558 G02F2202/101 Y10T156/1075

    Abstract: 本发明公开了一种具有提高的性能保持寿命的波长变换元件。也公开了一种制造波长变换元件的方法。波长变换元件(10a)具有光波导(13),并对从所述光波导(13)的一端(13a)侧输入的入射光(101)的波长进行变换,使得从所述光波导(13)的另一端(13b)侧输出出射光(102)。所述波长变换元件(10a)包含由AlxGa(1-x)N(0.5≤x≤1)构成的第一晶体(11)和组成与所述第一晶体(11)相同的第二晶体(12)。所述第一晶体和第二晶体(11,12)形成畴相反结构,在所述畴反转结构中极化方向沿所述光波导(13)周期性反转。所述畴相反结构对于所述入射光(101)满足准相位匹配条件。所述第一晶体和第二晶体(11,12)中的至少一种晶体具有1×103cm-2以上且小于1×107cm-2的位错密度。

    化合物半导体单晶制造装置和制造方法

    公开(公告)号:CN101680109B

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN200980000432.X

    申请日:2009-03-06

    CPC classification number: C30B23/066 C30B29/403 H01L21/02378 H01L21/0254

    Abstract: 一种化合物半导体单晶制造装置(1),具有:激光源(6),所述激光源(6)能通过将激光束照射到原料上而使得所述原料升华;具有激光入口(5)的反应容器(2),从所述激光源(6)输出的所述激光束能透过所述激光入口(5)而导入到所述反应容器的内部,且所述反应容器(2)能保持起始衬底(3),所述起始衬底(3)使所述升华的原料发生再结晶;以及加热器(7),所述加热器(7)能加热所述起始衬底(3)。通过将所述激光束照射到所述反应容器(2)内部的所述原料上对原料进行加热,由此使其升华,并将所述升华的原料在所述起始衬底(3)上再结晶以生长化合物半导体单晶。然后,利用所述激光束将所述化合物半导体单晶与所述起始衬底(3)分离。

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